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公开(公告)号：CN103105740A
公开(公告)日：2013-05-15
申请号：CN201310015937.1
申请日：2013-01-16
Applicant: 华中科技大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种极紫外光源产生装置，包括聚焦透镜、电机、轴承、温度控制器、液体靶材、器皿和固体靶材；固体靶材位于聚焦透镜的焦平面上，器皿用于放置液体靶材，器皿位于固体靶材的下方，固体靶材部分浸入液体靶材中；温度控制器用于给器皿中的液体靶材加热使之保持液态；轴承位于固体靶材的中心，电机与轴承相连，电机用于驱动固体靶材绕轴承转动，固体靶材转动时粘附液体靶材；工作时，激光光束通过聚焦透镜聚焦后轰击粘附在所述固体靶材上方的液体靶材，激光与液体靶材相互作用产生等离子体，等离子体辐射出极紫外光。本发明能够极大的消除碎屑对反射镜以及其他光学元件的污染；能提高其产生EUV的稳定性；成本低；技术实现容易。
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公开(公告)号：CN103076081A
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN201210534883.5
申请日：2012-12-11
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01H9/00
Abstract: 本发明公开了一种脉冲气体激光器风机振动的测量系统，该系统包括探测光源，第一反射镜面，第二反射镜面，光电探测器，信号处理电路，数据采集器，处理器和显示器；该系统通过固定支架与脉冲气体激光器刚性连接，风机转动过程产生的振动通过固定支架使反射镜面发生位移。风机工作之前，探测光束通过固定支架中的两面反射镜反射后反向射出，探测光束光斑位于二象限光电探测器光敏面的中心，保证两个象限输出信号相同。风机工作产生离心振动带动固定支架上产生上下移动，探测光束在反射镜上的位置发生变化，出射光束的位置和投射在光电探测器光敏面上的光斑位置发生相应变化；本发明具有测量系统简单、精度高、操作方便的特点，具有很强的实用性。
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公开(公告)号：CN103068136A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210533905.6
申请日：2012-12-11
Applicant: 华中科技大学
IPC: H05H1/00
Abstract: 本发明公开了一种放电等离子体电子密度测量装置及方法。装置包括探测光源、二象限探测器和信号处理器。将探测光源与二象限探测器分别放置在两个旋转平移台上，分置于放电装置的两端，使探测光源的激光对准二象限探测器的中心；重复多次将探测光源与二象限探测器在同一个维度上移动相同的距离，记录放电时不同位置二象限探测器两个光敏面的响应幅值比；再由信号处理器根据两个光敏面的响应幅值比计算出该维度上放电等离子体电子密度分布。本发明克服了传统测量装置系统结构复杂、设备昂贵的缺点，同时能够有效的提高测量精度，并且对放电等离子体不造成干扰，得到放电等离子体电子密度的空间分布。
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公开(公告)号：CN103063324A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210533664.5
申请日：2012-12-11
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01K11/00
Abstract: 本发明公开了一种分子气体激光器腔内气体温度监控装置及其方法。该装置包括收集镜、光谱仪、CCD相机以及计算机；CCD相机接驳在光谱仪上，CCD相机和光谱仪均与计算机电连接，光谱仪的狭缝上安装有光纤探头，计算机用于对光谱数据依次进行位置校正、强度校正、归一化、拟合曲线对比，获取并记录气体温度。方法通过探测放电等离子体发光监控气体温度，直接获得放电中心区域的温度。本发明是一种非接触式温度监控装置，特别适合分子气体激光器这种对气密性与气体成分纯度要求比较高的放电装置的温度监控，可实现远距离监控。
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公开(公告)号：CN103048119A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210523837.5
申请日：2012-12-08
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种空芯光纤气体填充速率的检测方法，具体为：将待测气体通入光子晶体光纤，四极质谱仪对输入光纤的气体进行采样分析，得到气体压强随时间变化的关系即为气体填充速率。本发明还提供一种空芯光纤气体填充速率的检测装置，包括气腔、涡轮分子泵、转接口和四极质谱仪，气腔的一端连接涡轮分子泵，另一端连接光纤的输入端，光纤的输出端连接转接口的光纤接口，转接口的管道接口连接四极质谱仪。本发明创新的提出将四极质谱仪用于光子晶体光纤气体填充速率检测，解决了传统光学法和气压计法无法实现对光子晶体光纤混合气体填充速率的检测问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103048062A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210523847.9
