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公开(公告)号:CN115872349A
公开(公告)日:2023-03-31
申请号:CN202310194573.1
申请日:2023-03-03
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明提出了一种太赫兹探测器芯片的三维封装结构,其MEMS硅腔体盖帽层位于太赫兹探测器芯片的上方,盖住太赫兹探测器芯片的探测部分;金属平面反射镜位于太赫兹探测器芯片的背面,对入射到太赫兹探测器芯片衬底的信号进行反射;MEMS硅腔体盖帽层、太赫兹探测器芯片、金属平面反射镜三者堆叠互连构成复合谐振结构,使得探测器芯片处的电场谐振增强。本发明改变盖帽层深硅刻蚀的厚度可以实现探测器芯片处的电磁场能量增强,提高探测器的灵敏度;改变探测器衬底厚度、MEMS硅腔体盖帽硅层厚度与空气腔厚度可以实现不同谐振频率的探测和滤波效果,提高太赫兹探测器芯片三维封装的设计自由度。
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公开(公告)号:CN112467022A
公开(公告)日:2021-03-09
申请号:CN202011326012.5
申请日:2020-11-23
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种铌基探针型SQUID电磁传感器及制备方法和应用,属于超导应用技术领域。本发明方法包括:使用石英针拉制器将外径1.0mm内径0.5mm的空心石英针拉伸至尖端直径约100nm;使用磁控溅射设备在针尖处生长50nm铌膜,将其表面完全包裹;使用电子束蒸发在石英针两侧生长两次铝膜作为掩膜,由于电子束蒸发设备属于点源溅射,其具有良好的各向异性,两次生长的铝膜不会互相接触短路,会在中间形成两条狭缝,再从顶端进行一次蒸镀,将顶端圆环处铌膜进行保护;使用反应离子刻蚀设备将未被铝膜保护的铌膜被去除,留下铌膜加铝膜的双层结构,即得所述铌基探针型SQUID电磁传感器,可用于检测高频电磁场。
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公开(公告)号:CN103956637B
公开(公告)日:2017-01-25
申请号:CN201410202463.6
申请日:2014-05-14
Applicant: 南京大学
IPC: H01S1/02
Abstract: 本发明公开了一种高频率BSCCO-THz源,包括BSCCO-THz源;在所述的BSCCO-THz源上设有上基片;所述的上基片通过导热胶粘贴在BSCCO-THz源的下基片上,所述的BSCCO-THz源的BSCCO被包裹在导热胶内部。本发明的高频率BSCCO-THz源,其BSCCO-THz源被导热胶和上下方的基片包裹着,确实有效的改善BSCCO-THz源的导热,从而大大增加其偏置电压,提高了其辐射太赫兹信号的频率,可得到1THz以上太赫兹辐射;有效突破目前的技术瓶颈,填补该部分的技术空白,具有广阔的应用前景,在BSCCO-THz源领域将得到广泛的应用,具有不可比拟的实用性。
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公开(公告)号:CN105675531A
公开(公告)日:2016-06-15
申请号:CN201610164889.6
申请日:2016-03-22
Applicant: 南京大学
IPC: G01N21/3504 , G01N21/3581
CPC classification number: G01N21/3504 , G01N21/3581
Abstract: 本发明公开了一种气体太赫兹吸收光谱的检测装置,包括连续可调太赫兹发生器、斩波器、离轴抛物面镜、气体腔和GolayCell检测器;太赫兹发生器产生的太赫兹波束经过斩波器调制,被调制信号经离轴抛物面镜汇聚反射,汇聚波束穿过气体腔,再经另外一个离轴抛物面镜汇聚到太赫兹检测上。本发明频率分辨率高,成本低,系统简单,易携带,大大的简化现有系统的复杂度,更易于推广。节约成本,太赫兹损耗低,可简单方便的检测气体的太赫兹吸收光谱,有着广阔的应用前景和研究价值。
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公开(公告)号:CN105571712A
公开(公告)日:2016-05-11
申请号:CN201610096126.2
申请日:2016-02-22
Applicant: 南京大学
IPC: G01J1/42
CPC classification number: G01J1/42
Abstract: 本发明公开了一种自动化便携式太赫兹辐射空间分布检测器,包括冷头、半球透镜、无氧铜线、底座、样品架、BSCCO高温超导太赫兹源、电极板、转角位移平台以及斯特灵制冷机;转角位移平台安装在底座与样品架之间,冷头和底座将转角位移平台固定在斯特灵制冷机的冷端,样品架可随着转角位移平台的转动而转动,底座与样品架通过无氧铜线相连。本发明的自动化便携式太赫兹辐射空间分布检测器,体积小,长宽高约为42cm×36cm×20cm;简单易用,只需供电便可以工作,可实现自动化测量,转动精密,方便操作,低温下工作稳定;用电驱动,不消耗液氦,低成本;可方便的应用于各个相关领域。
