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公开(公告)号：CN102366895A
公开(公告)日：2012-03-07
申请号：CN201110307644.1
申请日：2011-10-12
Applicant: 清华大学 , 南通科技投资集团股份有限公司
IPC: B23Q1/25
Abstract: 本发明涉及一种卧式加工中心的立滑板及立滑板结构优化方法，其特征在于：立滑板包括一体设置的两条竖向梁和两条横向梁，两条竖向梁上分别设置有一竖向导轨，每条竖向导轨上分别间隔设置有两个竖向滑块，四个竖向滑块连接主轴箱；立滑板的两条竖向梁呈梯形，且两条竖向梁的内部中空。1)设定立滑板需要满足的刚度值，求出对应的挠度ωs和转角θs；2)将挠度ωs和转角θs作为约束值，在Hv，Hp，k的取值范围中，遍历所有的尺寸组合，找出所有满足刚度条件的优化尺寸值和对应的立滑板质量；3)选取、输出立滑板的最小质量和对应的结构尺寸，立滑板的结构优化结束。本发明能够在满足刚度的基础上，减轻立滑板的质量，因此，可广泛用于卧式加工中心的设计过程中。
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公开(公告)号：CN102133733A
公开(公告)日：2011-07-27
申请号：CN201110002128.8
申请日：2011-01-06
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种用于CMP多腔室的气压控制系统，属于半导体制造技术领域，其特征在于包括压力源、控制阀组、压力传感器、CPU、数模以及模数转换电路，该控制系统通过对各支路的压力与流量控制实现对远端各腔室的压力控制。控制阀组的每条支路由正压与负压两个通道和一个双向过滤器组成。其中正压通道由与压力源依次相连的减压阀、电控比例阀、正负压开关阀组构成。负压通道由与压力源依次相连的正压减压阀、真空开关阀、真空发生器和正负压开关阀组构成。正负压开关阀组的输出与双向过滤器相连，双向过滤器的输出连接远端腔室。压力传感器将采集到的各腔室压力经A/D转换电路送至CPU。
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公开(公告)号：CN102133732A
公开(公告)日：2011-07-27
申请号：CN201110002126.9
申请日：2011-01-06
Applicant: 清华大学
IPC: B24B37/00
Abstract: 一种用于化学机械抛光头的气路正压通路系统，属于半导体制造设备中的气路正压系统技术领域。其特征在于所述的气路正压通路系统包括共用的压力源、正压减压阀、气囊、电控比例阀、开关阀以及过滤器。该气路压力系统通过对支路i的压力与流量控制实现对远端腔室i的压力控制，其中i＝1，2，...，N。各腔室的气路正压通路系统由与压力源依次相连的减压阀、气囊、电控比例阀、开关阀以及过滤器组成。
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公开(公告)号：CN102133730A
公开(公告)日：2011-07-27
申请号：CN201110002118.4
申请日：2011-01-06
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种用于CMP抛光头多区的气压控制系统，属于半导体制造技术领域，其特征在于包括压力源、控制阀组、压力传感器、CPU、数模以及模数转换电路等。该控制系统通过对各支路的压力与流量控制实现对远端各腔室的压力控制。控制阀组的每条支路由正压与负压两个通道和一个双向过滤器组成。其中正压通道由与压力源依次相连的减压阀、电控比例阀、正负压开关阀组构成。负压通道由与压力源依次相连的真空开关阀、真空发生器、气囊、真空调压阀和正负压开关阀组构成。正负压开关阀组输出连接双向过滤器。L1～Ln-1(n大于1)支路共用同一路负压通道，Ln单独使用一路负压通道。压力传感器将采集到的各腔室压力经A/D转换电路送至CPU。
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公开(公告)号：CN101618517A
公开(公告)日：2010-01-06
申请号：CN200910182140.4
申请日：2009-07-14
Applicant: 南通科技投资集团股份有限公司 , 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种多驱动单元组成的进给系统，包括工作台，工作台通过导轨与基体相联，双驱动单元分别设置在工作台上部两侧，在工作台下部设置另外的驱动单元。本发明所述进给系统结构实现工作台重心位置在垂直于驱动力方向平面内任意变化时，驱动力及外力形成的相对重心的力矩均得到补偿，最大程度抑制进给系统机械振动；可提高进给系统加速度；可提高工件加工的表面质量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101607372A
