一种基于球坐标球度仪的高精度球度测量方法

    公开(公告)号:CN114152236A

    公开(公告)日:2022-03-08

    申请号:CN202111372162.4

    申请日:2021-11-18

    Abstract: 一种基于球坐标球度仪的高精度球度测量方法,属于球度精密测量技术领域。包括以下步骤:S1.建立高精度球度仪;S2.调节辅助对心装置上的标准圆柱体的回转轴线与高精度球度仪的高精度卧式主轴回转轴线同轴;S3.利用辅助对心装置使非接触式位移传感器测量轴线与高精度卧式主轴回转轴线垂直相交;S4.使标准球球心在高精度气体静压转台的延长线上;S5.使非接触式位移传感器测量轴线经过标准球球心;S6.使标准球球心在高精度卧式主轴回转轴线的延长线上;S7.换成被测球,根据路径规划即可测量球体的经、纬线、或任意路径的数据。本发明实现了在高精度球坐标球度仪上的空间三维方向的对心,从而进步提高球度测量精度,测量更全面。

    一种五自由度精密测量装置及其控制方法

    公开(公告)号:CN113251907A

    公开(公告)日:2021-08-13

    申请号:CN202110529228.X

    申请日:2021-05-14

    Abstract: 本发明涉及零件测量,更具体的说是一种五自由度精密测量装置及其控制方法。所述控制方法使用控制计算机和网线LAN;利用光栅尺读数头作为位置反馈元件,UMAC控制器将各个光栅尺读数头测得各轴的位移数据与LVDT传感器位移数据相叠加,当LVDT传感器的测头与待测零件的待测表面接触时,LVDT传感器发生位移变化后,UMAC控制器获取和记录LVDT传感器的位移数据并生成位移信号,所述移信号以±10V模拟电压的形式并通过信号放大器连接到模拟电压数据采集模块上,所述的控制计算机通过网线LAN与UMAC控制器双向连接实现总体控制及测量结果显示,可实现对精密复杂微小零件形位误差的测量。

    一种微径铣刀不平衡量修正的微去除逼近方法

    公开(公告)号:CN111571320B

    公开(公告)日:2021-08-03

    申请号:CN202010496823.3

    申请日:2020-06-03

    Abstract: 本发明公开了一种微径铣刀不平衡量修正的微去除逼近方法,所述方法包括如下步骤:(1)搭建微去除逼近系统;(2)将微径铣刀按相位标记装入定相装置中进行逼近旋转运动;(3)定位横向去除位置;(4)进行逼近粗动进给;(5)进行微进给运动,并由控制系统监视微扭力传感器的输出,一经检测到微力信号,则完成此次逼近,将微径铣刀转至去除相位,启动精密去除旋转电机,实现微去除程序;(6)未能实现逼近,则退回初始位置,再启动纵向宏动精密运动平台进行柔性铰链微动工作台一半行程的粗动进给,之后再次启动(4)的过程,直至逼近成功。本发明可实现修正过程的弱刚度逼近及修正过程的大刚度去除,从而实现高分辩力高精度的修正微去除。

    一种基于超精密铣削工艺的光栅尺误差补偿方法

    公开(公告)号:CN111546134B

    公开(公告)日:2021-08-03

    申请号:CN202010302054.9

    申请日:2020-04-16

    Abstract: 一种基于超精密铣削工艺的光栅尺误差补偿方法,属于光栅尺测量技术领域。建立铣削平面误差条纹模型,加工多个不同角度的平面,并进行表面形貌检测,将检测结果与模型对比,判断正弦性,确定机床光栅尺误差的同步位置,确定补偿相位值,确定补偿量;确定补偿计算式,建立误差补偿表,进行变换补偿。本发明可以有效地识别因光栅尺误差而产生的表面条纹,识别光栅尺误差,大幅度提高了切削表面质量,有效地降低了工件表面粗糙度;补偿后机床加工零件的表面粗糙度值是未补偿表面的50%~60%,表面质量提高1~2倍。

    一种基于端齿盘定位原理的高精度快速定位装置

    公开(公告)号:CN109158915B

    公开(公告)日:2021-03-23

    申请号:CN201811236321.6

    申请日:2018-10-23

    Inventor: 孙涛 王哲 赵学森

    Abstract: 一种基于端齿盘定位原理的高精度快速定位装置,涉及一种定位装置。柱状基座竖直设置且上表面中部有圆槽一,外圆周面有通孔一和圆槽二,通孔一与圆槽一和圆槽二连通设置,通孔一内有夹紧机构,圆槽二与气接头的一端连接,端齿盘与柱状基座和基板连接,端齿盘上表面中部有与通孔一相连通的通孔三,接头的下端间隙地穿过所述通孔三并放置在圆槽一内,接头下端通过所述夹紧机构夹紧,接头上端与基板固定连接,基板的上端与三爪卡盘的下端可拆卸连接。本发明相比于现有结构更简单,适用于超精密零件加工过程中的定位夹紧与换位过程,减少机床80%停机时间,工作效率提高2‑3倍,可减小加工过程中的换位操作误差至0.001mm以下。

