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公开(公告)号：CN112857350B
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202110209746.3
申请日：2021-02-25
Applicant: 瑞声科技(南京)有限公司 , 深圳导远科技有限公司
IPC: G01C19/56
Abstract: 本发明提供了一种MEMS陀螺仪，包括内质量环、外质量环、锚点结构、换能器和内外耦合梁，所述内质量环包括4N个呈圆周阵列分布的内质量块和连接在相邻两个所述内质量块之间的内质量耦合梁，其中，N为整数，且N≥2；所述外质量环同轴设置在所述内质量环的外侧，所述外质量环包括分别与4N个内质量块位于同一径向的外质量块和连接在相邻两个外质量块之间的外质量耦合梁；所述内外耦合梁连接在相邻的所述外质量块与所述内质量块之间，能够传递相邻的所述内质量块与所述外质量块之间的径向力。本发明的MEMS陀螺仪具有较大有效质量，提高了分辨率，驱动/检测模态频率相差较小。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112857350A
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN202110209746.3
申请日：2021-02-25
Applicant: 瑞声科技(南京)有限公司 , 深圳导远科技有限公司
IPC: G01C19/56
Abstract: 本发明提供了一种MEMS陀螺仪，包括内质量环、外质量环、锚点结构、换能器和内外耦合梁，所述内质量环包括4N个呈圆周阵列分布的内质量块和连接在相邻两个所述内质量块之间的内质量耦合梁，其中，N为整数，且N≥2；所述外质量环同轴设置在所述内质量环的外侧，所述外质量环包括分别与4N个内质量块位于同一径向的外质量块和连接在相邻两个外质量块之间的外质量耦合梁；所述内外耦合梁连接在相邻的所述外质量块与所述内质量块之间，能够传递相邻的所述内质量块与所述外质量块之间的径向力。本发明的MEMS陀螺仪具有较大有效质量，提高了分辨率，驱动/检测模态频率相差较小。
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公开(公告)号：CN113418517A
公开(公告)日：2021-09-21
申请号：CN202110668642.9
申请日：2021-06-16
Applicant: 瑞声开泰科技(武汉)有限公司 , 深圳导远科技有限公司
IPC: G01C19/56
Abstract: 本发明公开了陀螺仪，陀螺仪包括基底；谐振器，悬置于基底上，谐振器包括谐振梁以及均呈圆环状的外谐振器、内谐振器及中谐振器，中谐振器套设于内谐振器的外侧，外谐振器套设于中谐振器的外侧，中谐振器包括沿内谐振器的周向均匀分布的8N个谐振单元，谐振梁分为连接谐振单元和外谐振器的第一谐振梁以及连接内谐振器和谐振单元的第二谐振梁，其中，N为正整数；锚点，固定于基底并与谐振单元之间机械场耦合；电极组件，固定于基底并与谐振器电场耦合以驱动谐振器沿相互垂直的第一方向和第二方向振动，并检测谐振器沿与第一方向的夹角呈45度方向或与第一方向的夹角呈135度方向的振动位移。
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公开(公告)号：CN113029121A
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN202110264305.3
申请日：2021-03-11
Applicant: 瑞声科技(南京)有限公司 , 深圳导远科技有限公司
IPC: G01C19/5684
Abstract: 本发明提供了一种MEMS陀螺仪，包括换能器、锚点结构、谐振环和设置于所述谐振环与所述锚点结构之间的若干质量块，所述锚点结构与所述质量块之间通过弹性组件相连接，所述弹性组件能够提供所述质量块沿所述谐振环径向方向的回复力，所述质量块与所述谐振环之间通过第一弹性件相连接，所述第一弹性件能够提供所述谐振环沿所述谐振环周向方向的回复力，使所述谐振环与所述质量块间只发生沿周向方向的相对位移；所述质量块关于所述MEMS陀螺仪的中心呈圆周分布，且所述质量块关于所述中心旋转对称，所述质量块的个数为8的整数倍；所述换能器关于所述中心呈圆周分布，且所述换能器关于所述中心旋转对称，所述换能器的个数为8的整数倍。本发明的MEMS陀螺仪具有更高的机电耦合水平、抗干扰能力以及灵敏度。
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公开(公告)号：CN104833821B
公开(公告)日：2017-11-03
申请号：CN201510229306.9
申请日：2015-05-07
Applicant: 深圳导远科技有限公司
Inventor： 李荣熙
Abstract: 本发明涉及动态检测环境下惯性测量的技术领域，公开了环形悬挂式内隔振的惯性测量组件，包括外壳、质量块、传感器以及内隔振结构，传感器连接在质量块上，内隔振结构包括外环体、弹性环以及内环体，外环体的内侧壁与内环体的外侧壁之间形成有环形区域，弹性环悬空布置，弹性环分别与外环体及内环体连接；质量块置于内环体的包围区域内，且连接于内环体。当惯性测量组件运用在振动以及冲击环境中，通过弹性环的隔振作用，减低对质量块上的传感器的振动以及冲击影响，不需要在外部设置隔振结构，便于用户使用及安装，惯性测量组件可以保持足够的测量精度；内隔振结构可以根据不同的振动环境，通过结构的组合，满足不同环境的隔振需求。
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公开(公告)号：CN214537970U
公开(公告)日：2021-10-29
申请号：CN202120545778.6
申请日：2021-03-16
Applicant: 瑞声科技(南京)有限公司 , 深圳导远科技有限公司
IPC: G01C19/5677
Abstract: 本实用新型提供了陀螺仪，涉及传感器装置领域。该陀螺仪包括换能器、环形组件和与环形组件连接的锚点，换能器呈圆周阵列分布，环形组件包括第一环形件和同轴设置在第一环形件内侧的第二环形件，第一环形件包括多个呈圆周阵列分布的外质量块，第二环形件包括多个呈圆周阵列分布的内质量块，外质量块和内质量块弹性连接，陀螺仪还包括与第二环形件同轴设置并位于第二环形件内侧的耦合环，各内质量块远离外质量块的一端均连接在耦合环上。采用了耦合环将各内质量块远离外质量块的一端连为一体，使得环形组件振动时，间隔设置的内质量块之间互相关联且中心耦合，从而能够将某个内质量块由于加工误差引起的独立问题与其他内质量块相关联。
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