陀螺传感器及使用了该陀螺传感器的电子设备

    公开(公告)号:CN103363980A

    公开(公告)日:2013-10-23

    申请号:CN201310116379.8

    申请日:2013-04-03

    Inventor: 古畑诚 田中悟

    CPC classification number: G01C19/5719 G01C19/5747

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够防止因碰撞而造成的损坏的陀螺传感器及使用了该陀螺传感器的电子设备。陀螺传感器具备:驱动质量块,其通过驱动部而在x轴方向上被驱动;检测质量块,其与驱动质量块相连结;驱动用连结部,其一端被连结在驱动质量块上而另一端被固定在固定部上;岛部,其与固定部相连接,且与驱动质量块隔着间隙而配置,并与该驱动质量块电连接;突起,其被设置在驱动质量块的对置于岛部的面与岛部的对置于驱动质量块的面中的至少一个面上,驱动部包括:可动电极部,其与驱动质量块相连接;固定电极部,其以与可动电极部对置的方式而设置,驱动质量块与岛部之间的最短距离大于驱动质量块的驱动振幅且小于可动电极部的最大振幅。

    弯曲振动片
    62.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101877575B

    公开(公告)日:2013-05-08

    申请号:CN201010170631.X

    申请日:2010-04-30

    Inventor: 山崎隆 古畑诚

    CPC classification number: H03H9/215 H03H9/19

    Abstract: 一种弯曲振动片,能够消除弯曲振动片的振动泄漏,提高Q值,改善CI值,促进小型化以及薄型化。在弯曲振动片中,从基部延伸的振动臂具有在彼此相对的第1以及第2主面上沿着振动臂的长度方向形成的第1以及第2槽部。第1槽部由沿着振动臂的长度方向分割而成的、相对于振动臂长度方向的中心线交替错开地配置在中心线两侧的多个第1槽部分构成,第2槽部由沿着振动臂的长度方向分割而成的、相对于中心线交替错开地配置在中心线两侧且相对于中心线配置在各第1槽部分的相反侧的多个第2槽部分构成。当对第1以及第2槽部的第1激励电极和振动臂两侧面的第2激励电极施加交流电压时,振动臂在第1或第2主面的面内方向上弯曲振动。

    表面声波器件和表面声波器件的制造方法

    公开(公告)号:CN1794573A

    公开(公告)日:2006-06-28

    申请号:CN200510135036.1

    申请日:2005-12-21

    Abstract: 表面声波器件和表面声波器件的制造方法。本发明的课题是提供一种表面声波器件和表面声波器件的制造方法,在半导体基板上具有IC区域和表面声波元件区域并构成为一个芯片,能够确保形成表面声波元件的部分的平坦度,获得良好的特性。表面声波器件(1)在半导体基板上具有IC区域和表面声波元件区域并构成为一个芯片,在表面声波元件区域的半导体基板(30)上及元件绝缘膜(32)上而且形成有表面声波元件(24)的区域的下方,形成与IDT电极(22)的电极指(21)大致平行而且是相同间距P的线状的层厚度调整膜(32、35)。

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