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公开(公告)号：CN108663541B
公开(公告)日：2021-12-21
申请号：CN201810238636.8
申请日：2018-03-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 田中悟
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明涉及物理量传感器、电子设备、便携式电子设备以及移动体。物理量传感器包括：可动体；支承部，经由连结部支承所述可动体；基板，在俯视观察时配置成与所述可动体重叠，并且，沿与所述连结部的长边方向正交的第一方向，设置有第一固定电极及第二固定电极；第三固定电极，在俯视观察时未与所述可动体重叠，所述第三固定电极与所述第一固定电极及所述第二固定电极中任一方电连接，并设置于所述基板；以及第一虚拟电极，在俯视观察时与所述第三固定电极相邻配置，并与所述可动体为相同电位，所述第一虚拟电极设置于所述基板。
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公开(公告)号：CN108663539B
公开(公告)日：2021-12-21
申请号：CN201810213123.1
申请日：2018-03-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 田中悟
IPC: G01P15/125 , G01D5/24
Abstract: 一种物理量传感器、电子设备、便携式电子设备及移动体。物理量传感器具备：基板；可动体，能够根据物理量绕支承轴位移，设有开口部；以及支承部，设于所述基板上，并位于所述开口部，所述支承部具有：第一固定部和第二固定部，固定于所述基板，俯视下隔着所述支承轴设置；第一梁部和第二梁部，将所述第一固定部和所述第二固定部连接，并相互分开设置；第三梁部，在所述支承轴的方向上延伸，将所述第一梁部和所述可动体连接；以及第四梁部，在所述支承轴的方向上延伸，将所述第二梁部和所述可动体连接。
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公开(公告)号：CN113567708A
公开(公告)日：2021-10-29
申请号：CN202110449448.1
申请日：2021-04-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 田中悟
IPC: G01P15/125
Abstract: 本申请涉及物理量传感器、电子设备以及移动体。物理量传感器具有：可动体，绕摆动轴摆动；以及检测电极，与可动体相对配置。基板具有第一区域至第m区域，检测电极跨第一区域至第n区域而配置。当设定了连接检测电极在第一区域至第n区域各区域上的端部中的两个端部的虚拟直线中与X轴方向所成的角最小的第一虚拟直线以及在可动体绕摆动轴进行了最大位移的状态下沿可动体在基板一侧的主面的第二虚拟直线时，在与第一区域的端部相交且在Z轴方向上延伸的第一法线和与第n区域的端部相交且在Z轴方向上延伸的第二法线之间的区域中，第一虚拟直线与第二虚拟直线不交叉。
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公开(公告)号：CN113358900A
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202110187850.7
申请日：2021-02-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01P15/125 , G01P15/18
Abstract: 本发明涉及惯性传感器、电子设备及移动体。该惯性传感器具备：基板；固定部，设置于基板；第一可动体，与基板相对，并能够以第一支承梁为第一旋转轴进行位移；第一支承梁，连接在第一方向上排列的第一可动体和固定部；第二可动体，能够因第二支承梁的变形而进行位移；第二支承梁，连接在与第一方向交叉的第二方向上排列的第一可动体和第二可动体；以及突起，设置于基板或第二可动体，在从第三方向俯视观察时，该突起与第二可动体重叠，并且朝向第二可动体或基板突出。
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公开(公告)号：CN112147370A
公开(公告)日：2020-12-29
申请号：CN202010579928.5
申请日：2020-06-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 田中悟
IPC: G01P15/18 , G01P15/125
Abstract: 本发明公开了一种惯性传感器、电子设备以及移动体。惯性传感器具有基板、绕摆动轴摆动的可动体以及配置于基板的电极。可动体具有隔着摆动轴设置的第一可动部以及第二可动部，第一可动部具有相对于摆动轴与第二可动部对称的对称部以及位于比对称部距离摆动轴更远的一侧，并且与第二可动部非对称的非对称部。电极具有与对称部重叠的第一检测电极以及与对称部以及非对称部重叠且与可动体为相同电位的第一虚拟电极。并且，对称部与第一虚拟电极的分开距离大于对称部与第一检测电极的分开距离。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112147369A
