表面处理装置及工件保持夹具

    公开(公告)号:CN102851722B

    公开(公告)日:2015-07-22

    申请号:CN201210220405.7

    申请日:2012-06-29

    Abstract: 提供将沿配置在从表面处理槽的上方离开的位置上的轨道输送的输送夹具的构造改良、能很稳定地支承输送夹具的表面处理装置及工件保持夹具。表面处理装置具有:表面处理槽,收容处理液,具有上端开口;第1、第2导轨,在从表面处理槽的上端开口的上方离开的位置处沿与表面处理槽的长度方向平行的第1方向延伸设置;多个输送夹具,配置在表面处理槽的处理液中,分别保持工件,支承在第1、第2导轨上。输送夹具具有:水平臂部,沿第2方向延伸;第1被导引部,支承在水平臂部的一端侧,被第1导轨导引;第2被导引部,支承在水平臂部的另一端侧,被第2导轨导引;垂直臂部,在第1被导引部与第2被导引部之间的位置处从水平臂部垂下,保持工件。

    连续电镀处理装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101423969A

    公开(公告)日:2009-05-06

    申请号:CN200810173296.1

    申请日:2008-10-31

    CPC classification number: C25D17/06 C25D17/12 C25D21/12 H05K3/241

    Abstract: 本发明的目的是提供一种连续电镀处理装置,能够对每个工件变化设定电流进行电镀处理。在全部浸渍状态下可以同时在电镀槽中搬运的工件数目为N的情况下,在电镀槽外设置数目为N+1个沿着工件搬运方向延伸的阴极中继部件,并设置N+1个电源单元,各个电源单元的各个阳极端子与电镀槽内相对向设置的阳极电极相连,而且各个阴极端子分别与这些阴极中继部件相连,形成为各个电源单元可以经由相应的各个阴极中继部件向搬运过程中的各个工件供电,形成为在各个工件以全部浸渍状态搬运期间可以定电流控制各个电源单元,同时形成为在部分浸渍状态下搬入期间可以进行电流渐增控制,而且在部分浸渍状态下搬出期间可以进行电流渐减控制。

    连续电镀装置
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103031587B

    公开(公告)日:2016-12-21

    申请号:CN201210366528.1

    申请日:2012-09-28

    CPC classification number: C25D21/10 C25D17/10

    Abstract: 本发明涉及连续电镀装置。连续电镀装置具有:在电镀槽(10)内配置于与多个工件(1)相向的位置,向多个工件喷出电镀液的多个喷嘴30);在电镀槽(1)内配置于与被连续搬送的多个工件相向的位置的多个阳极电极(40),沿多个工件(1)被连续搬送的搬送方向(A)交替地反复配置有多个喷嘴(30)的一个和多个阳极电极40)的至少一个。此外,在从搬送方向(A)观察的侧视中,多个喷嘴(30)和多个阳极电极(40)以重叠的位置关系配置。

    表面处理装置及工件保持夹具

    公开(公告)号:CN104532331A

    公开(公告)日:2015-04-22

    申请号:CN201510065136.5

    申请日:2012-06-29

    Abstract: 提供将沿配置在从表面处理槽的上方离开的位置上的轨道输送的输送夹具的构造改良、能很稳定地支承输送夹具的表面处理装置及工件保持夹具。表面处理装置具有:表面处理槽,收容处理液,具有上端开口;第1、第2导轨,在从表面处理槽的上端开口的上方离开的位置处沿与表面处理槽的长度方向平行的第1方向延伸设置;多个输送夹具,配置在表面处理槽的处理液中,分别保持工件,支承在第1、第2导轨上。输送夹具具有:水平臂部,沿第2方向延伸;第1被导引部,支承在水平臂部的一端侧,被第1导轨导引;第2被导引部,支承在水平臂部的另一端侧,被第2导轨导引;垂直臂部,在第1被导引部与第2被导引部之间的位置处从水平臂部垂下,保持工件。

    表面处理装置
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103774200A

    公开(公告)日:2014-05-07

    申请号:CN201410051049.X

    申请日:2011-06-30

    Abstract: 提供使沿着配置在从电镀槽的上方离开的位置的纵剖面的轮廓为矩形的供电轨道运送的运送夹具稳定行走的表面处理装置。表面处理装置具有表面处理槽,在从表面处理槽的上方离开的位置延伸的供电轨道,保持工件且由供电轨道支撑的运送夹具。运送夹具具有由供电轨道导向的被导向部,保持工件为下垂状态的保持部,将其连结的连结部。被导向部具有与供电轨道的上表面接触的被供电部,与供电轨道的第1侧面滚动接触第1滚子,与供电轨道的第2侧面滚动接触的第2滚子,与连续运送机构啮合的被啮合部,第1滚子与第1侧面滚动接触的第1高度位置比第2滚子与第2侧面滚动接触的第2高度位置低。

