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公开(公告)号：CN103493181A
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN201280020255.3
申请日：2012-02-20
Applicant: 株式会社富士金
IPC: H01L21/205 , C23C16/448
CPC classification number: C23C16/45512 , C23C16/4481 , C23C16/45557 , C23C16/52 , Y10T137/7837
Abstract: 本发明是不管是固体原料还是液体原料，都能够正确地调整载体气体与原料气体的混合气体内的原料浓度，而且在高精度的流量控制下向处理腔稳定地进行供给，并且能够容易地进行过原料的余量管理的汽化供给装置，包括下列部分构成：流路(L1)，其将来自载体气体供给源的载体气体向源储罐的内部上方空间部供给；自动压力调整装置，其间置于该流路(L1)，将源储罐的内部上方空间部的压力控制为设定压力；流路(L2)，其向处理腔供给在所述空间部生成的原料蒸汽与载体气体的混合气体；流量控制装置，其间置于该流路(L2)，将混合气体的流量自动调整为设定流量；以及恒温加热部，其将源储罐和流路(L1)以及流路(L2)加热为设定温度，该汽化供给装置为将所述空间部的内压控制为所期望的压力，并且向处理腔供给混合气体的构成。
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公开(公告)号：CN102667284A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201080054455.1
申请日：2010-11-04
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16K31/007 , F16K7/14 , F16K25/005 , G05D7/0629 , Y10T137/6416 , Y10T137/7759 , Y10T137/776 , Y10T137/7761
Abstract: 本发明一种提供即使是超过压电致动器的使用范围温度的温度的流体，也能够控制的压电驱动式阀和压电驱动式流体控制装置。本发明具备用于将流体流路(1b)开闭的阀体(2)、用于利用压电元件的伸长而对阀体(2)进行开闭驱动的压电致动器(10)以及用于将压电致动器(10)以从流体流路(1b)远离的方式举起并支撑且将从流动于流体流路(1b)的流体向压电致动器(10)传导的热散热的散热隔件(40)，而且，优选，具有容纳并支撑压电致动器(10)和散热隔件(40)的双方的支撑筒体(23A)，支撑筒体(23A)的至少容纳散热隔件(40)的部分由具有与散热隔件(40)相同的热膨胀系数的材料形成。
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公开(公告)号：CN101652592B
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN200880011029.2
申请日：2008-03-13
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16K31/007 , F16K7/14
Abstract: 在压电促动器(16)收缩时缓解在压电元件上产生的张力，即使在高温环境下也能够进行稳定的流量控制。本发明的压电元件驱动式控制阀包括如下部分：具有阀座(8d)的主体(8)；抵接或离开阀座(8d)的金属隔膜(9)；自由升降地支撑于主体(8)侧的促动器盒(13)；固定在主体(8)侧的分割基座(11)；向下方推压并驱策促动器盒(13)而使金属隔膜(9)抵接阀座(8d)的碟形弹簧(15)；以及容纳在促动器盒(13)内、因电压的施加向上方伸长并逆着碟形弹簧(15)的弹性力上推促动器盒(13)的压电促动器(16)，其中，在分割基座(11)和压电促动器(16)之间设有始终在压电促动器(16)的压电元件上施加压缩力的预压机构(20)。
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公开(公告)号：CN101258456B
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN200680031548.6
申请日：2006-08-28
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: G01F1/42 , F16K37/0091 , G05D7/0635
Abstract: 能够不将阀从流体供给系统的配管路径拆下而利用具有压力传感器的流量控制装置的功能简单且迅速、正确地检查组装在使用流量控制装置的流体供给系统中的多个阀的动作不良及座泄漏等异常。具体而言，在装备有包括流量设定机构、流量及压力的显示机构及或流量自诊断机构的具有压力传感器的流量控制装置的流体供给系统中，利用上述流量控制装置的上述压力的显示值及或流量自诊断机构的诊断值检测上述流量控制装置及设在其上游侧及或下游侧的控制阀的异常。
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公开(公告)号：CN101479681B
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN200780024501.1
申请日：2007-06-13
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/0664 , Y10T137/85938 , Y10T137/87314 , Y10T137/87539
Abstract: 本发明提供一种流量比可变型流体供给装置，能够使对半导体制造装置用腔室的流量比可变型气体分流供给装置大幅地小型化和低成本化，并且能够简单且高精度地进行流量比的调整。一种流量比可变型流体供给装置，将从流量控制装置(6)供给的流量Q的气体以既定的流量Q1、Q2向第1分流管路(1)和第2分流管路(2)分流，并将流量Q的气体从两分流管路(1、2)供给到腔室内，其中，在上述第1分流管路(1)上设置有开口面积S1的第1节流部(3)，另外将上述第2分流管路(2)作为并列状地连结多条分支管路(2a～2n)的管路，在上述各分支管路(2a～2n)上分别设置有开口面积S2a～S2n的节流部(4a～4n)，并且在上述分支回路的全部或一部分上设置有开闭阀(Vb～Vn)，通过该开闭阀(Vb～Vn)的开或闭来调整第2分流管路(2)的能流通的节流部的合计开口面积S2o，从而以流量比Q1/Q2使流量Q的气体流向各分流管路(1、2)分流，所述流量比与上述第1分流回路(1)的第1节流部(3)和上述第2分流回路(2)的能流通的节流部的合计开口面积S2o的比相等。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102057340A
