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公开(公告)号：CN116214363A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202310443348.7
申请日：2023-04-23
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明涉及一种用于圆柱形气囊抛光头的多自由度自动换刀装置，换刀夹具安装在三自由度导轨机构上，换刀夹具前端安装位置识别传感器，换刀夹具包含换刀夹具头、轴承套、联轴器、伺服电机，换刀夹具头通过轴承套连接在夹具支撑板上，夹具支撑板通过肋板固定在夹具固定台上，夹具固定台安装在三自由度导轨机构上，换刀夹具头通过联轴器连接伺服电机，由伺服电机控制换刀夹具头的旋转，三自由度导轨机构包含X、Y、Z三个方向的丝杠滑轨机构，并且丝杠末端通过联轴器连接驱动伺服电机。该多自由度自动换刀装置可以通过位置识别传感器精确识别抛光工具的三维坐标，通过控制三自由度导轨机构运动实现抛光机构在位自动更换抛光头。
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公开(公告)号：CN112775767B
公开(公告)日：2022-09-23
申请号：CN202110126284.9
申请日：2021-01-29
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明涉及一种超声振动辅助磁性复合流体抛光装置，包括电主轴和抛光头，所述抛光头由压电陶瓷环、永磁铁和抛光轮组成，所述抛光轮由功能层和连接层组成，所述功能层和连接层之间焊接固定，所述抛光轮通过连接层与电主轴固定连接；所述永磁铁外包裹绝缘涂层，并烧结在压电陶瓷环内部，使磁性复合流体在永磁铁磁场的作用下吸附在压电陶瓷环外表面用于抛光光栅原件，所述压电陶瓷环通过树脂硅胶与抛光轮固定连接；所述电主轴内部设有电刷，产生的交流电流通过功能层内设置的电路线通道与压电陶瓷环连接形成回路，从而产生超声振动。本发明结构简单，提升磁性复合流体对各类工件表面的材料去除率和抛光质量。
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公开(公告)号：CN110091441B
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN201910355121.0
申请日：2019-04-29
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明涉及一种升降式半导体晶圆解理装置，具有三层结构，上层为三轴划片台，用于晶圆的划刻；中层为晶圆传送机构和晶圆裂片机构，用于晶圆的传送和解理断裂，下层为巴条收纳盒，用于巴条的收集，上层与中层之间采用三个支撑板连接，下层与中层之间采用三个支撑板和巴条收纳盒共同连接；下层与上层之间设有液压升降柱；晶圆的划刻由三轴划片台完成后，通过液压升降柱下降至晶圆传送机构的位置，晶圆传送机构对划刻好的晶圆进行夹紧，并由晶圆传送机构将划刻之后的晶圆传送至晶圆裂片机构进行解理断裂，解理断裂之后的晶圆自动掉入巴条收纳盒中。本发明结构简单、易于操作，自动化程度高，实现了半导体晶圆解理的自动化加工。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110227985B
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：CN201910446251.5
申请日：2019-05-27
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明涉及一种针式磁性复合流体抛光头磁芯结构的设计方法，首先基于针式磁性复合流体抛光头结构，设放置的永磁铁个数为T，选择不同的比值μ，μ为永磁铁的半径与中心间距的比值，求取在不同比值μ磁场范围内选定的各点在磁场中的磁场强度，再次利用标准差公式计算相应的标准偏差σH，从而求得不同μ值下的磁场均匀程度，根据磁场均匀程度，最后求得比值μ的最优解；完善针式磁性复合流体抛光头结构。进一步优化针式磁性复合流体抛光头磁芯结构设计尺寸，从而获得抛光过程中对材料表面均匀去除的效果。
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公开(公告)号：CN109759924B
公开(公告)日：2020-06-23
申请号：CN201910046765.1
申请日：2019-01-14
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明涉及一种双龙门单横梁移动式组合加工机床，双龙门结构中间的床身底座上设有水平方向的Z1轴伺服移动机构；每个龙门立柱中设有竖直方向的Y轴伺服移动机构，两个Y轴伺服移动机构上面连接一个X轴伺服移动机构，中间单横梁置于两个X轴伺服移动机构的工作架上，中间单横梁下面设有Z2轴伺服移动机构；两个X轴移动工作架上分别装有气囊抛光工艺系统和射流抛光工艺系统，Z2轴移动工作架上装有小磨头光顺工艺系统；通过伺服电机与滚珠丝杠副使导轨、中间横梁与X轴移动工作架始终保持同步运动，使三种抛光加工工具可以到达加工范围内任意的指定位置，提高了加工效率，克服了传统光学玻璃加工过程中不同工艺间多次定位产生误差的弊端。
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公开(公告)号：CN109227379B
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201811318075.9
申请日：2018-11-07
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明涉及一种磁性复合流体抛光对刀夹紧装置，包括箱体、导轨座、支撑架、轴承座、轴承、挡片、齿轮轴圆盘、滑块夹紧机构、柔性拉紧机构，所述箱体底部内设置有四个导轨座其中一个为带有挡板导轨座，四个导轨座分别对应四个支撑架，支撑架采用交叉连接与顶部四个导轨座相连且交叉部分采用轴相连，顶部四个导轨座与轴承座相连，轴承座通过轴承与齿轮轴圆盘连接，轴承座上设有可阻止齿轮轴圆盘的转动的挡片，齿轮轴圆盘通过T型槽与滑块夹紧机构相连接，滑块夹紧机构上设有柔性拉紧机构。本发明结构简单、易于操作，利用手动操作更加迅速便捷，实现了磁性复合流体抛光的快速对刀夹紧的手动操作。
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公开(公告)号：CN108311958B
公开(公告)日：2020-03-20
申请号：CN201810089493.9
申请日：2018-01-30
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明涉及一种集群轮式磁性复合流体抛光装置，抛光滚轮的内层滚轴的外侧依次粘贴磁铁环和树脂玻璃环，滚轮罩内部设有内腔和磁性复合流体喷射口，内腔两端分别与导管和磁性复合流体喷射口连接，导管的另一端与连接臂中的磁性复合流体通道连接，连接臂两侧设有与磁性复合流体通道连接的磁性复合流体注射口，滚轮罩与连接臂之间连接有减震弹簧；滚轮罩侧面装有微型步进电机，微型步进电机与抛光滚轮的内层滚轴连接。当抛光滚轮在抛光曲面时，不同抛光滚轮对应的减震弹簧按照抛光曲面的轮廓收缩，实现抛光滚轮在减震弹簧的作用下平稳的沿着曲面的轮廓抛光。本发明结构简单，不但能够对曲面和平面实现抛光，同时还增加了抛光面积、提高了抛光效率。
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公开(公告)号：CN110599474A
公开(公告)日：2019-12-20
申请号：CN201910857474.0
申请日：2019-09-11
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明涉及一种大口径抛光工件激光损伤阈值的非破坏性评价方法，通过表面疵病检测装置对工件表面划痕及微裂纹等机械缺陷进行采样，利用计算机对采样图片进行图像预处理、缺陷识别与位置标记，依托超景深显微镜完成对机械缺陷的准确识别与提取，实现大口径工件的全局性评价，结合有限时域差分方法及激光损伤阈值评价公式，获得大口径抛光工件表面的激光损伤阈值，原理可靠、实现过程简单，并有效减少传统激光损伤测试过程中对工件的消耗。本发明方法适用于高能量/高功率激光聚变装置中使用的各类大口径抛光工件。
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