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公开(公告)号：CN104660206B
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201410646254.0
申请日：2014-11-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
Abstract: 本发明提供振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体，振动元件实现了超小型，振子、振荡器、电子设备以及移动体具有该振动元件。振动元件(2)具有石英振动片(3)，该石英振动片(3)具有：基部(4)；以及一对振动臂(5、6)，它们与基部(4)一体地设置，在X轴方向上并排且从基部(4)起沿Y’轴方向延伸，振动臂(5、6)包含：臂部(51、61)；以及锤头(59、69)，其位于该臂部(51、61)的末端侧，且沿着X轴方向的长度比臂部(51、61)长，在设振动臂(5、6)的厚度为T，锤头(59、69)彼此的沿着X轴方向的相隔距离为W4时，满足0.033T＜W4＜0.330T[μm]的关系。
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公开(公告)号：CN108768338A
公开(公告)日：2018-11-06
申请号：CN201810478898.1
申请日：2014-03-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
CPC classification number: H03H9/125 , H03B5/32 , H03H9/0547 , H03H9/1021 , H03H9/215
Abstract: 振动元件、振子、振荡器、电子设备、传感器以及移动体。本发明提供一种能够以低功耗发挥优异的振动特性的振动元件，以及具有该振动元件的振子、振荡器、电子设备以及移动体。振动元件(2)具有石英基板(3)，该石英基板(3)具有：基部(4)；从基部(4)起延伸的一对振动臂(5、6)；以及支承臂(71)，其在振动臂(5、6)之间，在与振动臂(5、6)相同的一侧从基部(4)起延伸。并且，振动臂(5)具有臂部(51)和设置在臂部(51)前端的锤头(59)。臂部(51)具有一对主面和朝这些主面敞开的有底的槽。在本发明中，将主面的沿着与振动臂的长度方向垂直的宽度方向隔着槽排列的堤部的宽度设为6μm以下。
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公开(公告)号：CN103580640B
公开(公告)日：2018-04-20
申请号：CN201310302323.1
申请日：2013-07-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03B5/30 , H03H9/0509 , H03H9/0552 , H03H9/1021 , H03H9/215
Abstract: 振动片、振子、振荡器以及电子设备。本发明提供一种能够在抑制粘接剂的扩展的同时发挥与对象物（尤其是封装的基底基板）之间的优异接合强度的振动片、具有该振动片的振子、振荡器以及电子设备。振动片（200）具有：基部（220）；从基部（220）突出的至少一对振动臂（230、240）；从基部（220）突出的支承臂（250）；以及第1贯通孔（251），其形成于支承臂（250），在厚度方向上贯通支承臂（250），振动片（200）隔着侵入到第1贯通孔（251）内的粘接剂被固定到对象物上。
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公开(公告)号：CN103580641B
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201310301816.3
申请日：2013-07-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
IPC: H03H9/215
Abstract: 本发明提供振动片、振子、振荡器以及电子设备，能够抑制振动泄漏且具有良好的振动特性。振动片（200）包含：基部（220）；一对振动臂（230、240），它们从基部（200）向+Y轴方向突出，在俯视时在与Y轴方向交叉的X方向上隔着间隔距离而排列；以及支撑臂（250），其位于一对振动臂（230、240）之间，从基部（220）向+Y轴方向突出。基部（220）包含第1宽度缩小部（222），该第1宽度缩小部（222）位于以基部（220）的中央为界而与支撑臂（250）突出的一侧相反的一侧，并且，在所述间隔距离的范围内，在俯视时随着远离于支撑臂（250），该第1宽度缩小部（222）在X轴方向上的长度逐渐减小。
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公开(公告)号：CN104410382B
公开(公告)日：2017-10-03
申请号：CN201410659202.7
申请日：2010-09-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供耐冲击性较高的小型振动片。水晶振动片(20)具备：基部(21)；一对振动臂(22)，其从该基部(21)的一端侧分成两段且互相平行延伸。在基部(21)中，沿着一条直线的相反方向上形成一对切口(41A)、(41B)，以此在该两个主面上出现被缩窄的形状。一对支承臂(30)被设置为，基部(21)中的与一对振动臂(22)的延伸方向交叉的方向上的两个端部，分别在相反的方向延伸后，在弯曲部(31)处弯曲，并与一对振动臂(22)平行延伸。在支承臂(30)的前端侧上设置有承接部(35)，其被配置在相邻振动臂(22)的通常振动时的振幅范围之外，且在相邻振动臂(22)的位移超过通常振幅范围时与该振动臂(22)抵接的位置上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104753492A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201410830314.4
