公开(公告)号：CN107710389A

公开(公告)日：2018-02-16

申请号：CN201680038962.3

申请日：2016-05-20

Applicant: 株式会社NSC ,  株式会社京机械

Inventor： 竹内一马 ,  水谷龙也 ,  林田哲夫

IPC: H01L21/306

CPC classification number: H01L21/306

Abstract: 本发明提供使维护变得容易且容易实现装置的紧凑化、且可执行高品质的喷淋蚀刻处理的喷淋蚀刻装置。喷淋蚀刻装置至少包括蚀刻腔室(16)、送液单元(40)以及驱动单元(50)，这些送液单元(40)、蚀刻腔室(16)以及驱动单元(50)在与玻璃基板(100)的搬运方向正交的宽度方向上排列。蚀刻腔室(16)至少包括构成为对玻璃基板(100)喷淋蚀刻液的可移动的上侧喷淋配管单元(162)以及下侧喷淋配管单元(164)。

公开(公告)号：CN113412535B

公开(公告)日：2024-06-07

申请号：CN201980075803.4

申请日：2019-09-19

Applicant: 株式会社NSC ,  株式会社京机械

Inventor： 竹内一马 ,  天之濑聪 ,  入江央

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/06 ,  B65G51/01 ,  B65G51/03

Abstract: 本发明提供一种能够在稳定的状态下输送蚀刻处理后等湿润状态的薄型基板的悬浮输送装置。悬浮输送单元(60)具备：水悬浮输送部(62)、气刀(64)、第一空气悬浮输送部(66)、第二空气悬浮输送部(68)、辅助辊(70)以及输送带(72)，在使玻璃基板(24)悬浮的状态下输送。水悬浮输送部(62)具有构成为在表面上形成水膜的水膜形成板(621)。气刀(64)构成为向被处理基板喷射空气。第一空气悬浮输送部(66)具有形成有向玻璃基板(24)从下方喷射空气的喷射孔(82)的悬浮输送板(67)。第二空气悬浮输送部(68)具有多孔板(681)。辅助辊(70)和输送带(72)沿输送方向输送玻璃基板(24)。

公开(公告)号：CN113412535A

公开(公告)日：2021-09-17

申请号：CN201980075803.4

申请日：2019-09-19

Applicant: 株式会社NSC ,  株式会社京机械

Inventor： 竹内一马 ,  天之濑聪 ,  入江央

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/06 ,  B65G51/01 ,  B65G51/03

Abstract: 本发明提供一种能够在稳定的状态下输送蚀刻处理后等湿润状态的薄型基板的悬浮输送装置。悬浮搬送单元(60)具备：水悬浮搬送部(62)、气刀(64)、第一空气悬浮搬送部(66)、第二空气悬浮搬送部(68)、辅助辊(70)以及搬送带(72)，在使玻璃基板(24)悬浮的状态下搬送。水悬浮输送部(62)具有构成为在表面上形成水膜的水膜形成板(621)。气刀(64)构成为向被处理基板喷射空气。第一空气悬浮输送部(66)具有形成有向玻璃基板(24)从下方喷射空气的喷射孔(82)的悬浮输送板(67)。第二空气悬浮输送部(68)具有多孔板(681)。辅助辊(70)和输送带(72)沿输送方向输送玻璃基板(24)。

公开(公告)号：CN107710389B

公开(公告)日：2021-10-26

申请号：CN201680038962.3

申请日：2016-05-20

Applicant: 株式会社NSC ,  株式会社京机械

Inventor： 竹内一马 ,  水谷龙也 ,  林田哲夫

IPC: H01L21/306

Abstract: 本发明提供使维护变得容易且容易实现装置的紧凑化、且可执行高品质的喷淋蚀刻处理的喷淋蚀刻装置。喷淋蚀刻装置至少包括蚀刻腔室(16)、送液单元(40)以及驱动单元(50)，这些送液单元(40)、蚀刻腔室(16)以及驱动单元(50)在与玻璃基板(100)的搬运方向正交的宽度方向上排列。蚀刻腔室(16)至少包括构成为对玻璃基板(100)喷淋蚀刻液的可移动的上侧喷淋配管单元(162)以及下侧喷淋配管单元(164)。