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公开(公告)号：CN105403170A
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201510922156.X
申请日：2015-12-11
Applicant: 华侨大学 , 麦克奥迪实业集团有限公司
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明涉及一种显微3D形貌测量方法，步骤如下：1)分别在焦前与焦后拍摄载物台上的待测物体的图像If＝If(i，j)、Ib＝Ib(i，j)，0≤i＜I，0≤j＜J；其中，I是图像总行数，J是图像总列数；2)根据如下公式计算得到待测物体在每一个位置(i，j)的待测图像I(i，j)，公式为：3)将待测图像I(i，j)与预先刻度的I(h)曲线对比，确定待测物体在每一个位置(i，j)表面形貌相对高度h(i，j)，0≤i＜I，0≤j＜J。本发明所述的方法实现的纵向形貌测量效率高，仅仅获取两幅图像就能够以非接触的方式实现多点测量待测物的表面高度，不需要采用传统方法进行层层扫描来获取多幅图像。虽然获得刻度曲线时候需要多个图像，但是一台仪器只需要刻度一次，即可一直用于后续使用，使用不同的标本也不需要重新刻度。
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公开(公告)号：CN105091785A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201510500177.2
申请日：2015-08-14
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种用于砂轮表面形貌的检测方法与系统，系统包括沿光源发出光线的光路上依次设置准直透镜、反射镜、分光镜和微透镜阵列；待测砂轮对应于微透镜阵列的出射侧设置，并在垂直于光轴的方向的一固定轴上做一维横向移动，以及绕着此固定轴做旋转运动。本发明将微透镜阵列作为并行光色散器件，所产生的色散光点阵列可同时对待测砂轮表面上的多点进行垂直于光轴方向的横向扫描，结合待测砂轮绕固定轴的旋转运动，在无需沿光轴方向做纵向扫描的前提下获得整个待测砂轮表面的三维几何量信息。从而可很好地表征待测砂轮表面的三维信息，并极大地提高了针对砂轮表面形貌的测量效率。
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公开(公告)号：CN105067634A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201510500219.2
申请日：2015-08-14
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种用于平板表面质量的检测系统，其系统包括沿光源发出光束的光路上依次设置准直透镜、数字微镜器件、分光镜和色散透镜；待测平板对应于色散透镜的出射侧设置，且待测平板在垂直于光轴的方向上做横向往复移动。本发明将数字微镜器件作为线型光源，结合色散透镜产生线型色散光，可对平板表面进行横向线扫描，在无需沿光轴方向做纵向扫描的前提下利用垂直于光轴方向上的一维运动获取被测平板表面的三维信息，以及其表面的瑕疵、划痕等质量信息，极大地提高了针对平板表面质量问题的检测效率。
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公开(公告)号：CN222866568U
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202421247849.4
申请日：2024-06-03
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本实用新型公开了一种微型光学透镜表面缺陷检测装置，用于采集检测样本的图像，包括相机和光学显微装置，光学显微装置设置有中间体光路、物镜和载物台，相机、中间体光路和物镜沿同一光轴由上至下依次设置，还包括穹顶光源，穹顶光源的遮光罩设于载物台上以使光从不同角度照射在检测样本上，遮光罩设置有进光孔，物镜端部伸入进光孔以接收经检测样本反射的光线，并经中间体光路整合成平行光返回到相机，相机得到检测样本的图像。本实用新型替代了人工目视法检测微型光学透镜表面缺陷，其检测结果的客观性更强，还兼顾高精度和高效率，能够适用于微型光学透镜高品质工业化生产的需求。
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公开(公告)号：CN218272928U
公开(公告)日：2023-01-10
申请号：CN202222906033.5
申请日：2022-11-02
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本实用新型实施例公开了双目窄带多波段共焦成像系统，涉及共焦成像技术领域。照明单元产生复色光；准直透镜将复色光准直为复色光束；数字微镜器件将复色光束形成点光阵列；色散管镜将第一反射点光阵列进行色散得到单色点光阵列；第一分光透镜对点光阵列进行透射和反射；第一分光透镜还对入射的成像光进行透射和反射；第二分光透镜对第二透射点光阵列进行透射和反射；第一滤光转盘和第二滤光转盘分别承载多个滤光片，并能够切换任一滤光片至第三透射点光阵列的光路上；第一聚焦透镜和第二聚焦透镜进行聚焦；第一成像单元和第二成像单元形成成像结果。本实用新型实现了在成像过程中更换滤光片，提高成像效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN204945056U
