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公开(公告)号：CN2870174Y
公开(公告)日：2007-02-14
申请号：CN200520116497.X
申请日：2005-11-17
Applicant: 杭州科岛微电子有限公司 , 厦门大学萨本栋微机电研究中心
Abstract: 测量灵敏度和线性度高，温度影响小的压容式传感器，硅片衬底层上设有空腔(9)，硅片衬底层上面具有二氧化硅层其上面复合有硅膜层，空腔底部具有二氧化硅层，在相互复合的硅膜层和二氧化硅层上刻有凹槽I(7)位于空腔的外围，所述硅膜层以凹槽I为界分为槽外硅膜层(8)和腔上硅膜层(6)，在相互复合的硅膜层和二氧化硅层上还刻有凹槽II(1)，凹槽I(1)与凹槽II相互贯通，在凹槽II(1)内围的硅膜层上复合有金属层I(2)，金属层I与腔上硅膜层相互连接，在相互复合的硅膜层和二氧化硅层上还刻有凹腔(3)其底部复合有金属层II(4)与硅片衬底层(10)结合，槽外硅膜层(8)上复合有金属层III(5)。本实用新型用作汽车轮胎压力监视系统的传感器。
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