    一种金刚石微径铣刀动平衡测试与修正系统

    公开(公告)号:CN111595517A

    公开(公告)日:2020-08-28

    申请号:CN202010496833.7

    申请日:2020-06-03

    Abstract: 本发明公开了一种金刚石微径铣刀动平衡测试与修正系统,所述系统包括微磨削工作台和动平衡测量工作台两部分,其中:所述微磨削工作台包括精密气浮隔振平台、底座、精密运动台、压电陶瓷、电控旋转台、弹簧夹头、CCD相机、CCD安装架、竖直方向一维精密导轨、连接板、二维精密运动平台A、磨削轴安装架、高速磨削主轴、气动夹头A、砂轮磨头、二维精密运动平台B;所述动平衡测量工作台包括光电传感器、工控机、振动传感器、动平衡主轴、气动夹头B和动平衡仪。该系统可以对微铣刀进行动平衡的检测和不平衡量的处理,可以解决金刚石微铣刀在制备或磨损后由于动不平衡量导致微铣削加工过程中精度降低的难题。

    一种可实现微球任意角度翻转的装置及操作方法

    公开(公告)号:CN108648833B

    公开(公告)日:2019-05-17

    申请号:CN201810448702.4

    申请日:2018-05-11

    Abstract: 本发明公开了一种可实现微球任意角度翻转的装置及操作方法,所述装置包括基座以及位于基座上的可转动二维滑台系统、一维滑台系统、主CCD图像传感器系统和副CCD图像传感器系统,所述可转动二维滑台系统由Y方向滑台A、Z方向滑台、六自由度快速安装夹具A、定位片A、气筒A、转台、转台电机组成;所述一维滑台系统由Y方向滑台B、安装板、六自由度快速安装夹具B、定位片B、气筒B组成;所述主CCD图像传感器系统由CCD图像传感器A和安装支架A组成;所述副CCD图像传感器系统由CCD图像传感器B和安装支架B组成。本发明在对微球进行全表面加工和检测时能实现微球精确翻转任意角度,并确保微球的空间重复定位精度及效率。

    一种利用异形电极刀具进行电化学加工的方法

    公开(公告)号:CN107486601B

    公开(公告)日:2019-03-19

    申请号:CN201710675817.2

    申请日:2017-08-09

    Abstract: 一种利用异形电极刀具进行电化学加工的方法,涉及微纳米加工领域。方法是:根据需要加工的特定形貌结构,设计制作异形电极刀具;将异形电极刀具固定于夹具上,再将夹具固定于多维操纵装置的Z方向位移台上;将被加工工件固定于电解池底部,向电解池注入电解液,控制异形电极刀具逼近被加工工件,并利用多维操纵装置的XY方向位移台调整异形电极刀具与被加工工件相对位置;将辅助电极和参比电极浸入电解液中,电化学工作站的工作电极线连接异形电极刀具,启动电化学工作站,产生电化学电流;控制C方向转台使被加工工件进行旋转运动,同时加工进行;加工结束后,被加工工件表面产生要求的形貌结构。本发明用于对工件进行电化学加工。

    基于双标准球的C轴回转中心标定的装置及方法

    公开(公告)号:CN105758343B

    公开(公告)日:2018-06-26

    申请号:CN201610145389.8

    申请日:2016-03-15

    Abstract: 基于双标准球的主轴回转中心标定装置及方法。机床上有X轴导轨和Z轴导轨,C轴有安有3R夹具的矩形支撑座和吸有标准球一的真空吸盘,过渡件与3R夹具和标准球二连接;测量传感器固定件在Y轴升降台前且安有白光共焦位移传感器。调节标准球一位置,驱动C轴和白光共焦位移传感器,对准标准球一球冠位置,记录位置PR(x,y),设为标准球一回转中心位置;将3R夹具和标准球二安在支撑座上,执行标准球二球冠顶点扫描,调整白光共焦位移传感器位置,使得白光共焦位移传感器对准标准球二的球冠位置,记录位置PS(x,y),设为标准球二参考中心位置;做差得到ΔP。本发明保障了在位检测装置的使用寿命并避免了加工过程中的机械部件干涉问题。

    一种采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法

    公开(公告)号:CN105347298A

    公开(公告)日:2016-02-24

    申请号:CN201510877418.5

    申请日:2014-08-07

    Abstract: 一种采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法,属于微纳米结构加工领域。为了解决复杂三维微纳米结构加工问题,所述装置包括AFM、X方向精密工作台、Y方向精密工作台,X方向精密工作台底座固连在Y方向精密工作台的滑块上,X方向定位工作台的滑块进行X方向运动,Y方向精密工作台底座固连在AFM样品台上,Y方向定位工作台的滑块进行Y方向运动。本发明提出的三种方法分别通过对同一套商用AFM以及高精度定位平台系统的不用控制和参数设置,实现采用AFM探针纳米刻划技术加工复杂三维微纳米结构的加工。本发明能够在较低成本下解决复杂三维微纳米结构的加工问题,且方法简单,装置及加工实现成本相对较低。

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