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公开(公告)号：CN115967251A
公开(公告)日：2023-04-14
申请号：CN202310078212.0
申请日：2023-02-03
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种使用气体静压轴承支撑的直线旋转电机，属于超精密装备制造技术领域。包括主轴转子、轴承、轴套、直线音圈电机及旋转音圈电机；轴承间隙套设在主轴转子上，轴套套设在轴承上，直线音圈电机、旋转音圈电机套设在主轴转子端部，直线音圈电机驱动主轴转子轴向运动，旋转音圈电机驱动主轴转子旋转。本发明能够实现主轴的旋转轴直线与直线运动轴线完全重合，无偏心距离，能够通过控制的手段替代了叠加轴的方式，实现主轴空间位置精确可控。本发明能够实现直线旋转电机在微观精度水平上运行，提高加工可靠性与稳定性，能够避免主轴端面与轴承室端面加工误差导致主轴旋转过程中引起的轴向误差运动，且能够精确控制主轴轴向运动位置。
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公开(公告)号：CN115899083A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202211651443.8
申请日：2022-12-21
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种大气等离子体抑制微振的气体静压轴承，属于超精密加工装备领域，具体方案如下：一种大气等离子体抑制微振的气体静压轴承，包括轴套、铜轴套、主轴转子、辐板和大气等离子体激发装置，所述铜轴套套设在主轴转子上，所述轴套套设在铜轴套上，所述辐板套设在主轴转子上且与轴套固定连接，轴套和辐板上设置的气路通过若干个小孔节流器为主轴转子的表面供气，所述主轴转子、轴套和辐板的材质均导电，所述大气等离子体激发装置的一端电连接主轴转子，另一端电连接轴套和辐板。本发明从微振产生的机理上消除了微振及其影响，大大提高了气浮轴承在工作时的稳定性。
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公开(公告)号：CN115781522A
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202211693884.4
申请日：2022-12-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种带有内螺旋磨削液供给通道的磨削电主轴，所述磨削电主轴包括磨削主轴、气体静压前轴承和气体静压后轴承，其中：所述磨削主轴为中部设置有环状凸缘的圆柱状结构，磨削主轴在轴向开设有极细中心通孔和螺旋流道；所述气体静压前轴承为筒状结构，套设在磨削主轴的上部；所述气体静压后轴承为上部设置有环状凹槽的筒状结构，套设在磨削主轴的下部；所述环状凸缘位于环状凹槽内部。本发明采用极细中心通孔配合螺旋通道来供给磨削液并与磨削主轴做为一体，降低主轴转动过程中磨削液产生的离心力对轴承转子的影响并避免了另外加设磨削液供给轴带来震动影响精度，提高轴承的稳定性。
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公开(公告)号：CN115582565A
公开(公告)日：2023-01-10
申请号：CN202211269140.X
申请日：2022-10-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种抗振动飞刀刀盘，属于超精密加工中飞刀切削技术领域，具体方案如下：一种抗振动飞刀刀盘，包括刀盘主体和两个刀盘旋臂，所述刀盘主体为回转体结构，所述两个刀盘旋臂对称固定在刀盘主体上，每个刀盘旋臂的背面均贴有抗振贴片。所述抗振贴片所用的材料为硬质合金材料。通过对飞刀刀盘的仿真分析得出在加工时飞刀刀盘的振动最剧烈处发生在刀盘旋臂上，采用硬质合金材料制成的抗振贴片粘接在两个刀盘旋臂背部，使得整体飞刀刀盘整体在工作过程中处于临界阻尼状态，以此来使得飞刀切入工件过程中所产生的振动快速衰减，大大提高了加工工件的精度。
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公开(公告)号：CN113878537B
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN202111194455.8
申请日：2021-10-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 多层嵌套X射线聚焦镜主动力控制装调装置，属于X射线聚焦镜加工技术领域。该装调装置用于保证大批量装配的一致性，确保大尺寸超薄镜片低变形的同时提高装调效率。吊装盘组件、轮毂调节组件和光源组件从上到下依次安装在支架上，相机调节组件设置在吊装盘组件的正上方，吊装盘组件用于将镜筒吊装在相机调节组件和轮毂调节组件之间，光源组件发出的平行光经轮毂调节组件筛选后，经镜筒反射后聚焦于相机调节组件的相机成像平面上，根据相机所形成的光斑位置调节镜筒或者轮毂调节组件的轮毂。本发明避免了人为操作引入的不规范性，实现了装调的一致性和可靠性，保证了装配过程中镜片的低变形，节省人力，提高整体装调效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113847886B
