一种检测装置、检测方法及检测系统

    公开(公告)号:CN119023697A

    公开(公告)日:2024-11-26

    申请号:CN202411041939.2

    申请日:2024-07-31

    Inventor: 王奇 吴昌力

    Abstract: 本发明涉及半导体前道检测技术领域,涉及明场检测技术,尤其是涉及一种检测装置、检测方法及检测系统。通过对入射和反射光偏振态进行调整,得到具有不同偏振态的信号光,并基于不同偏振态的信号光之间的干涉效应确定干涉信号的特性,基于干涉信号的特性对待测物进行缺陷特征的判断。本发明与现有技术相比解决了整体光路光功率损耗过多,光路偏振调整繁琐的问题。

    一种表面形貌测量装置及方法

    公开(公告)号:CN113188473B

    公开(公告)日:2024-10-18

    申请号:CN202110481723.8

    申请日:2021-04-30

    Inventor: 杜艳伟 郑军

    Abstract: 本发明涉及芯片表面测量技术领域,公开了一种表面形貌测量装置及方法,包括光源单元、分束装置、探测装置和运动台,运动台与探测装置之间还设置有检测台,待检测样品放置于检测台,运动台带动探测装置或者检测台使二者之间产生相对运动;分束装置接收待检测样品的反射光束的光轴与运动平台的法线之间存在夹角θ,通过所拍摄图像前后存在的重叠区域的清晰程度来评估所拍摄图片的离焦量,通过离焦量计算样品表面的立体高度信息,得到大大超出分束装置实际景深的组合图像,用于对样品表面形貌详细检测。通过分束装置与运动台的倾斜配置和配合,可以实现尺寸大、高度变化范围大的待测样品的表面形貌3D测量和检测,提高了检测效率。

    一种检测系统、调节方法、缺陷检测设备及缺陷检测方法

    公开(公告)号:CN118706845A

    公开(公告)日:2024-09-27

    申请号:CN202410964291.X

    申请日:2024-07-18

    Abstract: 本申请涉及半导体前道检测技术领域,为一种暗场检测系统及方法,具体为一种检测系统、调节方法、缺陷检测设备及缺陷检测方法。能够通过反射光路中配置光学器件和探测器,实现对于检测光束指向性、检测光束离焦和激光器温度的实时检测;并通过在入射光路中设置对应的调节器件,实现对于上述检测结果中的异常情况的消除。从而提高了光学系统运行的稳定性,并提高了检测结果的准确性。

    基于视觉检测的智能数字光源及方法

    公开(公告)号:CN113189113B

    公开(公告)日:2024-07-23

    申请号:CN202110484741.1

    申请日:2021-04-30

    Inventor: 李佳

    Abstract: 本发明属于视觉检测技术领域,具体涉及一种基于视觉检测的智能数字光源及方法,特别是适用于大型曲面、反光物体的视觉检测。一种基于视觉检测的智能数字光源,包括若干灯珠、光源控制器和上位机,所述上位机用于给光源控制器发送一个亮度矩阵信号,所述亮度矩阵与灯珠一一对应,每个数的值对应灯珠的亮度信息,所述光源控制器根据亮度矩阵对应的打光模式单独控制每个灯珠。本发明根据产品定制化的光源设计,对应难打光的曲面、高反光物体表面检测提供低成本可行方案,本发明的光源可以打出人的经验无法打出的最适合的光线。

    相机调试方法、成像装置调试方法、装置及电子设备

    公开(公告)号:CN118200724A

    公开(公告)日:2024-06-14

    申请号:CN202410420250.4

    申请日:2024-04-09

    Abstract: 本发明提供了一种相机调试方法、成像装置调试方法、装置及电子设备,通过相机采集第一标定板图像,获取相机视野线与中心标定线的第一位置关系,以调整相机的旋转角度直至达到第一指定状态;通过调整后的相机采集第二标定板图像,获取指定标定点的第一实际聚焦值,计算其与标准聚焦值的第一差值,以调整相机的景深直至达到第二指定状态;通过再次调整后的相机采集第三标定板图像,获取标定边界的边界长度,计算边界长度与标准长度之间的第二差值,以调整相机的旋转轴直至达到第三指定状态,确定对相机完成调试。该方式明确了相机的调试标准,不依赖人工经验,可以使调试后的相机处于最佳位置,保证对相机调试的一致性,有利于工业生产的稳定性。

    工业部件图纸的解析方法及装置
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118012436A

    公开(公告)日:2024-05-10

    申请号:CN202410197591.X

    申请日:2024-02-22

    Abstract: 本发明提供了一种工业部件图纸的解析方法及装置,涉及计算机应用的技术领域,该方法包括:通过图形用户界面展示解析界面;响应作用于解析控件的触控操作,获取待解析的工业部件图纸对应的图像信息,在展示区展示图像信息,以及,在控件区展示解析控件关联的归类控件和操作控件;确定待解析的工业部件图纸中的目标焊盘类型;从图像信息中提取与目标焊盘类型匹配的目标焊盘,得到包含目标焊盘的焊盘图像;在展示区中展示焊盘图像。本发明提供的工业部件图纸的解析方法及装置,通过所展示的焊盘图像可以实现对工业部件图纸对应的线路板进行自动化检测,不仅自动化程度较高,也极大地减少了人工检测带来的误检、漏检等问题,进而提高检测效率。

    一种双分支视觉语言多模态交互式方法

    公开(公告)号:CN117991900A

    公开(公告)日:2024-05-07

    申请号:CN202410090891.8

    申请日:2024-01-23

    Abstract: 本发明公开了一种双分支视觉语言多模态交互式方法,包括:构建视觉语言双分支模型,视觉语言双分支模型中设置有视觉识别模块和语言交互模块;预训练视觉识别模块;同时训练视觉识别模块和语言交互模块,训练过程中通过查询的方式将语言交互模块输出的信息传入视觉识别模块,指导视觉识别模块输出目标定位框;提取图像中目标定位框内特征信息,获得目标特征向量;将目标特征向量填充至语言中需要指代的位置,获得语言替代特征,对语言交互模块进行训练;对视觉语言双分支模型进行梯度反向传播,获得视觉语言双分支识别模型,采用该模型进行人机交互。本发明公开的方法,可以在多轮对话中的任何时刻参与指代和定位任务,指代和定位性能优越。

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