硅锗合金薄膜材料的制备方法

    公开(公告)号:CN101880901B

    公开(公告)日:2012-05-30

    申请号:CN201010301123.0

    申请日:2010-02-03

    Abstract: 硅锗合金薄膜材料的制备方法,它属于硅锗合金薄膜领域。本发明解决了现有工艺制备硅锗合金薄膜存在设备造价高、操作条件苛刻及使用氢气使安全系数降低的问题。本发明方法如下:一、基片依次用丙酮、甲醇和超纯水超声清洗,然后自然晾干;二、配制电解液;三、采用三电极法进行电沉积,即在基片表面获得硅锗合金薄膜材料。本发明采用三电极法进行电沉积,所需设备造价低,方法简单,容易操作,反应无需使用氢气,提高生产的安全系数。

    一种用于离子液体电沉积的电解池

    公开(公告)号:CN202519342U

    公开(公告)日:2012-11-07

    申请号:CN201220195571.1

    申请日:2012-05-03

    Abstract: 一种用于离子液体电沉积的电解池,涉及一种电解池。它是为了解决现有的电解池采用循环水的方式调控温度导致离子液体升温电沉积的效果差问题。材质为聚四氟的平板、工作电极和材质为聚四氟的电解池本体按从下至上的方式通过两组弹簧片夹接为一个整体;工作电极引线、对比电极和参比电极连接在工作电极上且先后穿过材质为聚四氟的电解池本体、密封法兰后延伸至加热盒的外面;电热板的固定在加热盒的底面上;热电偶的探头穿过密封法兰后测量热盒内部的温度。本实用新型适用于离子液体升温电沉积过程中。

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