    表面处理装置
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102409387A

    公开(公告)日:2012-04-11

    申请号:CN201110181522.2

    申请日:2011-06-30

    Abstract: 本发明的表面处理装置能够将附着在工件的表面及孔部的内侧的气泡物理除去,提高表面处理能力。对工件(20)的表面进行处理的表面处理装置具有:导轨(201、231~235);运送夹具(30),由导轨导向,沿着顺延于导轨的运送方向(A)运送且保持工件;表面处理槽(200),对由运送夹具保持的工件进行表面处理;前处理槽(230A),配置在表面处理槽的运送方向(A)上游一侧,将由运送夹具保持的工件浸渍在处理液(290)中进行处理;以及振动赋予部(500),在前处理槽中对保持浸渍在处理液中的工件的运送夹具赋予振动,使工件在上述处理液中振动。

    表面处理装置及工件保持夹具

    公开(公告)号:CN104651910A

    公开(公告)日:2015-05-27

    申请号:CN201510065719.8

    申请日:2012-06-29

    Abstract: 提供将沿配置在从表面处理槽的上方离开的位置上的轨道输送的输送夹具的构造改良、能很稳定地支承输送夹具的表面处理装置及工件保持夹具。表面处理装置具有:表面处理槽,收容处理液,具有上端开口;第1、第2导轨,在从表面处理槽的上端开口的上方离开的位置处沿与表面处理槽的长度方向平行的第1方向延伸设置;多个输送夹具,配置在表面处理槽的处理液中,分别保持工件,支承在第1、第2导轨上。输送夹具具有:水平臂部,沿第2方向延伸;第1被导引部,支承在水平臂部的一端侧,被第1导轨导引;第2被导引部,支承在水平臂部的另一端侧,被第2导轨导引;垂直臂部,在第1被导引部与第2被导引部之间的位置处从水平臂部垂下,保持工件。

    连续电镀装置
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103031588A

    公开(公告)日:2013-04-10

    申请号:CN201210367382.2

    申请日:2012-09-28

    Inventor: 野田朝裕

    CPC classification number: C25D17/00 C25D17/10

    Abstract: 本发明提供不使用多个分割阴极轨道地以与设定电流值相应的膜厚在各工件形成电镀覆膜的连续电镀装置。连续电镀装置,具有:电镀槽(10),容纳电镀液(11),同时地电镀沿输送路径连续输送的多个工件(W);共同阴极电极(30),经由分别保持多个工件(W)的多个输送夹具(20)而与多个工件(W)电连接;多个分割阳极电极(40),在电镀槽(10)内与输送路径对置配置;以及多个电源(50),与多个分割阳极电极(40)的各一个和共同阴极电极(30)连接,分别独立地控制供给至多个分割阳极电极(40)的电流。

    表面处理装置及工件保持夹具

    公开(公告)号:CN102851722A

    公开(公告)日:2013-01-02

    申请号:CN201210220405.7

    申请日:2012-06-29

    Abstract: 提供将沿配置在从表面处理槽的上方离开的位置上的轨道输送的输送夹具的构造改良、能很稳定地支承输送夹具的表面处理装置及工件保持夹具。表面处理装置具有:表面处理槽,收容处理液,具有上端开口;第1、第2导轨,在从表面处理槽的上端开口的上方离开的位置处沿与表面处理槽的长度方向平行的第1方向延伸设置;多个输送夹具,配置在表面处理槽的处理液中,分别保持工件,支承在第1、第2导轨上。输送夹具具有:水平臂部,沿第2方向延伸;第1被导引部,支承在水平臂部的一端侧,被第1导轨导引;第2被导引部,支承在水平臂部的另一端侧,被第2导轨导引;垂直臂部,在第1被导引部与第2被导引部之间的位置处从水平臂部垂下,保持工件。

    表面处理装置
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102383166A

    公开(公告)日:2012-03-21

    申请号:CN201110180979.1

    申请日:2011-06-30

    Abstract: 提供能够简化拐角部的运送机构,使装置小型化的表面处理装置。表面处理装置具有:保持工件的运送夹具,运送夹具循环运送的循环运送路径,设在循环运送路径上的表面处理槽。循环运送路径具有第1、第2直线运送路径,使运送夹具水平旋转而在第1直线运送路径的端部和第2直线运送路径的端部之间进行交接的第1、第2旋转装置。第1、第2旋转装置的每一个具有两条旋转轨道,和一体地间歇驱动支撑运送夹具的旋转轨道与空状态的旋转轨道逐次旋转180°的旋转驱动部。第1、第2旋转装置的各自的旋转轨道配置成在停止位置与分别配置在第1、第2直线运送路径的端部的四条导轨中对应的各一条导轨为一直线。

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