合成磨石
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113950390B

    公开(公告)日:2023-03-31

    申请号:CN202080041842.5

    申请日:2020-06-19

    Inventor: 京岛快

    Abstract: 在对晶片W进行化学机械磨削的合成磨石(100)中具备:对晶片W具有化学机械磨削作用、且以粒径小于5μm的气相法二氧化硅作为主成分的研磨剂(101);由与晶片W同质或软质的材料形成、且以粒径大于研磨剂(101)的球状硅胶作为主成分的球状填充剂(102);以及以将研磨剂(101)和球状填充剂(102)粘结成一体的纤维素作为主成分的树脂粘结剂(103)。

    倒角轮的制造方法、倒角轮及倒角轮的使用前调整方法

    公开(公告)号:CN118139728A

    公开(公告)日:2024-06-04

    申请号:CN202280063795.3

    申请日:2022-03-09

    Abstract: 一种倒角轮的制造方法、倒角轮及倒角轮的使用前调整方法,该倒角轮的制造方法包括如下的步骤:由同轴加工将如下的部分形成为同心状:成为圆盘的一对侧面的一方的基准面;将旋转轴部件嵌合在上述圆盘中的嵌合孔部;设置在上述基准面上,用于上述倒角轮旋转时的与上述倒角轮的外周面的振动对应的振动的检测的圆环状的定心槽的第一面;及设置在上述基准面上,与上述第一面邻接,用于上述倒角轮旋转时的上述基准面的振动的检测的定心槽的第二面,和在上述圆盘的外周面上形成磨石部。

    合成磨石
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114025916A

    公开(公告)日:2022-02-08

    申请号:CN202080047180.2

    申请日:2020-06-19

    Inventor: 津田政明

    Abstract: 在对晶片S进行化学机械磨削的合成磨石(100)中具备:以平均粒径为10μm以下的氧化铈作为主成分,对晶片S具有化学机械磨削作用的研磨剂(101);以比晶片S的莫氏硬度低、且具有高摩擦系数的纤维物质作为主成分,具有发热作用的摩擦促进剂(102);以酚醛树脂作为主成分,将研磨剂(101)和摩擦促进剂(102)分散、粘结的粘结剂(103)。

    合成磨石
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113950390A

    公开(公告)日:2022-01-18

    申请号:CN202080041842.5

    申请日:2020-06-19

    Inventor: 京岛快

    Abstract: 在对晶片W进行化学机械磨削的合成磨石(100)中具备:对晶片W具有化学机械磨削作用、且以粒径小于5μm的气相法二氧化硅作为主成分的研磨剂(101);由与晶片W同质或软质的材料形成、且以粒径大于研磨剂(101)的球状硅胶作为主成分的球状填充剂(102);以及以将研磨剂(101)和球状填充剂(102)粘结成一体的纤维素作为主成分的树脂粘结剂(103)。

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