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公开(公告)号：CN102723296A
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN201210145405.5
申请日：2012-05-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出一种双层直线电机驱动的XY运动平台，包括底板组件(1)、X轴直线电机组件(2)、运动平台组件(3)、Y轴直线电机组件(4)、底板(5)、X轴光栅尺读数头(6)、X轴精密运动导轨(8)、Y轴直线电机动子(9)、Y轴光栅尺读数头(12)、Y轴精密运动导轨(18)、X轴直线电机动子(19)等。本发明具有更大的驱动能力、更快的运动速度、更合理的直线电机解耦方式、更小的结构尺寸，适用在生产流水线等狭小空间进行的半导体集成芯片的高速封装作业。
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公开(公告)号：CN102720924A
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN201210145404.0
申请日：2012-05-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16M11/00
Abstract: 本发明提出一种磁力预紧的平面滚动支撑装置，包括活动台组件(1)、滚动钢珠组件(2)、固定台组件(3)，其中活动台组件(1)作为平面滚动支撑装置的运动平台，滚动钢珠组件(2)支撑活动台组件(1)的运动，固定台组件(3)作为运动范围的约束以及平面滚动支撑装置的机座，支撑活动台组件(1)和固定台组件(2)。本发明适用于二维平面无约束运动，结构合理、能够较好的平衡负载能力与灵敏度之间关系，具有灵敏度高、磨擦系数小、负载较大、易于拆装维护等特点。
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公开(公告)号：CN102720924B
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：CN201210145404.0
申请日：2012-05-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16M11/00
Abstract: 本发明提出一种磁力预紧的平面滚动支撑装置，包括活动台组件(1)、滚动钢珠组件(2)、固定台组件(3)，其中活动台组件(1)作为平面滚动支撑装置的运动平台，滚动钢珠组件(2)支撑活动台组件(1)的运动，固定台组件(3)作为运动范围的约束以及平面滚动支撑装置的机座，支撑活动台组件(1)和固定台组件(2)。本发明适用于二维平面无约束运动，结构合理、能够较好的平衡负载能力与灵敏度之间关系，具有灵敏度高、磨擦系数小、负载较大、易于拆装维护等特点。
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公开(公告)号：CN102723297A
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN201210145423.3
申请日：2012-05-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明提出一种具有术端负载支撑且结构对称的XY精密运动平台，包括底板组件(1)、底板组件(1)包括底板(5)，在底板(5)上安装有X轴直线电机组件(2)、Y轴直线电机组件(3)、运动平台连接体组件(4)，运动平台连接体组件(4)由磁力预紧滚动支撑机构和导向连接体机构两部分构成，磁力预紧滚动支撑机构包括4块高磁合金块。本发明具有更大的系统刚度、更好的运动精度、更简单适用的X/Y运动解耦方式、更小的结构尺寸，适用在生产流水线等狭小空间进行的半导体集成芯片的高速封装作业。
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