公开(公告)号：CN1612472A

公开(公告)日：2005-05-04

申请号：CN200410086810.X

申请日：2004-10-28

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 棚谷英雄 ,  城仓寿成 ,  大城敦史

IPC: H03H9/17 ,  H03H3/02

CPC classification number: H03H9/21

Abstract: 本发明提供一种频率偏差相对温度变化的变化小、温度特性优越的压电振动片、压电器件及其制造方法、便携电话、电子设备。具有基部(51)和从基部(51)平行延伸的多个振动臂(34、35)，在基部(51)上设置有切口部(100)，在振动臂(34、35)的表面部和内面部上形成有槽部(56、57)，在振动臂(34、35)的至少槽部(56、57)中设置有驱动用电极，驱动用电极具有底层(75A)和在底层(75A)上形成的电极层(75B)，底层(75A)的厚度t为0.07μm＜t＜0.3μm的范围。

公开(公告)号：CN1622358A

公开(公告)日：2005-06-01

申请号：CN200410095637.X

申请日：2004-11-26

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 宫田拓弥 ,  城仓寿成 ,  大城敦史

IPC: H01L41/00 ,  H03H9/02

CPC classification number: H03H9/21 ,  H03H2003/026

Abstract: 本发明提供一种音叉型压电振动片和音叉型压电振子的制造方法。该音叉型压电振动片(10)具有：从基部(12)的一端突出而形成的多个振动臂部(18)；在所述基部(12)的另一端侧对应所述各振动臂部(18)而设置的多个安装电极(16)。所述各安装电极(16)隔开间隔地设置，该间隔可以防止由接合这些安装电极(16)的引脚端子(32)用导电性接合材料(22)经过温度周期循环而形成的扩散所造成的短路。由此，扩大使用温度范围、确保长期的动作、提高可靠性。

公开(公告)号：CN104753492A

公开(公告)日：2015-07-01

申请号：CN201410830314.4

申请日：2014-12-26

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山田明法 ,  山崎隆 ,  吉田周平 ,  城仓寿成

IPC: H03H9/05 ,  H03H9/19 ,  H03H9/21

CPC classification number: G01L1/106 ,  H03H9/0547 ,  H03H9/1014 ,  H03H9/215 ,  H03H2003/026

Abstract: 提供振动片、振子、振荡器、电子设备、传感器和移动体，能够高精度地进行振动臂的共振频率的微调。振动片(2)具有：基部；振动臂(5)，其包含臂部(50)以及宽度增大部(59)，其中，臂部(50)从基部延伸，宽度增大部(59)与臂部(50)的末端部连接且宽度大于臂部(50)；第1驱动用电极(84)，其被设置在振动臂(5)；以及施重层(57)，其被设置在宽度增大部(59)，厚度大于第1驱动用电极(84)，施重层(57)包含第1施重部(571)和具有固定宽度的部分的第2施重部(572)，其相对于第1施重部(571)配置在基部侧，所述固定宽度的部分的宽度小于第1施重部(571)。

公开(公告)号：CN1612472B

公开(公告)日：2011-06-22

申请号：CN200410086810.X

申请日：2004-10-28

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 棚谷英雄 ,  城仓寿成 ,  大城敦史

IPC: H03H9/17 ,  H03H3/02

CPC classification number: H03H9/21

Abstract: 本发明提供一种频率偏差相对温度变化的变化小、温度特性优越的压电振动片、压电器件及其制造方法、便携电话、电子设备。具有基部(51)和从基部(51)平行延伸的多个振动臂(34、35)，在基部(51)上设置有切口部(100)，在振动臂(34、35)的表面部和内面部上形成有槽部(56、57)，在振动臂(34、35)的至少槽部(56、57)中设置有驱动用电极，驱动用电极具有底层(75A)和在底层(75A)上形成的电极层(75B)，底层(75A)的厚度t为0.07μm＜t＜0.3μm的范围。