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公开(公告)号：CN1319892C
公开(公告)日：2007-06-06
申请号：CN200510010592.6
申请日：2005-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C03C27/00
Abstract: 本发明提供的是一种MEMS高温压力传感器自动键合机，它包括台面，在台面上设置物流台、操作手、加热炉和显微镜，操作手安装在由4个轴控制的4自由度操作手工作台上，加热炉安装在由2个轴控制的2自由度定位工作台上，显微镜安装在包括可上下运动的轴的显微镜自动调焦工作台上。本发明基于显微视觉的高精度、非接触式测量，实现了不论是正面还是反面MEMS高温压力传感器的高精度对准作业；融合视觉/微力觉信息，实现芯片和玻璃基的高精度、无损抓取和搬运；设备的高自动化程度使得其具有批量制造能力，提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN1297373C
公开(公告)日：2007-01-31
申请号：CN200410013628.1
申请日：2004-03-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B25J9/08
Abstract: 本发明公开一种并联式高精度位置调整机器人——六自由度大行程、高精度柔性并联机器人。它由上平台(1)、六组相同的支链(3)、六组相同的驱动装置(4)和基座(6)组成，支链(3)均匀布置在上平台(1)和基座(6)之间，驱动装置(4)设置在基座(6)上，支链(3)由刚性杆(7)和大行程柔性铰链(5)组成，(3)上端的(5)连接在上平台(1)上，(3)下端的(5)连接在驱动装置(4)上，(5)由铰支杆(5-1)和位于铰支杆(5-1)两端部的紧固件(5-2)组成。本发明在工作时，驱动装置(4)通过在支链(3)的下端驱动支链(3)转动从而完成上平台(1)位置和姿态的调整，运动位移完全由柔性铰链变形得到，工作中由于有预紧力，消除了驱动端的间隙。使得系统可在厘米级的运动范围内得到亚微米级的分辨率和运动精度。
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公开(公告)号：CN1792937A
公开(公告)日：2006-06-28
申请号：CN200510010592.6
申请日：2005-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C03C27/00
Abstract: 本发明提供的是一种MEMS高温压力传感器自动键合机，它包括台面，在台面上设置物流台、操作手、加热炉和显微镜，操作手安装在由4个轴控制的4自由度操作手工作台上，加热炉安装在由2个轴控制的2自由度定位工作台上，显微镜安装包括可上下运动的轴的显微镜自动调焦工作台上。本发明基于显微视觉的高精度、非接触式测量，实现了不论是正面还是反面MEMS高温压力传感器的高精度对准作业；融合视觉/微力觉信息，实现芯片和玻璃基的高精度、无损抓取和搬运；设备的高自动化程度使得其具有批量制造能力，提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN1770615A
公开(公告)日：2006-05-10
申请号：CN200510010339.0
申请日：2005-09-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供的是一种基于电荷控制的压电陶瓷驱动电源。它包括压电陶瓷和连接与压电陶瓷两端的高压运算放大器，在压电陶瓷上串接有反馈电容。对电荷反馈压电陶瓷电源进行了性能测试，当加在压电陶瓷上电压70V左右，定位6秒位移变化情况，在该电源的驱动下，0－7.4um位移变化量，压电陶瓷50ms达到稳定；压电陶瓷输出位移纹波在－0.05－+0.05um波动，几乎没有蠕变现象。
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公开(公告)号：CN1731081A
公开(公告)日：2006-02-08
申请号：CN200510010286.2
申请日：2005-08-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 宏/微双重驱动的大行程高速纳米级精度的平面定位系统，它涉及一种平面定位系统。本发明的目的是为解决现有高速高精度定位系统在行程、速度/加速度和精度各有不足，而又各自独立的问题。本发明的X轴微动平台19与X轴宏动平台16之间设有X轴柔性铰链17，X轴压电陶瓷18设置在X轴微动平台19内，内导向板28和外导向板30之间固定有缓冲铰链29，Y轴压电陶瓷24的一端与Y轴微动平台23相连接，两个轴承34分别与Y轴宏/微动平台8上的内导向板28和外导向板30滚动连接。本发明的系统既满足了厘米级的运动范围和高速、高加速度的要求，又达到了纳米级的定位精度。工作范围为25mm×25mm，分辨率为10nm，重复定位精度为±20nm，X轴和Y轴的最大加速度分别为50m/s2和100m/s2。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1648632A
公开(公告)日：2005-08-03
申请号：CN200510009686.1
