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公开(公告)号:CN111862237A
公开(公告)日:2020-10-30
申请号:CN202010713454.9
申请日:2020-07-22
Applicant: 复旦大学
Inventor: 张祥朝
Abstract: 本发明涉及精密工程技术领域,尤其涉及视觉测量及偏折术中的相机标定方法。一种用于光学面形测量的相机标定方法,所述相机设于导轨上,含圆斑特征的标定板可沿导轨移动,所述方法包括如下步骤:在对焦位置及若干前后对称处,分别拍摄对应位置图像;用对焦位置处图像上特征点的光瞳坐标为基点,通过三角网格法进行线性插值表示其他图像特征点的光瞳坐标;通过仿射变换及畸变项构建像素点与实际物体坐标之间对应方程,通过奇异值分解求出物像变换矩阵参数;通过极大似然估计法减少重投影误差获得最优解,从而获得光线方向。与目前相机标定技术相比,本发明具有精度高、适用性广、操作方便等优势。
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公开(公告)号:CN110261066B
公开(公告)日:2020-09-25
申请号:CN201910215732.5
申请日:2019-03-21
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于精密工程技术领域,具体为一种基于剪切干涉的近场显微探测光束定心方法。方法步骤如下:在原子力显微系统中,从样品下方将激光束聚焦在探针针尖上,入射光束和样品夹角40°~50°;从斜上方安装凸透镜,将散射的发散光束变为近似平行光;然后放置剪切分光板,形成剪切干涉光路,剪切光束和分光板夹角60°~70°;在反射光束上放置探测屏,通过干涉条纹判断探测光束在探针针尖的定心情况。本发明的优点在于,有效利用了激光干涉的高灵敏度,通过剪切干涉的整体条纹图像判断定心偏差;且干涉光束不穿过被测样品,不受样品表面起伏和材料特性的干扰,可以实现探测激光束的准确聚焦,对于提高近场显微测量的效率与精度有重要意义。
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公开(公告)号:CN110261066A
公开(公告)日:2019-09-20
申请号:CN201910215732.5
申请日:2019-03-21
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于精密工程技术领域,具体为一种基于剪切干涉的近场显微探测光束定心方法。方法步骤如下:在原子力显微系统中,从样品下方将激光束聚焦在探针针尖上,入射光束和样品夹角40°~50°;从斜上方安装凸透镜,将散射的发散光束变为近似平行光;然后放置剪切分光板,形成剪切干涉光路,剪切光束和分光板夹角60°~70°;在反射光束上放置探测屏,通过干涉条纹判断探测光束在探针针尖的定心情况。本发明的优点在于,有效利用了激光干涉的高灵敏度,通过剪切干涉的整体条纹图像判断定心偏差;且干涉光束不穿过被测样品,不受样品表面起伏和材料特性的干扰,可以实现探测激光束的准确聚焦,对于提高近场显微测量的效率与精度有重要意义。
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公开(公告)号:CN105937887B
公开(公告)日:2019-05-03
申请号:CN201610252473.X
申请日:2016-04-21
Applicant: 复旦大学
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明属于图像处理和精密测量技术领域,具体为一种基于三值化三色交叉网格条纹的三维面形测量方法。本发明用液晶屏幕生成一幅三值化三色交叉网格条纹图样,此图样由红绿蓝三幅单色网格条纹图像叠加而成,每两幅单色条纹在横向和纵向存在固定的相移量,总相移量为一个条纹宽度,用摄像装置记录下被测镜面反射后的图样变化,并将各像素的三色灰度值进行三色化校正;利用相位计算公式和时间相位展开方法得到绝对相位,根据相位和系统标定参数确定被测物体表面的三维形状。本发明通过增加条纹信号的维度,仅需一张图像就可重构被测面形,便于动态测量,提高了相位偏折测量技术的抗干扰能力和测量速度,克服了传统正弦条纹对环境干扰光极为敏感、易受干扰等缺点。本方法可广泛应用于光电装备、航空航天等领域。
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