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201520613937.6
申请日：2015-08-14
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本实用新型公开了一种用于平板表面质量的检测系统，其包括沿光源发出光束的光路上依次设置准直透镜、数字微镜器件、分光镜和色散透镜；待测平板对应于色散透镜的出射侧设置，且待测平板在垂直于光轴的方向上做横向往复移动。本实用新型将数字微镜器件作为线型光源，结合色散透镜产生线型色散光，可对平板表面进行横向线扫描，在无需沿光轴方向做纵向扫描的前提下利用垂直于光轴方向上的一维运动获取被测平板表面的三维信息，以及其表面的瑕疵、划痕等质量信息，极大地提高了针对平板表面质量问题的检测效率。
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公开(公告)号：CN204944455U
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201520613878.2
申请日：2015-08-14
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/25
Abstract: 本实用新型公开了一种用于砂轮表面形貌的检测系统，其包括沿光源发出光束的光路上依次设置的准直透镜、数字微镜器件、分光镜和色散透镜；待测砂轮对应于色散透镜的出射侧设置，并在垂直于光轴的方向的一固定轴上做一维横向移动，以及绕着此固定轴做旋转运动。本实用新型将数字微镜器件作为线型光源，结合色散透镜产生线型色散光，可同时对待测砂轮表面上的多点进行垂直于光轴方向的横向扫描，结合待测砂轮绕固定轴的旋转运动，在无需沿光轴方向做纵向扫描的前提下获得整个待测砂轮表面的三维几何量信息。从而可很好地表征待测砂轮表面的三维信息，并极大地提高了针对砂轮表面形貌的测量效率。
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公开(公告)号：CN219737296U
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202321231818.5
申请日：2023-05-22
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本实用新型公开了一种基于三相机的共聚焦显微测量机构及测量装置，其涉及光学计量仪器技术领域，包括相机盒子、第一相机、第二相机和第三相机，通过在相机盒子内部设置二向色镜Ⅰ、二向色镜Ⅱ、全反射镜Ⅰ和全反射镜Ⅱ将透过物镜的光束按照波长进行分离，并使分离后的光束分别射向第一相机、第二相机和第三相机，同时限定不同波长的光束自二向色镜Ⅰ到第一相机、第二相机和第三相机的光程相等，进而实现利用三个相机同时接收三个不同波段的光成的像，有效提高了测量效率；此外，显微测量结构通过移动组件设置于支撑架上，在移动组件的作用下，显微测量机构的高度上下可调且行程长，有效降低了显微测量装置对待检测样品的高度要求。
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公开(公告)号：CN218034919U
公开(公告)日：2022-12-13
申请号：CN202221828165.4
申请日：2022-07-15
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本实用新型公开了一种用于零件表面三维形貌还原及缺陷检测的装置，包括光源、均匀光透镜组、DMD投影单元、准直光透镜组、全反射棱镜、压电位移台、物镜、XYZ载物台、远心镜头、探测器以及计算机，工业零件放置于XYZ载物台之上，光源发出的光线经过均匀光透镜组后入射到DMD投影单元上并被调制，然后依次经过准直光透镜组、全反射棱镜和物镜，从而将正弦光栅条纹投影到工业零件表面，并由DMD投影单元产生同步信号触发探测器获取被工业零件调制后的变形光栅图像，将采集得到的图像传输至计算机中进行处理从而完成工业零件三维形貌重建。
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公开(公告)号：CN204944452U
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201520614001.5
申请日：2015-08-14
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本实用新型公开了一种用于砂轮表面形貌的检测系统，包括沿光源发出光线的光路上依次设置准直透镜、反射镜、分光镜和微透镜阵列；待测砂轮对应于微透镜阵列的出射侧设置，并在垂直于光轴的方向的一固定轴上做一维横向移动，以及绕着此固定轴做旋转运动。本实用新型将微透镜阵列作为并行光色散器件，所产生的色散光点阵列可同时对待测砂轮表面上的多点进行垂直于光轴方向的横向扫描，结合待测砂轮绕固定轴的旋转运动，在无需沿光轴方向做纵向扫描的前提下获得整个待测砂轮表面的三维几何量信息。从而可很好地表征待测砂轮表面的三维信息，并极大地提高了针对砂轮表面形貌的测量效率。
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