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公开(公告)号：CN1794410A
公开(公告)日：2006-06-28
申请号：CN200510112215.3
申请日：2005-12-29
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微电子技术领域的使用一维纳米材料的阴阳微空洞电极等离子体器件结构。本发明包括：衬底、阴阳微空洞电极、一维纳米结构层。阴阳微空洞电极设置在衬底上，一维纳米结构层覆盖于每个空洞电极内壁的部分或者全部表面。阴阳微空洞电极由气体间隔相互隔离。本发明既可以得到空洞电极特征的等离子体，并利用对侧等离子体的带电粒子漂移和亚稳态进一步提高空洞内部的电离，增加带电粒子产额和亚稳态产额；又可以利用阴阳空洞之间的气体间隙提高气体流动性，增强可控性；一维纳米结构层的加入可以增强电场集中，降低工作电压。
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公开(公告)号：CN1794086A
公开(公告)日：2006-06-28
申请号：CN200610023238.1
申请日：2006-01-12
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微细加工技术领域的在感光材料表面覆盖并图形化碳基纳米结构的方法，首先制备碳纳米管薄膜，然后制备感光材料图形，最后进行反应离子辅助等离子体增强气相沉积，即使用反应离子辅助等离子体刻蚀技术刻蚀碳纳米管薄膜，同时利用形成的复合等离子体在感光材料层表面形成新的碳基纳米结构，所使用的刻蚀气体，必须能够依靠物理轰击、化学反应或者两者的综合作用刻蚀碳纳米管，即能够将碳纳米管分解成为碳基纳米颗粒，从而形成复合等离子体。本发明形成的碳基纳米结构与基体可以有很好的结合力，很好的垂直取向性和密度、高度的一致性，同时，其密度、长度可以被控制，并适于加工实现阵列化设计和批量生产，因此有着广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN1793893A
公开(公告)日：2006-06-28
申请号：CN200510112216.8
申请日：2005-12-29
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种传感器技术领域的使用一维纳米材料的微型气体传感器。本发明包括：衬底、金属底电极层、一维纳米材料层、金属支柱层、金属顶电极层。其中，金属底电极层设置在衬底上，一维纳米材料层设置在金属底电极层之上，金属支柱层设置在衬底之上，顶电极设置在衬底上。金属底电极层、一维纳米材料层与金属支柱层之间相互隔离，顶电极层和底电极层、一维纳米材料层之间有气体间隙相互隔离。本发明具有选择性高、灵敏度高、低能耗、成本低、易于实现阵列化、小型化的优点，并有利于提高安全性、稳定性。
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公开(公告)号：CN1207427C
公开(公告)日：2005-06-22
申请号：CN02157786.2
申请日：2002-12-26
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 超声起雾效应制备薄膜的大面积沉积设备属于薄膜材料领域。主要包括：加热炉、超声起雾器、雾气输送系统、雾气均匀分配喷头、负压尾气抽取与处理系统、样品装载机构和样品输送机构，雾气均匀分配喷头和样品输送机构直接与加热炉相连接，雾气输送系统、超声起雾器、雾气均匀分配喷头、尾气抽取与处理系统则通过小口径管路依次相连接，样品装载机构是独立的部件，与样品一起装载和卸载。本发明使在大面积上获得膜厚均匀的各种薄膜在技术上成为可能，设备成本大大降低，设备成本仅为同样生产能力的常压化学气相沉积设备的1/3左右，这样的价格减少正是氧化物透明导电膜玻璃在这些领域得到大规模应用的必要条件。
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公开(公告)号：CN1180230C
公开(公告)日：2004-12-15
申请号：CN03114812.3
申请日：2003-01-09
