一种夹具
    71.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110587470B

    公开(公告)日:2023-07-04

    申请号:CN201910875965.8

    申请日:2019-09-17

    Abstract: 本发明公开了一种夹具,包括本体,可拆卸设置在研磨设备的磨盘上,所述磨盘为圆环形,所述本体包括至少3个夹持槽,所述夹持槽呈中心对称分布,所述中心位于所述本体的几何重心,与所述夹持槽均外接的最大外接圆直径D满足所述b为所述磨盘的环宽,所述k为0.85‑0.9。该夹具解决了小尺寸复合片的抛光质量和抛光效率之间的矛盾,并充分考虑设备运行稳定性、装夹稳定性和安全性,使抛光成本大大降低,抛光效率大大提高。

    一种工装及其应用
    75.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115125521A

    公开(公告)日:2022-09-30

    申请号:CN202210796009.2

    申请日:2022-07-07

    Abstract: 本发明涉及一种工装及其应用,所述工装包括基座、支撑件以及多个串挂件。所述基座呈围合状设置,而具有中空部。所述支撑件安装于所述基座,并横跨所述中空部。所述多个串挂件互相间隔地安装于所述基座和所述支撑件。其中,每一所述串挂件可拆卸设置,而用于穿过工件的通孔以串挂所述工件。由于只有串挂件与工件的通孔的孔壁接触,所述工装不会接触到工件的工作表面,而避免了传统摆盘方式中工装会接触到工件的工作表面的情况,保证了工件上形成的CVD涂层的均匀性,提升了涂层工件的使用性能。

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