公开(公告)号：CN105043368B

公开(公告)日：2019-04-23

申请号：CN201510185507.3

申请日：2015-04-17

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01C19/5642

Abstract: 本发明提供一种功能元件、电子设备以及移动体，其能够具有良好的温度特性。功能元件(100)包括：设置有凹部(12)的基板(10)；与所述基板(10)的规定凹部(12)进行的壁部(13)相连接固定部(30a)、(30b)；从固定部(30a)、(30b)延伸出并能够在第一轴方向上伸缩的弹性部(40)、(44)；与弹性部(40)、(44)相连接的可动体(20)；从可动体(20)延伸出可动电极部(50)、(52)；与基板(10)相连接并沿可动电极部(50)、(52)的延伸方向而延伸的固定电极部(60)、(62)、(64)、(66)，凹部(12)具有被设置在壁部(13)上的缺口部(16)，固定部(30a)、(30b)具有与基板(10)分离并在俯视观察时与凹部(12)重叠的重叠部(32)，重叠部(32)的至少一部分在俯视观察时与缺口部(16)重叠，弹性部(40)、(44)从重叠部(32)延伸出。

公开(公告)号：CN104345173B

公开(公告)日：2019-03-12

申请号：CN201410356604.X

申请日：2014-07-24

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明提供一种功能元件、电子设备及移动体，所述功能元件能够抑制因干扰而产生的测量精度的差异。所述功能元件的特征在于，具备：固定电极部，其包括第一固定电极部(21)及第二固定电极部(22)；第一配线部(50)，其被连接于第一固定电极部(21)；第二配线部(60)，其被连接于第二固定电极部(22)，在第一配线部(50)和所述第二配线部(60)中的至少一方上设置有分叉部，从分叉部起延伸的一个配线被连接于固定电极部，从分叉部起延伸的另一个配线沿着第一配线部(50)或第二配线部(60)而设置。

公开(公告)号：CN109425755A

公开(公告)日：2019-03-05

申请号：CN201810996247.1

申请日：2018-08-29

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/08 ,  G01P3/44

CPC classification number: G01P15/0802 ,  G01C19/5705 ,  G01C19/5783 ,  G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/0831 ,  G01P15/08 ,  G01P3/44 ,  G01P2015/0862

Abstract: 一种物理量及复合传感器、惯性测量单元、电子设备及移动体，抗冲击性优异且提高了可靠性。物理量传感器具备：可动体，包括梁部、与梁部连接并沿与梁部交叉的交叉方向设置的连结部以及与连结部连接的第一、第二质量部；第一、第二固定电极，设置于支承基板上，与第一、第二质量部相对；以及突起，设置于设有第一、第二固定电极的区域，从支承基板朝向第一、第二质量部突出，在交叉方向上，当将从连结部与第一、第二质量部的连接位置到第一、第二质量部的与梁部相反一侧的端部的距离设为L，且将从突起到第一、第二质量部的与梁部相反一侧的端部的距离设为L1时，距离L1为0.18L以上0.88L以下。

公开(公告)号：CN105301283B

公开(公告)日：2019-02-19

申请号：CN201410270229.7

申请日：2014-06-17

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/125

Abstract: 本发明提供一种功能元件、电子设备及移动体，其能够准确地检测物理量。本发明所涉及的功能元件包括：第一电极部、第二电极部、与所述第一电极部相连接的第一配线和与所述第二电极部连接的第二配线，所述第一配线具备与所述第二配线以外的配线交叉的第一交叉部，所述第二配线具备与所述第一配线以外的配线交叉的第二交叉部，所述第一交叉部的个数与所述第二交叉部的个数之差相对于所述第一交叉部的个数与所述第二交叉部的个数中的较多的一方的个数,而满足在其50％以下。

公开(公告)号：CN104297523B

公开(公告)日：2018-11-20

申请号：CN201410340387.5

申请日：2014-07-16

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明提供一种功能元件、电子设备及移动体，其能够准确地对物理量进行检测。本发明所涉及的功能元件(100)包括：可动体(20)，其能够沿着第一轴而进行位移；固定部(30)，其通过连结部(40)而对可动体(20)进行支承；可动电极部(8)，其从可动体(20)起延伸；固定电极部(71)，其以与可动电极部(8)对置的方式而配置；延伸部(61)，其从固定部(30)起延伸，并具备与可动电极部(8)的侧面对置的对置部(61a)，对置部(61a)与可动电极部(8)之间的距离(L1)小于固定电极部(71)与可动电极部(8)之间的距离(L2)。

