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公开(公告)号：CN101408732B
公开(公告)日：2010-08-11
申请号：CN200810137566.3
申请日：2008-11-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 嵌入式共基面二维平衡双驱双工件台定位系统属于半导体制造装备技术领域；在基台上位于工件台A与工件台B之间位置处沿X方向嵌入两个相互平行配置的X向单板直线电机定子，该两个单板直线电机定子分别与工件台A和工件台B上的X向单板直线电机动子依次相对配合，X向单板直线电机定子上表面与基台基准面平行，且嵌入在基台凹槽内，并在X向单板直线电机定子四周填充联接材料；本系统避免了单边驱动的质心偏置和单边变速驱动产生的变化惯性转矩引起的工件台振动和不稳定，结构简化，刚度加强，可靠性提高。
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公开(公告)号：CN100557263C
公开(公告)日：2009-11-04
申请号：CN200610150810.0
申请日：2006-09-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/02
Abstract: 基于差动电磁作动器的空气弹簧超低频隔振方法与装置，本发明属于超低频隔振领域，空气弹簧隔振基础因空气弹簧横、纵向刚度相互耦合导致横、纵向超低频隔振性能无法兼顾。本发明产品包括：供气系统(1)、高度控制系统(2)、一组空气弹簧(3)、基体(4)、既为系统提供负刚度，又为系统提供可控阻尼力的电磁作动器(5)、速度传感器(6)、力传感器(7)、位移传感器(8)、功率放大器(9)、模/数转换器(10)、数/模转换器(11)、控制器(12)。本发明利用分别固定与基体和地面上的差动布置电磁铁与衔铁之间的相互作用，为系统提供负刚度和可控主动阻尼力，用于横、纵向超低频隔振性能要求高的场合。
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公开(公告)号：CN100467902C
公开(公告)日：2009-03-11
申请号：CN200610150808.3
申请日：2006-09-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/02
Abstract: 带有磁悬浮单元的空气弹簧隔振基础，本发明属于超低频隔振领域，空气弹簧隔振基础因空气弹簧横、纵向刚度相互耦合导致横、纵向超低频隔振性能无法兼顾。本发明产品包括：基体(5)、一组空气弹簧(4)、供气系统(1)、高度控制系统(2)、多个磁悬浮单元(3)、刚度扶正装置(6)，供气系统(1)与高度控制系统(2)输入端相连，高度控制系统(2)输出端与每个空气弹簧(4)分别相连，磁悬浮单元(3)和空气弹簧(4)串联安装于所述的基体(5)之下，由空气弹簧(4)与磁悬浮单元(3)串联支撑基体(5)，基体(5)侧面安装低刚度扶正装置(6)。本发明可在不改变隔振系统承载能力的条件下，更适于超大型空气弹簧隔振基础。
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公开(公告)号：CN100414829C
公开(公告)日：2008-08-27
申请号：CN200510002553.1
申请日：2005-01-21
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种基于磁-磁变换的纳米精度大输出力微驱动装置与方法。该装置包括外框架、永久磁铁、超磁致伸缩棒、预紧螺栓、微位移输出机构，还包括内框架和密纹丝杠；微位移输出机构和密纹丝杠分别固定在外框架的相对的两端上；在装置的内部永磁铁与密纹丝杠粘接在一起，位置关系保持同轴；永磁铁前端是预紧螺栓，它们之间保持一定的间隙，预紧螺栓与内框架通过螺纹连接；内框架内部超磁致伸缩棒与预紧螺栓呈同轴连接；超磁致伸缩棒的前端与微位移输出杆同轴粘接在一起。磁-磁变换微驱动避免了电-磁变换产生的发热现象，从而避免了热漂移现象，使该驱动器同时兼有纳米灵敏度大输出力、无机械漂移、高频响和大输出范围等优点。
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公开(公告)号：CN101067432A
公开(公告)日：2007-11-07
申请号：CN200610150808.3
申请日：2006-09-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/02