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN202111193022.0
申请日：2021-10-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24 , G01B9/02015
Abstract: WolterI型X射线聚焦镜内壁高精度检测方法，属于X射线聚焦镜内壁非接触检测技术领域。包括以下步骤：S5.用激光自准直仪确定镜筒主轴回转和垂直轴的偏心量、记录；S6.调整X位移台、长距离干涉测头和聚焦型短距离干涉测头到合适的位置，使其处于有效工作范围内；S7.控制高精度气浮主轴带动长距离干涉测头和聚焦型短距离干涉测头旋转一周，测量此处截面圆度；S8.移动升降导轨，根据需要测量多个截面圆度；S9.实时调整X位移台位置，通过控制升降导轨测量母线精度；S10.控制高精度气浮主轴旋转到一定角度，测量多条母线精度；S11.分析测量数据，得到镜筒内壁的面形精度。本发明可实现镜片内壁轴向和圆周方向的轮廓测量。
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公开(公告)号：CN113878537A
公开(公告)日：2022-01-04
申请号：CN202111194455.8
申请日：2021-10-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 多层嵌套X射线聚焦镜主动力控制装调装置，属于X射线聚焦镜加工技术领域。该装调装置用于保证大批量装配的一致性，确保大尺寸超薄镜片低变形的同时提高装调效率。吊装盘组件、轮毂调节组件和光源组件从上到下依次安装在支架上，相机调节组件设置在吊装盘组件的正上方，吊装盘组件用于将镜筒吊装在相机调节组件和轮毂调节组件之间，光源组件发出的平行光经轮毂调节组件筛选后，经镜筒反射后聚焦于相机调节组件的相机成像平面上，根据相机所形成的光斑位置调节镜筒或者轮毂调节组件的轮毂。本发明避免了人为操作引入的不规范性，实现了装调的一致性和可靠性，保证了装配过程中镜片的低变形，节省人力，提高整体装调效率。
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公开(公告)号：CN113847886A
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：CN202111193022.0
申请日：2021-10-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: WolterI型X射线聚焦镜内壁高精度检测方法，属于X射线聚焦镜内壁非接触检测技术领域。包括以下步骤：S5.用激光自准直仪确定镜筒主轴回转和垂直轴的偏心量、记录；S6.调整X位移台、长距离干涉测头和聚焦型短距离干涉测头到合适的位置，使其处于有效工作范围内；S7.控制高精度气浮主轴带动长距离干涉测头和聚焦型短距离干涉测头旋转一周，测量此处截面圆度；S8.移动升降导轨，根据需要测量多个截面圆度；S9.实时调整X位移台位置，通过控制升降导轨测量母线精度；S10.控制高精度气浮主轴旋转到一定角度，测量多条母线精度；S11.分析测量数据，得到镜筒内壁的面形精度。本发明可实现镜片内壁轴向和圆周方向的轮廓测量。
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公开(公告)号：CN111536150B
公开(公告)日：2021-12-24
申请号：CN202010421285.1
申请日：2020-05-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 为了提供一种结构稳定性好、超高精度的流体静压轴承，本发明记载一种表面节流的流体静压轴承，包括轴套、主轴、上辐板和下辐板，轴套套设在主轴上，上辐板和下辐板分别位于轴套的上方和下方并均固定在主轴上，上辐板、下辐板与主轴承“工字型”结构，轴套与主轴之间上下设置有相互连通的环形孔缝Ⅰ和环形孔缝Ⅱ，环形孔缝Ⅰ和环形孔缝Ⅱ结构相同且相互对称，环形孔缝Ⅰ和环形孔缝Ⅱ的纵剖面均呈阶梯状结构；轴套上设置有进孔和出孔，进孔与环形孔缝Ⅰ或环形孔缝Ⅱ连通，出孔与环形孔缝Ⅰ或环形孔缝Ⅱ连通。本发明润滑介质可以是液体或气体，本发明无需额外安装节流器，极大的提高了装配效率和可靠度，轴承结构简单可靠，易于加工。
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公开(公告)号：CN105234536B
公开(公告)日：2017-06-06
申请号：CN201510777095.2
申请日：2015-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23K10/00
Abstract: 一种大气等离子体射流加工对刀装置，涉及精密光学加工领域。解决了大气等离子体射流的对刀问题。它包括基座、熔石英片、连接管及压强传感器；所述基座的上表面设有凹槽，所述熔石英片固定设置在基座的凹槽内，熔石英片上开设有通孔，所述基座内上部设有通道，所述通道为L型，所述通道的一端与所述通孔连通，通道的另一端贯通基座的外侧面并与连接管的一端连接，所述连接管的另一端与压强传感器连接。本发明适用于其他需要对刀的场合。
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