公开(公告)日：2009-12-23
申请号：CN200910182139.1
申请日：2009-07-14
Applicant: 南通科技投资集团股份有限公司 , 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种可抵消重力影响的双直线永磁同步电机水平进给平台，包括运动输入的直线驱动模块和运动输出的工作台运动模块；所述的直线驱动模块是两个倾斜平板式永磁直线同步电机驱动的直线进给模块，其直线运动轴与工作台运动模块的直线运动轴平行。本发明结构合理，实现了两个永磁直线同步电机法向磁吸力水平方向的分力抵消为零，垂直方向的分力抵消了工作台的部分重力，减小了滑块和直线导轨之间的摩擦力，使数控机床的动态性能更好。
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公开(公告)号：CN100483462C
公开(公告)日：2009-04-29
申请号：CN02146278.X
申请日：2002-10-18
Applicant: 清华大学
Abstract: 融合多视角、多线索二维信息的人脸三维模型的建立方法属于计算机人脸图像重建技术领域，其特征在于：首先用标定好的上下两台立体摄像机拍摄建模对象的人脸，得到人脸在无表情变化时从正面逐步转到侧面的视频序列；再用全自动的姿态估计算法得到序列中各时刻的精确的姿态参数；接着在模型和姿态二者的初始化之后，根据两类二维线索分别抽取三维信息：一类是基于图象间对应点进行立体重建，另一类是模型投影轮廓与图象轮廓的匹配、修正；最后，根据融合在多视角中提取出的、对应于不同二维线索的三维信息建立人脸模型。它得到的人脸模型有更细致、更精确的形状，并能做MPEG4(运动图像压缩编码组织标准4)兼容的人脸动画。
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公开(公告)号：CN100419214C
公开(公告)日：2008-09-17
申请号：CN200610064694.0
申请日：2006-12-29
Applicant: 清华大学深圳研究生院
Abstract: 一种单活塞式单组元液压自由活塞发动机，包括单组元燃料罐、燃料控制电磁阀、催化床、单活塞液压自由活塞发动机和电控单元。它以高浓度过氧化氢或高浓度过氧化氢和柴油的混合物为燃料，通过催化分解将上述单组元燃料分解为高温高压混合气以作为驱动单活塞式液压自由活塞发动机工作的动力，从而实现单组元燃料的化学能与液压能直接转换。本发明具有工作可靠、体积小、重量轻、能量密度高、功率密度大、运动件少及使用范围宽等特点。从毫瓦到数千瓦的输出功率都可以通过缩放发动机本体的几何尺寸或改变发动机的工作频率来达到，是一种适用于能量自治行走机械及无氧或缺氧环境中液压能量供应的动力装置。
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公开(公告)号：CN101188530A
公开(公告)日：2008-05-28
申请号：CN200710303868.9
申请日：2007-12-26
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种IPv4和IPv6网络故障检测及定位的方法和装置，属于计算机网络管理技术领域。所述方法包括：路由监测系统接收标识网络状态的链路状态广播，通过分析链路状态广播的类型及其信息变化产生网络事件，并将网络事件插入网络事件数据表；路由监测系统根据网络事件的属性，并对其和已有网络事件进行关联分析生成故障信息；路由监测系统将故障信息插入网络故障数据表，并向网管上报故障信息。所述装置包括：接收模块、分析产生模块、生成模块和上报模块。本发明通过路由监测系统收集标识网络状态的链路状态广播，并对链路状态广播进行存储和分析，从而实现了及时地检测并定位网络中出现的故障。
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公开(公告)号：CN100389917C
公开(公告)日：2008-05-28
申请号：CN200610088865.3
申请日：2006-07-21
Applicant: 清华大学 , 天水星火机床有限责任公司
IPC: B23B5/46
Abstract: 本发明公开了属于精密加工技术领域的一种阿基米德螺线式菲涅耳透镜的金刚石车削加工方法及装置。X轴滑枕沿固定在机床身上的导轨运动，实现X轴运动，Z轴滑枕沿固定在X轴滑枕上的导轨运动，实现Z轴运动，圆弧直接驱动电机安装在Z轴滑枕上，实现B轴运动，精密直线电机固定在圆弧直接驱动电机的动子上；金刚石刀具安装在精密直线电机上沿精密直线电机输出的W轴运动，金刚石刀具在加工过程中的运动路线是由上述X轴运动、B轴运动和W轴运动合成，工件在工作台上作C轴旋转运动，则形成金刚石刀具在工件的表面作阿基米德螺线运动，将原有断续切削变为连续切削方式，解决刀具易破损、加工周期长的问题。提高菲涅耳透镜的加工精度。
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