公开(公告)号：CN104541061B

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201380037929.5

申请日：2013-07-15

Applicant: 阿迪克森真空产品公司

Inventor： B·赛格特

IPC: F04C23/00 ,  F04B37/14 ,  F04C25/02 ,  F04C29/00 ,  F04F1/00 ,  F04F5/00 ,  F04C28/02

CPC classification number: H01L21/67011 ,  B08B9/0321 ,  F04B37/14 ,  F04C18/126 ,  F04C23/003 ,  F04C23/006 ,  F04C25/02 ,  F04C28/02 ,  F04C28/24 ,  F04C29/0014 ,  F04C29/0092 ,  F04C2220/30 ,  F04F5/20 ,  Y10T137/4259

Abstract: 本发明涉及一种旨在连接加工室(2)的泵浦设备，它包括干式主真空泵(3)、安装成被该真空泵(3)上的止回阀(13)绕过的辅助泵浦装置置(11)上并且旨在连接气源(14)的第一阀装置(5)、安装成被辅助泵浦装置(4)上游的止回阀(13)绕过的第二阀装置(6)以及控制装置，该控制装置构造成基于加工室(2)的工作状态控制该第一和第二阀装置(5，6)，以便当加工室(2)处于极限真空工作状态时使第一阀装置(5)至少部分地关闭并使第二阀装置(6)打开。本发明还涉及用于通过这种泵浦设备(1)泵浦加工室(2)的方法。(14)、连接到用于清洗该干式主真空泵(13)的装

公开(公告)号：CN102985344A

公开(公告)日：2013-03-20

申请号：CN201180032234.9

申请日：2011-06-27

Applicant: 阿迪克森真空产品公司

Inventor： S·里欧弗雷 ,  E·戈多 ,  A·法夫尔

IPC: B65G1/04 ,  C23F1/02 ,  F24F3/16

CPC classification number: B08B5/04 ,  B08B9/0821 ,  B08B9/44 ,  H01L21/67389 ,  H01L21/6773

Abstract: 本发明的用于运输和储存盒的处理装置包括多个去污组件（24-27），这些去污组件安装在共用底盘（100）上并布置成彼此上下堆叠的至少一个组件列（23c）的排。各去污组件（24-27）都包括自己的具有至少一个初级泵（8a）的泵送机构（8），该初级泵安放在纵向上相对于去污室（5）偏置的初级泵送室（8c）中。对去污组件（24-27）的进出通过侧部出入门进行，该侧部出入门都在同一个出入侧上定向，并被自动关闭和打开它们的致动机构致动。侧向转移区设在出入侧上，并包括能在正面装卸工位（23a）和每个去污组件（24-27）的去污室（5）之间移动运输和储存盒（1）的自动装置（29）。因此优化了处理装置（23）占据的空间的量和生产量。

公开(公告)号：CN102714135A

公开(公告)日：2012-10-03

申请号：CN201080057455.7

申请日：2010-12-16

Applicant: 阿迪克森真空产品公司

Inventor： A·法夫尔 ,  J·布努阿尔

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/673

CPC classification number: H01L21/67253 ,  H01L21/67389 ,  Y02P90/28

Abstract: 本发明涉及一种用于在半导体制造厂内处理衬底的装置，所述半导体制造厂具有衬底处理设备、衬底存储装置、衬底传送装置和用于控制在功能上与所述衬底处理设备、衬底存储装置以及衬底传送装置相关的制造执行系统（MES）的系统。所述装置包括：至少一个通过所述传送装置传送并存储在所述存储装置中的衬底存储和传送盒；至少一个用于分析形成所述衬底存储和传送盒的内部气氛的气体的装置，所述分析装置产生表示所述存储和传送盒中能够产生分子污染的临界气体的量的分析信号；以及控制所述传送装置和存储装置的控制装置，所述控制装置包括用于基于所述气体分析装置所发射的分析信号检测分子净化需要的指令。