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公开(公告)号:CN104505458A
公开(公告)日:2015-04-08
申请号:CN201410693828.X
申请日:2014-11-27
Applicant: 南京大学
IPC: H01L39/22
Abstract: 本发明公开了一种便携式连续可调太赫兹发生器,包括太赫兹波导、容器、容器盖子、固定件、半球透镜、加热电阻、低温温度计、BSCCO高温超导太赫兹源和电极板;所述的容器盖子将固定件封装在容器内;所述的半球透镜设在固定件中心,在半球透镜的背面的中心处设BSCCO高温超导太赫兹源,在固定件上紧临半球透镜黏贴加热电阻、低温温度计和电极板;电极板的四个电极、加热电阻的两个电极和低温温度计的两个电极通过漆包线经过容器引到外部;所述BSCCO高温超导太赫兹源的电极通过金线与电极板相连;所述的太赫兹波导插入容器的深度,恰好接触到固定件中心的半球透镜的半球面。该便携式连续可调太赫兹发生器,体积小巧,简单易用,成本低,方便携带和移动;可用电池驱动,系统简单,使用方便,降温速度快。
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公开(公告)号:CN215894835U
公开(公告)日:2022-02-22
申请号:CN202120994553.9
申请日:2021-05-10
Applicant: 南京大学
IPC: G01R31/265 , G01R1/04
Abstract: 本申请公开了一种小型高温超导器件测试系统,包括固定在底板上的制冷机、压缩机、控制器和样品架;制冷机与压缩机相连用于实现测试系统的制冷;制冷机与样品架相连,所提供的冷源直接为样品架制冷;在样品架上放置硅透镜用来进行太赫兹波的引入聚焦以及辐射引出;控制器控制压缩机的运行。该测试系统采用紧凑化、一体化设计,具有小型化,便携化特点,降低了测试系统的成本,并在达到基本的测量要求的前提下,有效降低噪声,且方便易携带。整个系统能够与现有测量设备进行很好的兼容,如电流源以及相关电输运特性测量设备,能够进行太赫兹领域的相关测试,如RT降温测试,太赫兹源辐射测试,太赫兹混频检测测试等,具有很好的实用性。
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公开(公告)号:CN205449288U
公开(公告)日:2016-08-10
申请号:CN201620132936.4
申请日:2016-02-22
Applicant: 南京大学
IPC: G01J1/42
Abstract: 本实用新型公开了一种自动化便携式太赫兹辐射空间分布检测器,包括冷头、半球透镜、无氧铜线、底座、样品架、BSCCO高温超导太赫兹源、电极板、转角位移平台以及斯特灵制冷机;转角位移平台安装在底座与样品架之间,冷头和底座将转角位移平台固定在斯特灵制冷机的冷端,样品架可随着转角位移平台的转动而转动,底座与样品架通过无氧铜线相连。本实用新型的自动化便携式太赫兹辐射空间分布检测器,体积小,长宽高约为42cm×36cm×20cm;简单易用,只需供电便可以工作,可实现自动化测量,转动精密,方便操作,低温下工作稳定;用电驱动,不消耗液氦,低成本;可方便的应用于各个相关领域。
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公开(公告)号:CN204289539U
公开(公告)日:2015-04-22
申请号:CN201420723583.6
申请日:2014-11-27
Applicant: 南京大学
IPC: H01L39/22
Abstract: 本实用新型公开了一种便携式连续可调太赫兹发生器,包括太赫兹波导、容器、容器盖子、固定件、半球透镜、加热电阻、低温温度计、BSCCO高温超导太赫兹源和电极板;所述的容器盖子将固定件封装在容器内;所述的半球透镜设在固定件中心,在半球透镜的背面的中心处设BSCCO高温超导太赫兹源,在固定件上紧临半球透镜黏贴加热电阻、低温温度计和电极板;电极板的四个电极、加热电阻的两个电极和低温温度计的两个电极通过漆包线经过容器引到外部;所述BSCCO高温超导太赫兹源的电极通过金线与电极板相连;所述的太赫兹波导插入容器的深度,恰好接触到固定件中心的半球透镜的半球面。该便携式连续可调太赫兹发生器,体积小巧,简单易用,成本低,方便携带和移动;可用电池驱动,系统简单,使用方便,降温速度快。
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公开(公告)号:CN205643152U
公开(公告)日:2016-10-12
申请号:CN201620222503.8
申请日:2016-03-22
Applicant: 南京大学
IPC: G01N21/3504 , G01N21/3581
Abstract: 本实用新型公开了一种气体太赫兹吸收光谱的检测装置,包括连续可调太赫兹发生器、斩波器、离轴抛物面镜、气体腔和GolayCell检测器;太赫兹发生器产生的太赫兹波束经过斩波器调制,被调制信号经离轴抛物面镜汇聚反射,汇聚波束穿过气体腔,再经另外一个离轴抛物面镜汇聚到太赫兹检测上。本实用新型频率分辨率高,成本低,系统简单,易携带,大大的简化现有系统的复杂度,更易于推广。节约成本,太赫兹损耗低,可简单方便的而检测气体的太赫兹吸收光谱,有着广阔的应用前景和研究价值。
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