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公开(公告)号：CN102152297B
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201110062767.3
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B25J9/02 , B25J9/08 , H01L21/677
Abstract: 本发明在于提供一种用于硅片传输机器人的串联型R轴扩展机械臂，用于完成特殊位置的取放硅片工作流程。当取放硅片的位置相对于R轴回转半径要求过大，而结构本身的限制又使R轴的大臂、小臂及取片臂无法做的更大时，采用串联型R轴扩展机械臂是一种有效的解决途径。串联型R轴扩展机械臂的动力由独立的直线驱动模块输出，由计算机统一控制其工作程序；当需要R轴的回转半径加大时，串联型R轴扩展机械臂的直线驱动模块驱动执行机构开始向前运动，带动FORK组合的工作位置前伸，从而额外获得以R轴旋转中心为圆心、以前伸的FORK组合中心长度为半径的一组工作轨迹，以完成特殊位置的取放硅片工作流程。
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公开(公告)号：CN101873036B
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN201010225876.8
申请日：2010-07-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02K15/00
Abstract: 一种伺服电机转子与轴的联接结构，其中，伺服电机转子(2)、专用胶粘剂由伺服电机制造商提供，伺服电机转子配合孔公差为φD(H7)。伺服电机轴(1)与伺服电机转子(2)的配合部位开有直辊花槽。装配时，先将伺服电机转子(2)放入沸水中煮5～10min；同时将电机轴(1)配合表面清洗干净，表面均匀地涂一薄层胶粘剂。然后将伺服电机转子(2)从沸水中捞出，待表面水滴蒸发干净后，迅速套在电机轴(1)的相应部位，并以台虎钳压入到位。冷却后，进行胶粘剂的固化程序。结构合理，具有更高的联接精度、联接刚度和联接可靠性、可有效降低成本的联接结构。
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公开(公告)号：CN102720924A
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN201210145404.0
申请日：2012-05-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16M11/00
Abstract: 本发明提出一种磁力预紧的平面滚动支撑装置，包括活动台组件(1)、滚动钢珠组件(2)、固定台组件(3)，其中活动台组件(1)作为平面滚动支撑装置的运动平台，滚动钢珠组件(2)支撑活动台组件(1)的运动，固定台组件(3)作为运动范围的约束以及平面滚动支撑装置的机座，支撑活动台组件(1)和固定台组件(2)。本发明适用于二维平面无约束运动，结构合理、能够较好的平衡负载能力与灵敏度之间关系，具有灵敏度高、磨擦系数小、负载较大、易于拆装维护等特点。
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公开(公告)号：CN102161199B
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201110062736.8
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B25J9/08 , H01L21/677
Abstract: 一种用于硅片传输机器人的W轴同轴传动机构，以完成特殊位置的取放硅片工作流程，适用于对高度尺寸方向没有限制的R轴空间结构。本发明的W轴同轴传动机构，扩展了硅片传输机器人的使用范围，且安装过程简单，只需从R轴小臂末端拆除末端FORK手臂，重新安装在W轴同轴传动机构的输出端，并使用专用的底座使R轴小臂与W轴同轴传动机构相联接，重新调整控制程序后，即可调试及应用。
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公开(公告)号：CN102290360A
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN201110062776.2
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/677
Abstract: 一种旋转角度大于1000°的T轴旋转限位结构包括T轴限位上联接盘1、一级拨榫机构组合2、一级旋转限位拨盘3、二级拨榫机构组合4、上轴承5、轴承隔套6、旋转轴7、下轴承8、二级旋转限位拨盘9、限位套10、限位块11、联接螺钉12等。完成装配后，T轴限位机构旋转的总角度达1010°，以适应集成度要求更高、能够满足多角度、多工位进行硅片传输的T轴限位旋转机构。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102176423A
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN201110062770.5
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/677 , H01L21/68
Abstract: 一种硅片传输机器人的Z轴双重限位机构。电子限位应用了光电传感器原理，属于无触点式的电子开关，限位精度高，无机械磨损、使用寿命长。机械硬限位使用金属材料，约束面积大、刚性高，有利于Z轴电机迅速产生过载力矩而报警断电，防止因电子限位失效而造成设备的其它损害。本发明限位作用可靠，在装配过程中无需调整。
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公开(公告)号：CN101372310A
公开(公告)日：2009-02-25
申请号：CN200810064888.X
申请日：2008-07-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种基于体硅工艺的纳米级定位平台及其垂直侧壁表面压阻加工方法。整个定位平台主要由作为结构层的硅与作为衬底的玻璃通过阳极键合加工而成，它包括载物台、侧向平动静电梳齿致动器、检测梁、折叠梁和柔性支撑梁，载物台位于整个定位平台的中心位置，通过呈十字分布的四个柔性支撑梁、折叠梁和检测梁支撑在整个平台中心，侧向平动静电梳齿致动器位于检测梁和折叠梁之间。本发明集结构、驱动和位移检测于一体的，并利用垂直侧壁表面压阻加工技术，把基于压阻检测原理的位移传感器集成到纳米定位平台的检测梁上，从而进一步提高了定位平台的定位精度和应用空间。
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公开(公告)号：CN100342517C
公开(公告)日：2007-10-10
申请号：CN200510010440.6
申请日：2005-10-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/677 , B25J9/02 , B65G49/07 , B65G47/74
Abstract: 本发明提供的是一种二维并联驱动的硅片搬运机器人。它包括机体、导轨(2)、丝杠(3)、滚珠花键组合体、框架螺母(5)、套筒(6)、同步电机和同步轮Ⅰ(7)、同步电机和同步轮Ⅱ(8)、同步带结构Ⅰ(9)、摇臂Ⅰ(10)，轴Ⅰ(12)、摇臂Ⅱ(13)、同步带结构Ⅱ(14)、轴Ⅱ(15)、夹持机械手(16)和罩体(17)。本发明的机器人结构新颖紧凑，运动惯量小、重量轻，可实现R轴和Z轴的高速高精度运动性能。其中，R轴运动实现沿机器人旋转半径方向的直线运动，Z轴运动实现沿机器人竖直方向的直线运动。
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公开(公告)号：CN1731082A
公开(公告)日：2006-02-08
申请号：CN200510010287.7
申请日：2005-08-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 宏/微驱动的两自由度高加速度高精度的并联定位系统，它涉及一种运动定位系统。本发明解决了现有定位系统串联结构基层平台直线运动惯量大；并联结构解耦装置结构设计困难及多关节并联杆机构末端执行器竖直方向刚度差的问题。本发明的基座1上固定有轴线相互垂直的X轴直线驱动装置2和Y轴直线驱动装置3，X轴直线驱动装置2与X轴移动平台总成8固接，Y轴直线驱动装置3与Y轴移动平台总成9固接，X轴移动平台总成8与X轴末端平台10之间铰接有X轴平行连杆机构12，Y轴移动平台总成9与Y轴末端平台11之间铰接有Y轴平行连杆机构13，X轴末端平台10和Y轴末端平台11与末端输出平台15固接。本发明具有高精度高加速度的优点。
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