公开(公告)号：CN104541142B

公开(公告)日：2018-11-13

申请号：CN201380038975.7

申请日：2013-07-23

Applicant: 阿迪克森真空产品公司

Inventor： J·布努阿尔 ,  J·帕里森 ,  P·比诺 ,  S·里欧弗雷 ,  S·哈德耶-拉巴赫

IPC: G01M3/22 ,  G01M3/38

Abstract: 本发明涉及一种用于测试密封产品包装的泄漏的检测方法，其特征在于，该检测方法包括以下步骤：将至少一个预先在空气、氮气或氩气气氛中被密封的产品(2)安放在腔室(3)中(步骤101)；使该腔室(3)中的压力降低至小于10‑1mbar的次真空压力，同时继续在该腔室(3)中进行次真空泵浦，使该腔室中含有的气体被电离，以便经由通过发射光谱测定法或质谱分析法进行的分析来监测密封产品(2)中含有的气体容积的来自于氮气、氧气或氩气的至少一种电离气体组分的浓度在该腔室(3)中的变化(步骤102)。

公开(公告)号：CN104823271A

公开(公告)日：2015-08-05

申请号：CN201380062199.4

申请日：2013-11-29

Applicant: 阿迪克森真空产品公司

Inventor： C·托威克斯 ,  B·贝莱 ,  N·沙佩尔

IPC: H01L21/673

CPC classification number: G01N33/0009 ,  H01L21/673 ,  H01L21/67389

Abstract: 本发明涉及一种测量用于运送及在大气压下存储半导体基材的运送载具的颗粒污染的方法，其被用在测量站中。所述测量方法包含：将所述测测量模块(5)耦合至刚性外壳(2)的步骤，限定了在所述外壳-测量接口外壳(16)和被耦合的所述刚性外壳(2)之间的第一测量空间(V1)，用以实施所述刚性外壳(2)的内壁的污染的测量，以及，将所述门(3)耦合至所述测量模块(5)的步骤，限定了在所述测量表面(22)和相对的门(3)之间的第二测量空间(V2)，用以实施所述门(3)的所述污染的测量。本发明亦涉及一种相关的测量站。

公开(公告)号：CN104813461A

公开(公告)日：2015-07-29

申请号：CN201380062094.9

申请日：2013-11-29

Applicant: 阿迪克森真空产品公司

Inventor： C·托威克斯 ,  J·布努阿尔 ,  A·法夫尔

IPC: H01L21/673

CPC classification number: G01N15/10 ,  G01N2015/1062 ,  H01L21/67389

Abstract: 本发明涉及一种测量用于运送及在大气压力下存储半导体基材的运送载具的颗粒污染的测量站，所述运送载具包含刚性外壳(2)，其所述刚性外壳设置有开口及允许所述孔口被关闭的可去除的门(3)。所述测量站包含：腔室(4)，其具有受控环境，包含至少一个载入端口(8)，所述载入端口适用于耦合至所述刚性外壳(2)并且也耦合至所述运送载具的所述门(3)，以使得将所述门(3)移入具有受控环境的所述腔室(4)内并将所述刚性外壳(2)的内部和具有受控环境的所述腔室(4)的内部相连通；及，测量模块(5)，其包含用于测量颗粒的单元(14)及外壳－测量接口(16)，其被配置为被耦合至具有受控环境的所述腔室(4)的刚性外壳(2)，而非所述门(3)。所述测量站的特征在于，所述外壳测量接口(16)包含从外壳测量接口的基部伸出的测量头，其具有用于测量颗粒的连接至所述单元(14)的第一取样口(12)以及至少两个注入喷嘴(20)，所述喷注被配置来将气体喷流引导至被耦合至具有受控环境的所述腔室(4)的刚性外壳(2)上的至少两个分开的位置。所述注入喷嘴(20)的各自的方向相对于所述被耦合的刚性外壳(2)而固定。本发明亦涉及一种用来测量运送并在大气压力下存储半导体基材的运送载具的颗粒污染的方法。

公开(公告)号：CN102439686B

公开(公告)日：2015-04-08

申请号：CN201080011241.6

申请日：2010-03-10

Applicant: 阿迪克森真空产品公司

Inventor： L·迪西默蒂埃 ,  C·诺米内 ,  J-E·拉尔谢

IPC: H01J49/14

CPC classification number: H01J49/147

Abstract: 本发明涉及一种用于质谱仪(2)的电离池，包括：电离壳(10)，其包括第一和第二电子输入槽(11、26)，并且电离壳的一侧(16)具有用于通过其传递电离粒子(14a、14b、14c)的输出槽(15)；第一工作细丝(13)，相对于所述第一电子输入槽(11)放置，并且意在通过供电以产生电子束(12)；第二备份细丝(22)，相对于所述第二电子输入槽(26)放置，并且意在工作的第一工作细丝(13)出现故障时通过供电以产生电子束；在与所述第一输入槽(11)相对的位置的前部区域(F)外侧放置所述输入槽(26)。本发明还涉及具有质谱仪的检漏器，包括这种如上所述的电离池。