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种纳米碳基薄膜场发射压力传感器属于微细加工和传感器技术领域。主要包括：电子发射阴极、阳极、绝缘隔离层、发射腔体、电极引线。电子发射阴极材料采用纳米碳基薄膜，电子发射阴极和阳极通过绝缘隔离层相连，在高真空环境下进行键合封装，在电子发射阴极和阳极之间形成场发射腔体，电极引线分别从电子发射阴极和阳极背面引出。本发明由碳基纳米薄膜作为电子发射阴极构成的压力传感器，不仅具有高灵敏性、耐高温、抗辐射、低功耗的优点，而且整个压力传感器的整体结构和制备工艺简化，成本降低，成品率提高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1164486C
公开(公告)日：2004-09-01
申请号：CN02111337.8
申请日：2002-04-12
Applicant: 上海交通大学
IPC: C01B31/02
CPC classification number: B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/15 , C01B2202/08
Abstract: 操纵碳纳米管选择性取向排布于基底表面的方法属于纳米技术领域。本发明方法为：①在溶剂中，通过在每一个碳纳米管上结合带有亲水和疏水端的链状分子，将初始碳纳米管净化和溶液化；②将固态衬底处理成亲水，或进一步处理成疏水；③用Langmuir水槽，控制水表面碳纳米管单分子薄膜表面压力-表面积等温线；④将形成的碳纳米管单层，转移到处理过的固态衬底的亲水表面和疏水表面形成Y-型LB膜，测试碳纳米管取向LB膜在基底表面的选择性沉积；⑤利用高能光线照射碳纳米管单层镀膜。本发明具有实质性特点和显著进步，碳纳米管排列方向可人为控制，有机物分子可成功除去，不会破坏碳纳米管膜本身。
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公开(公告)号：CN1425707A
公开(公告)日：2003-06-25
申请号：CN02155019.0
申请日：2002-12-19
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种固态基底表面有序排布纳米颗粒的方法属于纳米技术领域。本发明的具体步骤为：将带有亲水和疏水基团的链状有机分子溶于挥发性非水溶剂中。将与带有亲水和疏水基团的链状有机分子结合的纳米颗粒分散于上述溶液中。以纯水为底液，将上述含有纳米颗粒的非水溶液铺展在Langmuir槽中，控制水表面纳米颗粒单分子薄膜的膜压。用垂直提拉法将薄膜转移到处理过的固态基底表面形成Y－型LB膜。所制备的纳米颗粒薄膜经过高温退火或高能光线照射，一些有机分子离解，并从衬底上蒸发，纳米颗粒保留在基底上。所提供的方法具有简单易行，转移效率高，薄膜表面的颗粒排布有序，尺寸和厚度方便可调等特点，所制得的薄膜缺陷少，该方法适用范围广，便于推广和应用。
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公开(公告)号：CN1410775A
公开(公告)日：2003-04-16
申请号：CN02145280.6
申请日：2002-11-14
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种测量纳米级晶须材料杨氏模量的方法属于纳米技术领域。在单晶硅片上生长的纳米碳化硅晶须末端淀积悬挂单晶锗球，在透射电子显微镜下通过观察到的晶须弯曲程度统计的估算出晶须的杨氏模量。本发明具有实质性特点和显著进步，本发明提供的杨氏模量的测量也适用于其他直立生长的纳米杆状材料，与已有的测量杆状纳米材料的方法相比，巧妙的利用蒸发锗球在杆状晶须样品上来获得材料受力弯曲的特征，不需要购置专门的设备，具有成本低工艺简单的特点。
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公开(公告)号：CN202393754U
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN201120441730.7
申请日：2011-11-09
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01N33/00
Abstract: 本实用新型涉及传感器性能测试系统，尤其涉及一种气敏传感器性能测试用气体循环装置。一种气敏传感器性能测试用气体循环装置，包括：混气室、待测气瓶、载气瓶、排气泵，还包括：循环气室，所述循环气室包括进气口和出气口，所述循环气室的出气口与所述混气室的进气口通过管道连接，所述循环气室的进气口与所述排气泵的出气口通过管道连接。本实用新型解决了现在的气敏传感器性能测试系统的废气无法回收利用、造成环境污染的技术问题。
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