公开(公告)日：2020-12-29
申请号：CN202010578057.5
申请日：2020-06-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 田中悟
IPC: G01P15/18 , G01P15/125
Abstract: 提供惯性传感器、电子设备及移动体。当将相互正交的三个轴作为X轴、Y轴和Z轴时，惯性传感器具有：基板；可动体，绕沿所述Y轴的摆动轴摆动；以及突起，在从所述Z轴方向的俯视观察时与所述可动体重叠，并从所述基板向所述可动体侧突出设置，其中所述突起具有近端侧突起和位于相比于所述近端侧突起远离所述摆动轴的侧的远端侧突起，当所述可动体绕所述摆动轴相对于所述基板摆动时，所述近端侧突起及所述远端侧突起同时与所述可动体接触或在所述近端侧突起与所述可动体接触后所述远端侧突起与所述可动体接触。
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公开(公告)号：CN111751575A
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN202010220543.X
申请日：2020-03-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明提供惯性传感器、电子设备以及移动体。惯性传感器具有：基板；可动体，相对于所述基板绕所述摆动轴摆动；检测电极，设置于所述基板，在俯视观察下与所述可动体重叠；虚设电极，设置于所述基板，在俯视观察下与所述可动体重叠，与所述可动体同电位；以及突起，设置于所述基板，在俯视观察下与所述第一可动部重叠，在所述可动体侧突出并限制所述可动体的绕所述摆动轴的位移，所述虚设电极位于所述突起与所述检测电极之间并且被设置为包围所述突起的周围的至少一部分，所述突起的与所述可动体的接触部分由绝缘材料构成。
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公开(公告)号：CN106441259B
公开(公告)日：2020-03-24
申请号：CN201610463385.4
申请日：2016-06-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5656
Abstract: 本发明提供具有优异的温度特性的物理量传感器以及具备该物理量传感器的电子设备及移动体。物理量传感器具备：可动电极侧固定部；具有第一固定电极部的第一固定电极侧固定部及具有第二固定电极部的第二固定电极侧固定部；可动质量部，其具有第一可动电极部及第二可动电极部，并且呈包围可动电极侧固定部、第一固定电极侧固定部及第二固定电极侧固定部的形状，其中，所述第一可动电极部具有与第一固定电极部对置的部分，所述第二可动电极部具有与第二固定电极部对置的部分；弹性部，其对可动电极侧固定部与可动质量部进行连接。
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公开(公告)号：CN105372451B
公开(公告)日：2020-01-14
申请号：CN201510494373.3
申请日：2015-08-12
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 田中悟
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明提供一种能够减少静电电容的偏差的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具有：摆动体(4)，其具有支承部(41)以及经由连结部(43、44)而与支承部(41)连接的可动部(42)，可动部(42)具有第一可动部(421)以及第二可动部(422)；第一固定电极(51)，其与第一可动部(421)对置配置；第二固定电极(52)，其与第二可动部(422)对置配置；虚拟电极(53)，其以与第二可动部(422)对置且不与第二固定电极(52)重叠的方式而配置，并且与摆动体(4)成为相同电位，第一固定电极(51)以其一部分在俯视观察时与支承部(41)重叠的方式而配置。
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公开(公告)号：CN105004883B
公开(公告)日：2019-09-20
申请号：CN201510182074.6
申请日：2015-04-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 田中悟
IPC: G01P15/125 , G01P15/18
Abstract: 本发明提供一种能够实现小型化的电子装置。本发明所涉及的功能元件(100)具备：第一功能元件(101)，其具有可向第一轴方向(X轴方向)进行位移的第一可动体，以及第一虚设电极(70a)；第二功能元件(102)，其具有可向与第一轴方向(X轴方向)正交的第二轴方向(Y轴方向)进行位移的第二可动体，以及第二虚设电极(70b)；第一配线，其对第一虚设电极(70a)与第二虚设电极(70b)进行连接。
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