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公开(公告)号：CN104174256A
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：CN201410409858.3
申请日：2014-08-19
Applicant: 西安交通大学 , 深圳市六方吉星科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种净化空气的组合溶液及其用途，其中，组合溶液按重量百分比，包括下述组份：5-15％的二氧化钛：3-5％的二氧化硅：1-2％的银：5-10％的电气石；3-8％的富马酸二甲酯：3-9％的乙醇：其余为水，其中，组份二氧化钛、二氧化硅、银、电气石均为纳米级粉末。该净化空气的组合溶液可定期或不定期喷洒于公共空间的墙壁及公共设施上进行消毒、并对有限空间中的空气进行净化。也可以将其通过散发装置用于食品、粮食、饲料等生产加工场所进行空气净化。
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公开(公告)号：CN103675048A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310586102.1
申请日：2013-11-18
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS的金属氧化物气体传感器及制备工艺，其特征在于，气体传感器由Si基底、绝缘层、两个薄膜电阻加热元件、矩形微阵列、一对敏感电极及生长在矩形微阵列上的金属氧化物三维多级纳米结构组成。Si基底下部被各向异性湿法刻蚀去掉部分Si。在正面，加热元件与敏感电极按中心对称、螺旋形式布置，矩形微阵列居中心位置，三者处同一层。加热元件兼做测温元件。采用水热法合成的纳米结构通过相互交叉的枝状结构实现桥式电学连接，最终与敏感电极相连，通过改变矩形微阵列排列方式、更换不同种类的纳米材料，可加工出不同测量通路、基于不同种类敏感物质的金属氧化物纳米气体传感器。
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公开(公告)号：CN103018309A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201210521345.2
申请日：2012-12-06
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N27/409
Abstract: 本发明涉及一种用于氧传感器的TiO2敏感层结构及其制备方法，TiO2敏感层结构通过网状处理，可抑制裂纹产生和裂纹的传播，有效的减少了热应力产生的裂纹，表面与体积比的提高，有利于氧气的吸附从而增加了TiO2敏感层敏感性和减少响应时间。本发明TiO2敏感层制备方法是在有加热丝的硅基片上进行，首先在加热丝上制备出绝缘层，在绝缘层上制备叉指电极，然后在叉指电极上制备TiO2薄膜，用反应离子刻蚀把TiO2薄膜做出网状结构。
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公开(公告)号：CN102155931B
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：CN201010570497.2
申请日：2010-12-02
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01B21/18
Abstract: 本发明公开了一种基于温度场有限元分析仿真的的亚表面损伤检测方法，其特征在于，当对零件上下表面加恒温热源时，零件基体内的温度场分布曲线会有两个转折点，分别对应于裂纹的上下端。对被测零件上下表面加恒温热源，用高分辨率扫描热探针探测零件上表面稳定后的温度场分布，得到实测温度场变化曲线；建立具有不同深度亚表面损伤裂纹零件的三维模型，对零件模型的温度场分布进行有限元分析仿真，得到仿真温度场变化曲线。通过计算分析实测的和仿真的温度场分布曲线相对误差，根据仿真变化曲线的拐点判定出损伤裂纹的深度。本发明能够在不损伤零件的情况下短周期、低成本检测出零件亚表面损伤裂纹的深度。
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公开(公告)号：CN101949838B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201010270268.9
申请日：2010-09-02
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N21/35
Abstract: 本发明公开了一种分光型红外吸收式瓦斯检测装置及方法，该装置及方法运用甲烷、一氧化碳在波长3.433μm、4.65μm红外谱线吸收原理，采用MEMS红外光源发出红外光线经过准平行光组件，投射至闪耀光栅后分光得到波长3.433μm、4.65μm红外谱线，通过开放气室，实现采样气体内甲烷、一氧化碳的浓度检测。该装置结合该方法不仅可以高选择性、快速、稳定地对瓦斯气体进行检测，提高相应精度，而且还能实现甲烷、一氧化碳同时检测，并降低成本。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101526494B
