公开(公告)号：CN206177310U

公开(公告)日：2017-05-17

申请号：CN201621105182.X

申请日：2016-10-08

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 杨海波 ,  苏岩 ,  吴志强 ,  张晶

IPC: G01C19/5621

Abstract: 本实用新型公开了一种双质量块音叉角速率陀螺仪，包括上层真空封装盖板、下层硅衬底和中层单晶硅片，中层单晶硅片上设有陀螺机械结构，所述陀螺机械结构的两个子结构对称分布在质量块连接机构和两个桁架与水平直梁的组合机构的两侧，第一U型梁沿子结构的长边设置，且位于长边的两端，桁架与水平直梁的组合机构通过第一U型梁与子结构连接，U型梁组合梁沿子结构的长边设置；直梁沿子结构宽度方向设置，用于连接子结构两侧的第一U型梁。本实用新型既能实现驱动模态与检测模态为第一阶模态和第二阶模态，又能有效抑制所有常见的驱动同向、检测同向和Z向模态等干扰模态，其一致性强，抗振动干扰能力强。

公开(公告)号：CN209231367U

公开(公告)日：2019-08-09

申请号：CN201822223789.3

申请日：2018-12-28

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 刘雨东 ,  朱欣华 ,  苏岩 ,  张晶

IPC: G01P15/097

Abstract: 本实用新型公开一种静电负刚度谐振式加速度计的敏感结构，静电负刚度谐振式加速度计的敏感结构包括相邻布置的第一质量块和第二质量块、第一静电驱动部分、第一检测部分、第一敏感部分、第二静电驱动部分、第二检测部分、第二敏感部分、第一至第八固定基座、第一至第八弹性连接梁和质量块弹性连接件。先将两个质量块驱动到驱动模态，在敏感部分加上初始电压，敏感部分会产生静电力，计算出初始静电刚度，并且这时d1、d2相对于开始的位置已经发生了变化，当有加速度加在质量块上的时候质量块的位置发生变化导致d1、d2再次发生变化，进而导致静电刚度发生改变，谐振频率发生改变，从而达到用谐振频率敏感加速度的目的。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN203455364U

公开(公告)日：2014-02-26

申请号：CN201320548882.6

申请日：2013-09-04

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 夏国明 ,  裘安萍 ,  施芹 ,  张晶 ,  苏岩 ,  丁衡高

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/125

Abstract: 本实用新型公开了一种基于片式集成高精度测温结构的硅振梁加速度计，上层为真空封装盖板，下层为衬底，中层单晶硅上制作有加速度计机械结构；加速度计机械结构包括外框架、质量块、两个刚度调整组件、两个测加速度谐振器、两个测温谐振器和四个一级杠杆放大机构，测加速度谐振器对称布置在质量块的上、下两端，该两个测加速度谐振器的一端与外框架相连，另一通过刚度调整组件与左右对称的一级杠杆放大机构的输出端相连；各一级杠杆放大机构的支点端均与外框架相连，输入端分别与质量块相连；测温谐振器对称布置在质量块的左、右两侧，外框架通过固定基座使机械结构悬空在下层的单晶硅衬底之上。本实用新型提高了温度补偿的精度，且实时性好、灵敏度高。

公开(公告)号：CN209024198U

公开(公告)日：2019-06-25

申请号：CN201821615013.X

申请日：2018-09-30

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 张晶 ,  苏岩 ,  刘雨东

IPC: B81B3/00 ,  B81B7/02

Abstract: 本实用新型公开了一种应用于MEMS力敏感器件的二级应力隔离结构(3)，包括外部框架结构(14)以及设置在外部框架结构(14)内的力敏感结构(9)，所述外部框架结构(14)包括内框架(15)，所述内框架(15)的上下两端分别通过至少一个应力集中梁(12)与对应的应力衰减梁(13)连接，所述应力衰减梁(13)通过多个柔性连接(11)与位于柔性连接(11)内部的固定锚点(10)相连字，本实用新型能够实现二级应力释放，所述柔性连接(11)为一级应力隔离，应力衰减梁(13)与应力集中梁(12)为短粗的刚性梁构成过渡框架，作为二级应力隔离，能够在敏感结构层上隔绝敏感结构工艺与封装过程中产生的应力。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利