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公开(公告)号:CN102870221A
公开(公告)日:2013-01-09
申请号:CN201180022051.9
申请日:2011-05-16
Applicant: 夏普株式会社
Inventor: 美崎克纪
IPC: H01L29/786 , G02F1/1368 , H01L21/28 , H01L21/3205 , H01L21/336 , H01L21/768 , H01L23/52 , H01L29/417
CPC classification number: H01L27/124 , G02F2001/13629 , G02F2001/136295 , H01L23/53223 , H01L27/1225 , H01L29/45 , H01L29/7869 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 利用将钛层、氮化钼层、铝层和氮化钼层按该顺序叠层而成的叠层体构成源极电极和漏极电极,由干蚀刻形成钛层,氧化物半导体层是在形成源极电极和漏极电极之后在含氧的气氛中进行退火处理而形成。
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公开(公告)号:CN102713737A
公开(公告)日:2012-10-03
申请号:CN201080061443.1
申请日:2010-11-19
Applicant: 夏普株式会社
Inventor: 美崎克纪
IPC: G02F1/1333 , G06F3/041
CPC classification number: G06F3/0412 , G02F1/13338 , G02F2001/133354 , G06F3/041 , G06F3/0418 , H01L23/544 , H01L2223/5442 , H01L2223/54426 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供能够削减工时和部件费的液晶显示装置及该液晶显示装置的制造方法。本发明的液晶显示装置(100)包括液晶显示面板(105)和触摸面板(106),液晶显示面板(105)和触摸面板(106)中的任一个面板被作为液晶显示面板(105)与触摸面板(106)之间的位置对准的基准,另一个面板已与上述一个面板进行了位置对准,该液晶显示装置在另一个面板配置有已与配置在一个面板上的第一对准标记进行了位置对准的第二对准标记,第二对准标记包括透明部件。
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公开(公告)号:CN1288490C
公开(公告)日:2006-12-06
申请号:CN200410003187.7
申请日:2004-02-26
Applicant: 夏普株式会社
IPC: G02F1/1362
CPC classification number: G02F1/136227 , G02F2001/136222
Abstract: 本发明提供一种液晶显示装置用基板和使用它的液晶显示装置。其结构是:将在分别形成在多个像素区域中的像素电极和驱动该像素电极的TFT(2)之间形成的钝化膜(14)设置成SiN膜(14a、14b)、SiO层(14c)的层叠构造,使其最上层为SiO层(14c)。在这样的层叠构造的钝化膜(14)上形成树脂CF层(15)。树脂CF层(15)通过被直接形成在SiO层(14c)上,可抑制结合力的下降,在形成树脂CF层(15)时不容易发生CF的剥离,在对树脂CF层(15)形成接触孔时,不容易产生CF的残渣。由此,实现抑制导通不良,显示特性优异的可靠性高的TFT基板(1)。
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公开(公告)号:CN110326114B
公开(公告)日:2022-04-22
申请号:CN201880014038.0
申请日:2018-02-20
Applicant: 夏普株式会社
Inventor: 美崎克纪
IPC: H01L29/786 , G02F1/13 , G02F1/1343 , G02F1/1368 , H01Q3/34 , H01Q3/44 , H01Q13/22 , H01Q21/06
Abstract: TFT基板(106)具备:发送接收区域(R1),其包含多个天线单位区域(U);以及非发送接收区域(R2),其位于发送接收区域以外的区域。多个天线单位区域各自具有TFT(10)和电连接到TFT的漏极电极(7D)的贴片电极(15)。TFT基板具有:栅极金属层(3),其包含TFT的栅极电极(3G);栅极绝缘层(4);源极金属层(7),其包含TFT的源极电极(7S)和漏极电极;第1绝缘层(11);贴片金属层(15l),其包含贴片电极;第2绝缘层(17);以及上部导电层(19),上部导电层包含与贴片电极和漏极电极电连接的贴片漏极连接部(19a)。
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公开(公告)号:CN109564944B
公开(公告)日:2021-12-28
申请号:CN201780047501.7
申请日:2017-07-11
Applicant: 夏普株式会社
Inventor: 美崎克纪
IPC: H01L29/786 , H01Q3/34 , H01Q3/44 , H01Q13/22 , H01Q21/06
Abstract: TFT基板(107)具备TFT(10)、形成在贴片金属层内的贴片电极(15)、以及形成在栅极金属层内的栅极连接布线(3sg),贴片金属层具有:第一部分,其具有包含高熔点金属的下部金属层(M1)和包含Cu、Al或Ag的上部金属层(M2)的层叠结构;和第二部分,其包含下部金属层且不包含上部金属层,第一部分包含贴片电极(15),第二部分包含将源极总线(SL)与栅极连接布线(3sg)电连接的第一贴片连接部(15sg),第一贴片连接部(15sg)在设置于第一绝缘层的第一开口部(12sg(1))内与源极总线接触,且在设置于栅极绝缘层及第一绝缘层的第二开口部(12sg(2))内与栅极连接布线(3sg)接触。