申请日：2014-12-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01L1/106 , H03H9/0547 , H03H9/1014 , H03H9/215 , H03H2003/026
Abstract: 提供振动片、振子、振荡器、电子设备、传感器和移动体，能够高精度地进行振动臂的共振频率的微调。振动片(2)具有：基部；振动臂(5)，其包含臂部(50)以及宽度增大部(59)，其中，臂部(50)从基部延伸，宽度增大部(59)与臂部(50)的末端部连接且宽度大于臂部(50)；第1驱动用电极(84)，其被设置在振动臂(5)；以及施重层(57)，其被设置在宽度增大部(59)，厚度大于第1驱动用电极(84)，施重层(57)包含第1施重部(571)和具有固定宽度的部分的第2施重部(572)，其相对于第1施重部(571)配置在基部侧，所述固定宽度的部分的宽度小于第1施重部(571)。
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公开(公告)号：CN104660208A
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201410647372.3
申请日：2014-11-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
CPC classification number: H03H9/215 , H03H9/02023 , H03H9/02157 , H03H2003/0407
Abstract: 提供具有优异的振动特性的振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体。在振动元件的振动臂的主面侧，设置有朝该主面敞开的有底的一个槽，在另一个主面侧，设置有朝该主面敞开的有底的另一个槽。在设所述振动臂的厚度为T，俯视时所述振动臂的外缘与所述槽之间的沿着与所述主面的所述延伸方向垂直的方向的宽度为W、所述槽的合计为ta、ta/T为η时，在所述振动臂的所述延伸方向的至少一部分中，存在满足4.236×10×η2-8.473×10×η+4.414×10[μm]≤W[μm]≤-3.367×10×η2+7.112×10×η-2.352×10[μm]且0.75≤η＜1.00的关系的区域，在设所述振动臂的所述延伸方向上的长度为L、锤部的所述延伸方向上的长度为H时，满足0.012＜H/L＜0.30的关系。
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公开(公告)号：CN104660169A
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201410648703.5
申请日：2014-11-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
IPC: H03B5/32
CPC classification number: H03H9/215 , H01L41/053 , H03B5/32 , H03H3/04 , H03H9/02157 , H03H9/0547 , H03H2003/0407
Abstract: 本发明为振动元件、振子、振荡器、电子设备及移动体。本发明的课题是提供振动特性和耐冲击性这两方面都优异的振动元件，并且提供具备该振动元件的可靠性高的振子、振荡器、电子设备及移动体。振动元件(2)包括石英振动片(3)，所述石英振动片(3)具有：基部(31)；振动臂(32、33)，其从基部的一端侧延伸；连接部(34)，其配置在基部(31)的另一端侧；以及连结部(35)，其位于基部(31)和连接部(35)之间，并将它们连结起来，当设石英振动片(3)的厚度为T，基部(31)的宽度为W1，连结部(35)的宽度为W2时，满足110μm≤T≤210μm的关系，同时满足0.469≤W2/W1≤0.871。
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公开(公告)号：CN104579223A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201410527752.3
申请日：2014-10-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
CPC classification number: H03H3/0072 , H03H9/2436 , H03H2009/02385
Abstract: 本发明提供振子、振荡器、电子设备及移动体，它们的可靠性品质高，振动特性稳定，并且具有高Q值。MEMS振子(100)具有：基板(1)；支承部(26)，其连接到基板(1)上；基部(22)，其连接到支承部(26)上；以及多个振动部(24)，其与基板(1)相离并从基部(22)向彼此不同的方向延伸，而且相邻的振动部(24)以彼此相反的相位振动，基部(22)具有振动的波节，在俯视时，支承部(26)的至少一部分与振动的波节重叠。
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公开(公告)号：CN102170275B
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201110045508.X
申请日：2011-02-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L41/02 , A63F13/08 , A63F2300/204 , G04F5/06 , G06F1/1616 , H03B28/00 , H03H3/02 , H03H9/19 , H03H9/215 , H03H2003/026 , H03H2003/0492
Abstract: 本发明提供振动片、振子、振荡器以及电子设备，它们能够提高抗冲击特性。石英振动片(1)是对相对于石英晶轴以规定角度切出的Z板进行蚀刻成形而成的振动片，其具备：基部(10)；从基部起在Y轴方向上延伸的一对振动臂(11)；以及在X轴方向上切入基部而成的X轴正向缺口部(12)和X轴负向缺口部(13)，X轴正向缺口部形成为从X轴负侧向正侧切入基部、并且该X轴正向缺口部的宽度随着接近外周(10b)而变宽。
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