申请日：2012-12-07
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01K11/00
Abstract: 本发明属于光学测量技术领域，涉及的是测量脉冲放电等离子鞘层温度的方法，该方法结合光谱法与激波波速测量，首先利用光谱法准确的测量出正柱区的气体温度，再利用小孔光阑阴影法，准确的测量放电后激波的波速，再用正柱区温度与激波波速计算出薄鞘层温度。本发明克服了放电等离子鞘层厚度薄、发光总量弱、无法直接测量的缺点，利用了正柱区体积大、发光强、利于收集，以及激波波速恒定，易于测量的特点，通过运用激波管的近似原理，准确的测量放电等离子鞘层的气体温度。
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公开(公告)号：CN103022858A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201210525708.X
申请日：2012-12-07
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01S3/038
Abstract: 本发明提供一种电晕预电离装置，该装置包括同心布置的电晕外电极，介质管、内电极，电晕内电极位于介质管内，半径略小于介质管的内径，电晕外电极与放电腔的第一主放电电极是电气相连的，内电极通过引线与放电腔的第二主放电电极相连。通过采用大面积的电晕外电极与介质管间隔形成障碍放电，获得均匀分布的较高预电离电子密度。外电极将UV辐射限制在主放电区，从而提高了UV利用率，避免了一些有害弧光和寄生放电的产生。电晕电极布局结构紧凑，不会影响工作气体的流动。采用半径略小于介质管内径的电晕内电极且将内电极一端固定，另一端用弹片柔性连接的方法消除了由于长期工作内电极受热膨胀的影响，提高了预电离装置长期工作的稳定性。
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公开(公告)号：CN103001109A
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201210513378.2
申请日：2012-12-03
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01S3/08
Abstract: 本发明属于准分子激光技术领域，提供了一种准分子激光器环形腔调节装置和方法。所述装置包括参考光源，用于产生校准所用参考光束；反射镜，小孔光阑和屏。所述方法尤其适用于环形腔调节参考光与准分子激光同轴方法。该方法以放电腔在两密封窗口外的荧光光斑中心为基准确定放电腔光轴位置，通过调整环形腔内两面反射镜来使参考光绕环形腔一周后与其刚进入耦合镜的二次反射光在近点与远点光斑重合，从而实现准分子激光器环形腔腔体的调整。本发明克服了传统方法的局限性，将环形腔的调节简化为腔外两光束重合的调节，调节精度高，不需要拆除密封窗口，不需要额外的测量仪器，操作简单。
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公开(公告)号：CN102680451A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210136681.5
申请日：2012-05-04
Applicant: 华中科技大学 , 武汉四方光电科技有限公司
IPC: G01N21/65
Abstract: 本发明公开了一种基于振动充气装置并配合锁相放大器来去除气体拉曼散射中毛细管等产生的背景噪声的装置和方法。它包括振动装置和锁相放大处理方法。振动装置产生的振动使玻璃毛细管中的气体产生微小波动，改变毛细管内的气体分子数大小，获得以固定频率波动的气体分子拉曼散射信号。锁相放大器通过信号发生器提供的参考频率将以该频率波动的气体分子拉曼散射信号从总的拉曼散射信号中提取出来。本发明克服了拉曼气体分析检测过程中背景散射噪声对测量结果的影响，解决了各种装置无法彻底去除背景噪声的缺陷。本发明提供的气体拉曼散射检测装置系统结构简单，操作方便，具有很强的实用性。
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公开(公告)号：CN206100589U
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201620714784.9
申请日：2016-07-08
Applicant: 华中科技大学
IPC: H05H1/24
Abstract: 本实用新型公开了一种均匀容性平板电极放电装置，包括充气单元、主电源单元、放电单元、预电离单元和真空单元；所述充气单元与所述真空单元连接，提供放电气体；所述放电单元设置在所述真空单元内，产生气体放电的区域；所述预电离单元与所述放电单元连接，为气体放电提供初始电子；所述主电源单元与所述放电单元连接，为维持放电提供功率；所述真空单元用于去除其它气体杂质对放电的影响。本实用新型通过在放电空间两侧布置阵列式针电极的方式，在放电空间上均匀预放电，然后在平板电极上施加放电功率实现高气压下的气体稳定放电，这种放电方式可以有效降低气体击穿电压，放电也更均匀，可用于材料表面改性、高功率气体激光器等领域。
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