公开(公告)号：CN102272628B

公开(公告)日：2014-04-16

申请号：CN201080004133.6

申请日：2010-01-11

Applicant: 阿迪克森真空产品公司

Inventor： P·茹尔当

IPC: G01T1/28 ,  H01J43/30

CPC classification number: G01F17/00 ,  H01J43/246 ,  H01J43/30

Abstract: 本发明涉及一种用于测量和处理具有至少两个十进制的输入信号(To)的设备，包括：电子倍增器(4)，其具有基于其电源电压(Vm)的指数增益并且接收输入信号(To)；电源(5)，其为倍增器(4)提供电源电压(Vm)；用于电源(5)的控制电路(6)，其增益(10)和偏移(11)参数是可调节的并且通过改述倍增器(4)的指数增益来限定输出信号范围；对数压缩放大器(T)，其输出作为控制电路(6)的输入而被接收以根据电子倍增器(4)的输出信号(IoG)在测量动态范围内连续改变电子倍增器(4)的指数增益，并且构成设备的输出信号(Vout)；测量和计算装置，其用于预先确定电子倍增器(4)的指数增益的指数值(b)并且基于所确定的指数值(b)来计算控制电路(6)的增益(10)和偏移(11)参数值。本发明还涉及相应的检漏器和测量和处理方法。

公开(公告)号：CN102749174A

公开(公告)日：2012-10-24

申请号：CN201210118813.1

申请日：2012-04-20

Applicant: 阿迪克森真空产品公司

Inventor： F·鲁韦尔 ,  D·皮埃尔让 ,  C·诺米内

IPC: G01M3/02

CPC classification number: G01M3/205 ,  F04D19/042 ,  F04D27/008 ,  F04D27/0292

Abstract: 本发明涉及一种用于监控检漏器的方法，该检漏器包括：设计成连接到主真空泵的二级真空泵，该二级真空泵包括马达、转子和定子，当马达被供能时所述转子能通过该马达在定子中旋转；以及，至少一个通知装置，该通知装置能被电气地供能，以便通知用户该检漏器的运行状态，其特征在于，在马达电源被切断的情况下，二级真空泵转子的旋转动能以电能的形式被回收(101)以便对通知装置供能(102)。本发明还涉及一种利用所述监控方法的检漏器(1)。

公开(公告)号：CN102713299A

公开(公告)日：2012-10-03

申请号：CN201080052223.2

申请日：2010-10-27

Applicant: 阿迪克森真空产品公司

Inventor： T·尼尔

IPC: F04C25/02 ,  F04F5/54

CPC classification number: F04D19/046 ,  F04C23/005 ,  F04C25/02 ,  F04C2220/12 ,  F04C2270/02 ,  F04D15/0254 ,  F04D15/0281 ,  F04D19/02 ,  F04D25/16 ,  F04D27/004 ,  F04F5/20 ,  F04F5/54

Abstract: 泵送设备包括：干式低真空泵，它装备有连接到真空室的气体入口并且具有通向导管的气体出口；安放在该干式低真空泵的出口处的导管中的传送单向阀；以及相对于该传送单向阀平行安装的喷射器。泵送方法包括以下步骤：利用干式低真空泵通过气体入口泵送真空室中所含的气体；将干式低真空泵的气体出口连接到喷射器上；测量由干式低真空泵使用的电功率和该干式低真空泵出口处的管道中的气体的压力；当干式低真空泵出口处的气体的压力升高越过设定值和干式低真空泵消耗的电功率升高越过设定值时，在时间延迟之后，起动喷射器；当干式低真空泵消耗的电功率下降越过设定值和干式低真空泵出口处导管中气体的压力下降越过设定值时，使喷射器停止。