公开(公告)号：CN107010588A

公开(公告)日：2017-08-04

申请号：CN201610846981.0

申请日：2016-09-23

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00

CPC classification number: B81B3/0072 ,  B81B3/001 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2203/0181 ,  B81C1/00666 ,  B81C1/00952 ,  B81C2203/0118 ,  B81C2203/031 ,  B81B3/0008 ,  B81B2201/0242 ,  B81C1/00134

Abstract: 本发明提供一种能够良好地防止或减少可动体与基板的粘附的物理量传感器及其制造方法，此外，提供一种具备所述物理量传感器的传感器装置、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具备：底基板(2)；可动部(42)，其以与底基板(2)对置并能够相对于底基板(2)而进行位移的方式被设置；第一固定电极(51)以及第二固定电极(52)，其以与可动部(42)对置的方式被配置在底基板(2)上；多个突起部(6)，其被配置在底基板(2)的可动部(42)侧且被配置于在俯视观察时与可动部(42)重叠的位置处，突起部(6)具有导体层和绝缘层，所述导体层与第一固定电极(51)以及第二固定电极位(52)为相同电位，所述绝缘层相对于导体层而被设置在与底基板(2)相反的一侧。

公开(公告)号：CN103364589B

公开(公告)日：2017-07-18

申请号：CN201310115933.0

申请日：2013-04-03

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125

CPC classification number: G01P1/003 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0882

Abstract: 本发明提供一种物理量传感器和电子设备，其具有简单的结构且能够提高检测灵敏度。物理量传感器(100)包括：基板(10)；可动体(20)，其具备以第一轴(Q1)为界，而被设置在第一区域(20a)内的第一可动电极部(21)、和被设置在第二区域(20b)内的第二可动电极部(22)、以及被设置在第一区域(20a)和第二区域(20b)中的至少一个区域内的阻尼调节部(23)；梁部(30、32)，其对可动体(20)进行支承；第一固定电极部(50)；第二固定电极部(52)，在阻尼调节部(23)上设置有第一贯穿孔(26)，在可动电极部(21、22)上设置有第二贯穿孔(27、28)，第一可动电极部(21)与第一固定电极部(50)重叠的区域的面积、和第二可动电极部(22)与第二固定电极部(52)重叠的区域的面积相同，第一贯穿孔(26)的宽度大于第二贯穿孔(27、28)的宽度。

公开(公告)号：CN106441259A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201610463385.4

申请日：2016-06-23

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 木暮翔太 ,  田中悟

IPC: G01C19/5656

Abstract: 本发明提供具有优异的温度特性的物理量传感器以及具备该物理量传感器的电子设备及移动体。物理量传感器具备：可动电极侧固定部；具有第一固定电极部的第一固定电极侧固定部及具有第二固定电极部的第二固定电极侧固定部；可动质量部，其具有第一可动电极部及第二可动电极部，并且呈包围可动电极侧固定部、第一固定电极侧固定部及第二固定电极侧固定部的形状，其中，所述第一可动电极部具有与第一固定电极部对置的部分，所述第二可动电极部具有与第二固定电极部对置的部分；弹性部，其对可动电极侧固定部与可动质量部进行连接。

公开(公告)号：CN105372451A

公开(公告)日：2016-03-02

申请号：CN201510494373.3

申请日：2015-08-12

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明提供一种能够减少静电电容的偏差的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具有：摆动体(4)，其具有支承部(41)以及经由连结部(43、44)而与支承部(41)连接的可动部(42)，可动部(42)具有第一可动部(421)以及第二可动部(422)；第一固定电极(51)，其与第一可动部(421)对置配置；第二固定电极(52)，其与第二可动部(422)对置配置；虚拟电极(53)，其以与第二可动部(422)对置且不与第二固定电极(52)重叠的方式而配置，并且与摆动体(4)成为相同电位，第一固定电极(51)以其一部分在俯视观察时与支承部(41)重叠的方式而配置。

公开(公告)号：CN105004883A

公开(公告)日：2015-10-28

申请号：CN201510182074.6

申请日：2015-04-16

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18

Abstract: 本发明提供一种能够实现小型化的电子装置。本发明所涉及的功能元件(100)具备：第一功能元件(101)，其具有可向第一轴方向(X轴方向)进行位移的第一可动体，以及第一虚设电极(70a)；第二功能元件(102)，其具有可向与第一轴方向(X轴方向)正交的第二轴方向(Y轴方向)进行位移的第二可动体，以及第二虚设电极(70b)；第一配线，其对第一虚设电极(70a)与第二虚设电极(70b)进行连接。