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN200910021771.8
申请日：2009-03-31
Applicant: 西安交通大学 , 郑州炜盛电子科技有限公司
IPC: G01N27/407 , G01K7/18
Abstract: 本发明公开了一种基于Pt反应电极的固体电解质气体传感器及温度补偿方法，所述传感器包括Pt反应电极、固体电解质晶片，该固体电解质晶片一个端面连接带第三引线的参比电极，其特征在于，所述Pt反应电极采用MEMS工艺制备在固体电解质晶片的另一个端面上，该Pt反应电极为带状结构，其两端头分设于固体电解质晶片端面过直径方向相对的边沿，并分别连接第一引线和第二引线；该带状电极沿固体电解质晶片端面的平面呈迂回布局。第一、第二引线之间连接电阻信号转换电路，将温度变化造成的Pt反应电极电阻值变化转换为电信号输入到信号处理电路，通过信号处理电路对初测得到的反映气体体积分数的电动势信号进行补偿，消除温度变化对传感器性能的影响。
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公开(公告)号：CN102095766A
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN201010570145.7
申请日：2010-12-02
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种微型集成温控式CO2气体传感器及制备方法，所述传感器包括微型集成温控式装置与高温工作薄膜型固体电解质气敏元件，其特征在于，所述微型集成温控式装置由MEMS工艺加工的硅基体、SiO2层、Si3N4层、Pt加热器和测温元件组成；在微型集成控温结构上，通过微细加工工艺沉积SiO2层、Li3PO4固体电解质薄膜、Pt金属电极、反应电极Li2CO3和参比电极Li2TiO3/TiO2，形成薄膜型固体电解质CO2气敏元件。通过Pt加热器和测温元件的反馈组成闭环控制系通统，使传感器的温度达到工作所需的指定温度，并保持恒定，保证了CO2气体传感器最佳的性能。
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公开(公告)号：CN101672625B
公开(公告)日：2011-02-09
申请号：CN200910024280.9
申请日：2009-10-13
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了硬脆性光学材料亚表面损伤层厚度的测量方法，首先使用磁流变加工工艺在样品表面加工出一特定剖切平面，剖切亚表面损伤层，并将亚表面损伤反映到剖切平面上；使用腐蚀性化学试剂对剖切平面进行处理，将剖切平面上的亚表面裂纹暴露放大；使用粗糙度测量工具测量剖切平面上不同位置处的粗糙度值，得到粗糙度值变化曲线；由粗糙度曲线上取得数据开始趋向平稳的临界点或极点，及测量过程中记录下的起始点，求得这两点之间的高度差或投影在原有表面两点的高度差，即样品亚表面损伤层厚度d。采用本发明方法快捷、准确，可测量多面型、多材料的光学样品，亦可实现大口径、工程化应用。
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公开(公告)号：CN101726526A
公开(公告)日：2010-06-09
申请号：CN200910219073.9
申请日：2009-11-20
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N27/407 , B81B7/02 , B81C1/00
Abstract: 本发明涉及SO2气体传感器领域，公开一种固体电解质SO2气体传感器及其制作方法。该固体电解质SO2气体传感器，包括硅基片，依次设置在硅基片上面的SiO2绝缘层、导电膜、Sn/SnF2薄膜、LaF3固体电解质薄膜和Pt网，所述导电膜连出第一引线，Pt网连出第二引线。本技术方案的中，所述导电膜为Al膜；其制作方法采用MEMS(微机电系统)技术，工艺简单，实现方便。
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公开(公告)号：CN101526494A
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：CN200910021771.8
申请日：2009-03-31
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N27/407 , G01K7/18
Abstract: 本发明公开了一种基于Pt反应电极的固体电解质气体传感器及温度补偿方法，所述传感器包括Pt反应电极、固体电解质晶片，该固体电解质晶片一个端面连接带第三引线的参比电极，其特征在于，所述Pt反应电极采用MEMS工艺制备在固体电解质晶片的另一个端面上，该Pt反应电极为带状结构，其两端头分设于固体电解质晶片端面过直径方向相对的边沿，并分别连接第一引线和第二引线；该带状电极沿固体电解质晶片端面的平面呈迂回布局。第一、第二引线之间连接电阻信号转换电路，将温度变化造成的Pt反应电极电阻值变化转换为电信号输入到信号处理电路，通过信号处理电路对初测得到的反映气体体积分数的电动势信号进行补偿，消除温度变化对传感器性能的影响。
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