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公开(公告)号:CN110998965B
公开(公告)日:2021-09-07
申请号:CN201880050784.5
申请日:2018-08-02
Applicant: 夏普株式会社
Inventor: 美崎克纪
Abstract: 一种扫描天线的制造方法,扫描天线中排列有多个天线单位,扫描天线具有:TFT基板,其具有第1电介质基板、TFT、栅极总线、源极总线、以及多个贴片电极;缝隙基板,其具有:第2电介质基板(51)和具有与多个贴片电极对应地配置的多个缝隙(57)的缝隙电极(55);液晶层;以及反射导电板,扫描天线的制造方法包含:工序(a),在第2电介质基板的第1主面上沉积包含铜的第1导电膜(55a’);工序(b),在工序(a)之后,使第1导电膜与大气接触,从而在第1导电膜的表面形成氧化膜(55o’);以及工序(c),在工序(b)之后,在氧化膜上沉积包含铜的第2导电膜(55b’)。
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公开(公告)号:CN109314145B
公开(公告)日:2021-07-13
申请号:CN201780035760.8
申请日:2017-06-05
Applicant: 夏普株式会社
Inventor: 美崎克纪
IPC: H01L29/786 , G02F1/13 , G02F1/1368 , H01Q3/34 , H01Q3/44 , H01Q13/22
Abstract: TFT基板(105)是具有电介质基板(1)、排列在电介质基板上的多个天线单位区域(U)的TFT基板,该TFT基板(105)包含发送接收区域(R1)和位于发送接收区域以外的区域的非发送接收区域(R2),其中发送接收区域(R1)包含多个天线单位区域。多个天线单位区域的每一个具备:TFT(10),其被电介质基板支撑,且包含栅极电极(3)、半导体层(5)、形成于栅极电极与半导体层之间的栅极绝缘层(4)、与半导体层电连接的源极电极(7S)及漏极电极(7D)、以及贴片电极(3PE),所述贴片电极(3PE)与TFT的漏极电极电连接,贴片电极由与栅极电极相同的导电膜形成。
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公开(公告)号:CN109314316B
公开(公告)日:2020-10-23
申请号:CN201780033593.3
申请日:2017-05-26
Applicant: 夏普株式会社
IPC: H01Q3/34 , G02F1/13 , G02F1/1333 , G02F1/1343 , H01Q3/44 , H01Q13/22 , H01Q21/06
Abstract: 一种排列有多个天线单元的扫描天线(1000),其具有TFT基板(101)、缝隙基板(201A)、设置于TFT基板(101)与缝隙基板(201A)之间的液晶层LC。缝隙基板(201A)具有第二电介质基板(51)、支撑于第二电介质基板(51)的第一主面的缝隙电极(55)、和配置于第二电介质基板(51)与缝隙电极(55)之间的第一电介质层(52a)。缝隙电极(55)具有拉伸应力。第一电介质层(52a)具有压缩应力。
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公开(公告)号:CN110709999A
公开(公告)日:2020-01-17
申请号:CN201880036309.2
申请日:2018-05-22
Applicant: 夏普株式会社
Inventor: 美崎克纪
IPC: H01L29/786 , G02F1/13 , H01Q3/34 , H01Q3/44 , H01Q13/22
Abstract: TFT基板(101A)具有电介质基板(1)和在电介质基板(1)上排列的多个天线单位区域(U)。多个天线单位区域(U)各自具有:TFT(10);贴片电极(15),其电连接到TFT的漏极电极(7D);以及贴片漏极连接部,其将漏极电极(7D)和贴片电极(15)电连接,贴片漏极连接部包含导电部,上述导电部包含于导电层,上述导电层是比包含贴片电极(15)的导电层(15l)靠近电介质基板(1)的导电层,并且是包含TFT(10)的栅极电极(3G)的导电层和包含TFT(10)的源极电极(7S)的导电层中的任意的更靠近电介质基板(1)的一方导电层。
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公开(公告)号:CN110268525A
公开(公告)日:2019-09-20
申请号:CN201880011123.1
申请日:2018-02-07
Applicant: 夏普株式会社
Inventor: 美崎克纪
IPC: H01L27/146 , G01T1/20 , H01L27/144 , H04N5/32 , H04N5/369 , H04N5/374
Abstract: 提供能提高生产率的X射线摄像面板及其制造方法。摄像面板(1)在基板(101)具有有源区域和端子区域。端子区域具备:第1导电层(100);端子用第1绝缘膜(103),其包括与有源区域的第1绝缘膜相同的材料,具有第1开口;第2导电层(1701),其包括与有源区域的导电膜相同的材料,在设置有第1开口的位置与第1导电层(100)重叠;以及覆盖层,其在设置有第1开口的位置配置在第1导电层(100)与第2导电层(1701)之间。第1导电层(100)包括与有源区域的薄膜晶体管的栅极电极或源极电极、以及下部电极中的任意1个元件相同的材料。覆盖层包括与有源区域的源极电极、下部电极以及偏置配线中的、相比于包括与第1导电层(100)相同的材料的元件配置在上层的至少1个元件相同的材料。
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