Abstract: 带有磁悬浮单元的空气弹簧隔振基础，本发明属于超低频隔振领域，空气弹簧隔振基础因空气弹簧横、纵向刚度相互耦合导致横、纵向超低频隔振性能无法兼顾。本发明产品包括：基体(5)、一组空气弹簧(4)、供气系统(1)、高度控制系统(2)、多个磁悬浮单元(3)、低刚度扶正装置(6)，供气系统(1)与高度控制系统(2)输入端相连，高度控制系统(2)输出端与每个空气弹簧(4)分别相连，磁悬浮单元(3)直接与供气系统(1)相连，磁悬浮单元(3)和空气弹簧(4)串联安装于所述的基体(5)之下，由空气弹簧(4)与磁悬浮单元(3)串联支撑基体(5)，基体(5)侧面安装低刚度扶正装置(6)。本发明可在不改变隔振系统承载能力的条件下，更适于超大型空气弹簧隔振基础。
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公开(公告)号：CN116183578A
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202310104170.3
申请日：2023-02-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种夹层拉曼微球与拉曼增强光纤光镊结合的生物分子检测系统，包括以下几个部分：夹层结构的拉曼光子晶体微球、拉曼光谱检测系统、表面覆银锥型光纤、三自由度微位移平台、光纤激光器、载物台等；表面覆银锥型光纤具备拉曼散射增强效应，将其锥头探入待测溶液中，光纤尖端形成高梯度汇聚光场，在光场焦点位置可实现夹层结构的拉曼光子晶体微球稳定捕获，被捕获的夹层结构拉曼光子晶体微球与表面覆银锥型光纤端部贴合，实现稳定可重复的拉曼信号增强区域，本发明具备尖端区域拉曼增强能力，在增强区域范围具备目标物分子痕量的检测功能。
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公开(公告)号：CN113008155B
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202110236407.4
申请日：2021-03-03
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了光纤光栅与压电陶瓷结合的磁噪声抑制主动隔振装置，主要包括以下几部分，包括：大型隔振装置由柱墩、气浮隔振器、混泥土质量块共同构成；零磁室，构成一个近零磁环境；形变测量系统，主要由应变片和弱磁信号探测装置——超导量子干涉仪共同组成；微位移驱动控制与执行系统，主要由控制器和压电陶瓷驱动器，压电陶瓷致动器组成。本发明则直接针对外界环境引起的磁屏蔽室墙面产生的振动进行隔振。近零磁空间中磁噪声抑制的压电陶瓷主动隔微振装置直接作用于振动物体，既能减小磁屏蔽室随大地一起做低频振动产生的磁噪声，又能较小由于环境中的声音、空气对流等因素直接作用于屏蔽墙面引起的振动带来的磁噪声。
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公开(公告)号：CN109353496B
公开(公告)日：2022-05-31
申请号：CN201810724645.8
申请日：2018-07-04
Applicant: 哈尔滨工业大学(威海)
IPC: B64C31/032 , B64C3/56
Abstract: 一种展开式三角翼飞行装置，本发明涉及一种飞行装置，本发明为了解决现有三角翼飞行装置在使用中需要频繁拆解组装三角翼的翼面部件，浪费时间的问题，它包括主体机构、滑展机构和机翼机构，主体机构包括龙骨前管和龙骨后管，主体机构与滑展机构滑动连接，机翼机构与龙骨前管的前端转动连接，机翼机构与滑展机构转动连接，滑展机构滑动安装在龙骨前管上，龙骨前管后端与龙骨后管的前端固接。本发明属于飞行技术领域。
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公开(公告)号：CN113551616A
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：CN202110836220.8
申请日：2021-07-23
Applicant: 哈尔滨工业大学(威海)
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种圆锥阵列线激光三维测量仪，属于三维测量仪器领域，本发明为了解决现有在对物体全貌进行扫描和点云采集时，往往依赖相机某些方向的运动精度或者需要引入多个相机，难以控制误差来源，并且测量系统成本大幅提升，不利于此类测量系统的推广的问题，本发明提供的一种圆锥阵列线激光三维测量仪，利用圆锥阵列对线激光相机的激光平面进行实时标定，只要相机视野中能够拍摄到两个圆锥即可同步完成点云位置解算和拼接工作，因此线激光相机的位置、姿态等运动参数将不会影响测量的精度，测量误差集中到线激光相机的精度和圆锥标定物的制造和安装精度上，此结构只需要一台线激光相机，成本相比于多相机系统有大幅缩减，并且安装调试更为便捷。
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