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：CN200980121364.2
申请日：2009-04-06
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D16/20
CPC classification number: G05D7/0635 , Y10T137/7761
Abstract: 在变更流量调整器的输出流量或变更流通的气体种类时，其输出侧的流量不产生过冲。本发明是一种向流量调整器供给的气体供给压力的自动压力调整器(20)，由压电元件驱动型压力调整阀(15)、控制压检测器(14)以及控制器(16)构成上述自动压力调整器(20)，该控制压检测器设在压力调整阀(15)的输出侧，该控制器被输入控制压检测器(14)的检测值(P2)和控制压的设定值(Pst)，利用比例控制方式而向压力调整阀(15)的压电元件驱动部供给控制信号，进行阀的开度调整，并且，通过使积分动作无效，将控制器的所述比例控制方式作为控制压产生残留偏差的控制。
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公开(公告)号：CN102016740A
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：CN200980114746.2
申请日：2009-02-18
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/0635 , Y10T137/7762
Abstract: 本发明提供一种具备流量自身诊断功能的压力式流量控制装置的压力控制阀用压电元件驱动电路。在具备流量自身诊断功能的压力式流量控制装置的压力控制阀用压电元件驱动电路(5)中，与控制部的驱动电路并联地设置用于使控制阀高速关闭的关闭电路(8)，通过使流量自身诊断时的阀的关闭时间延迟减少，在流量自身诊断时获得高精度的诊断结果。
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公开(公告)号：CN101922566A
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN200910171113.7
申请日：2003-12-18
CPC classification number: F16K47/02 , F16K47/023 , F16L55/043 , Y10T137/0324 , Y10T137/0379 , Y10T137/0396 , Y10T137/7761 , Y10T137/86389 , Y10T137/86461
Abstract: 通过极为简单的装置及操作，不会发生水击、而且在短时间内，可以将流体通路紧急关闭。为此，由以下部分构成无水击关闭装置：加装在流体通路上的致动器动作式阀；向致动器动作式阀供应两级阶梯状的致动器动作压力Pa的电气变换装置；可自由拆装地固定到前述致动器动作式阀的上游侧管路上的振动传感器；输入由振动传感器检测出来的振动检测信号Pr、并且向电气变换装置输出控制前述两级阶梯状的致动器动作压力Pa的阶梯动作压力Ps′的大小的控制信号Sc，通过该控制信号Sc的调整、从电气变换装置输出振动检测信号Pr基本上成为零的阶梯动作压力Ps′的两级阶梯状的致动器压力Pa的调整箱。
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公开(公告)号：CN100487620C
公开(公告)日：2009-05-13
申请号：CN200480029178.3
申请日：2004-09-14
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D16/208 , Y10T137/7761 , Y10T137/8741 , Y10T137/87507
Abstract: 本发明提供一种腔室内压控制装置，通过防止流量的控制精度在小流量范围大幅下降，并在整个流量控制范围可以进行高精度的流量控制，来调节向腔室供给的气体流量并在较大压力范围高精度控制腔室内压。具体来说，向腔室供给气体的装置，由并列状连接的多台压力式流量控制装置，和控制多台压力式流量控制装置的动作的控制装置形成，一边控制流量一边向由真空泵排气的腔室供给所希望的气体，其中，把一台压力式流量控制装置作为控制向腔室供给的最大流量的至多10%的气体流量范围的装置，把其余的压力式流量控制装置作为控制其余的气体流量范围的装置，进而在腔室上设置压力检测器并且向控制装置输入该压力检测器的检测值，调节向压力式流量控制装置的控制信号来控制向腔室的气体供给量，由此来控制腔室内压。
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公开(公告)号：CN100471790C
公开(公告)日：2009-03-25
申请号：CN200580015020.5
申请日：2005-07-04
Applicant: 株式会社富士金
IPC: C01B5/00
CPC classification number: B01J12/007 , B01J2219/00078 , B01J2219/00087 , B01J2219/00096 , B01J2219/00135 , C01B5/00 , F28D2021/0029 , F28F3/02 , H01L21/67017
Abstract: 在水分发生反应炉中，通过提高反应炉主体的散热特性，也可以被限制的体积容量的水分发生反应炉安全地令水分发生量倍增。具体而言，在通过令供给到反应炉主体内的氢和氧与白金涂料催化剂层接触而令其反应性活性，由此在非燃烧状态下令氢和氧反应的水分发生反应炉中，令冷却器由出口侧冷却器形成，所述出口侧冷却器包括向出口侧炉主体部件的外表面固定的中央处贯穿设置有插入孔的散热体基板、和在该散热体基板的上述加热器插入孔以外的部分上垂直状地并行而竖立设置的多个散热体，并且令用于加热上述反应炉主体的加热器的局部插通出口侧冷却器的加热器插入孔而向出口侧炉主体部件的外表面固定。
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