申请日：2005-01-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 硅片键合强度的测量方法，它涉及的是材料键合强度测量的技术领域。它的测量步骤是：分别测量键合硅片1中晶片1－1的厚度tw1、晶片1－2的厚度tw2001；把刀片2匀速插入1－1与1－2的结合面中，并使刀片2的刀口完全插入其结合面中，将晶片1－1与晶片1－2部分分离；刀片2的厚度tb为100μm～230μm；使刀片2的刀刃线与晶片1－1、晶片1－2的结合面相平行002；测量晶片1－1与晶片1－2分离部分中裂缝3的长度值L003；根据键合片部分分开的弹性力与开裂顶端的键合力相平衡的原理来计算键合强度值γ004。本发明能对硅片键合强度进行定量测量，其测量方法简单容易、测量结果可靠、对测量环境要求低，并具有很大的通用性和准确性。
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公开(公告)号：CN1562729A
公开(公告)日：2005-01-12
申请号：CN200410013686.4
申请日：2004-04-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B81C5/00
Abstract: 宏/微双重驱动的微小型机器人移动定位平台，它涉及微小型机器人移动定位平台结构的改进。本发明一号主动轮(4)固定在一号电机(1)的输出轴上，一号从动轮(15)固定在一号电机(1)同一侧的外移动定位平台(5)上，二号主动轮(12)固定在二号电机(10)的输出轴上，二号从动轮(9)固定在二号电机(10)同一侧的外移动定位平台(5)上，在外移动定位平台(5)上表面的中部设有内微动定位平台(11)，一号双极性压电陶瓷(2)、二号双极性压电陶瓷(6)和三号双极性压电陶瓷(13)的一端分别与外移动定位平台(5)相连接。本发明具有以下优点：1.结构简单、体积小。2.具有宏/微双重驱动，既可以在大范围内实现快速移动，又可以在小范围内实现高精度的位置调整。
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公开(公告)号：CN1562578A
公开(公告)日：2005-01-12
申请号：CN200410013627.7
申请日：2004-03-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B25J9/08
Abstract: 本发明公开一种宏/微双重驱动精密定位的并联式位置调整机器人——一种六自由度宏/微双重驱动纳米级定位大行程柔性并联机器人。它包括上平台(1)、六组相同的支链(3)、六组相同的宏动驱动装置(4)、铰链(5)和基座(6)，它还包括微动驱动装置(7)，支链(3)均匀布置在上平台(1)和基座(6)之间，支链(3)的上端通过铰链(5)铰接在上平台(1)上，支链(3)的下端通过铰链(5)与宏动驱动装置(4)相连接，支链(3)的杆体部分设置为微动驱动装置(7)，宏动驱动装置(4)设置在基座(6)上。由于本发明既能宏驱动又能微调整，所以既有大的运动范围，又有高的定位精度。因为微动驱动装置(7)本身被设置为支链(3)的杆体，所以整体结构非常紧凑。本发明设计合理、工作可靠，具有较大的推广价值。
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公开(公告)号：CN119369366A
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202411582747.2
申请日：2024-11-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于形状记忆聚合物的螺旋微机器人及其制备方法，涉及微纳机器人领域。本发明是为了解决传统的硬质不可变形磁驱微机器人在主动操作能力和适应性方面存在局限的问题。本发明所述的一种基于形状记忆聚合物的螺旋微机器人，螺旋微机器人本体的材料包括形状记忆聚合物。一种基于形状记忆聚合物的螺旋微机器人的制备方法，将形状记忆纤维缠绕成螺旋形状，对该螺旋形状的形状记忆纤维进行热处理并冷却，使得形状记忆纤维在缠绕中产生的内部应力被释放；将缠绕的形状记忆纤维展开为直线，然后再将直线形的形状记忆纤维再次缠绕成螺旋形状并加热至转变温度后冷却，使得形状记忆纤维的当前形状与永久形状之间差异引起的应力被保留，获得螺旋微机器人。
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公开(公告)号：CN119358601A
公开(公告)日：2025-01-24
申请号：CN202411475101.4
申请日：2024-10-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06N3/0464 , G06N5/04 , G06F17/15 , G06F17/16
Abstract: 本发明属于人工智能技术领域，具体涉及一种面向事件相机数据的高效稀疏卷积方法及其系统。步骤1：获取Δt时间段内的事件相机数据SΔt，并进行预处理；步骤2：对步骤1预处理后的数据进行有效运算检测；步骤3：将步骤2检测到的有效运算重新组织为矩阵乘法的高效运算形式；步骤4：对步骤3得到的运算结果进行后处理，完成图像卷积运算。本发明用以解决现有图像卷积算法难以有效利用事件相机空间稀疏性，从而导致计算冗余、推理延迟高的问题。
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