公开(公告)号：CN102539815B

公开(公告)日：2013-08-28

申请号：CN201210040496.6

申请日：2012-02-22

Applicant: 中北大学

Inventor： 石云波 ,  唐军 ,  刘俊 ,  李杰 ,  张晓明 ,  刘尧 ,  郭浩 ,  温焕飞

IPC: G01P3/44

Abstract: 本发明涉及仿生角速度传感器，具体是一种基于蜜蜂平衡棒的仿生三维角速度传感器。本发明解决了现有仿生角速度传感器体积大、检测维数单一、不便集成的问题。基于蜜蜂平衡棒的仿生三维角速度传感器，包括由有机玻璃制成且上下底面为等腰三角形的三棱柱支架，三棱柱支架边长相等的两侧面上均粘结有平衡棒结构；平衡棒结构包括空心框体、位于水平方向上的两个检测梁、以及位于垂直方向上的两个前宽后窄的驱动梁；在两个驱动梁上靠近空心框体的部分均依次生长有压电膜层和Si3N4绝缘层；两个检测梁上均固定有阻值为2-3kΩ的P型压阻条。本发明所述的三维角速度传感器体积小、功耗低，实现了三维角速度的检测，可广泛适用于三维角速度的检测。

公开(公告)号：CN102765695A

公开(公告)日：2012-11-07

申请号：CN201210275973.7

申请日：2012-08-06

Applicant: 中北大学

Inventor： 刘俊 ,  唐军 ,  石云波 ,  薛晨阳 ,  张文栋 ,  柴鹏兰 ,  翟超 ,  温焕飞

IPC: B81C1/00 ,  B82B3/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明涉及低维纳米结构的制备方法，解决了现有有序低维纳米结构只能小面积制造且成本高、污染严重的问题。基于静电场奇点自聚焦的圆片级低维纳米结构的制备方法包括如下步骤：首先在圆片级硅片衬底上通过光刻和刻蚀工艺得到低维纳米结构自组装物理衬底模板；然后将其放在磁控溅射仪目标靶上，合成的贵金属纳米颗粒自动沉积到尖端结构上得到贵金属薄膜；最后进行退火工艺。本发明所述的制备方法利用合成的纳米颗粒，依托传统的MEMS加工工艺制备，得到了低成本、零污染、圆片级大面积、高可靠性和高度有序的低维纳米材料结构；可广泛适用于有序低维纳米结构的大面积制造。