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公开(公告)号：CN102681046B
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201210153132.9
申请日：2012-05-17
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及曲面微透镜阵列的制备方法，解决了现有微透镜阵列制作复杂、透光性差且不方便插入光纤导致实用性差的问题。一种大面积NOA73曲面微透镜阵列的制备方法包括如下步骤：制备带有凹透镜结构的PDMS负模；制备带有半圆柱状凹槽的PDMS模具：在PDMS负模的底面和PDMS模具的半圆柱状凹槽内均涂一层PDMS液体后加热固化粘合在一起，得到PDMS曲面凹透镜负模；制备NOA73薄膜；从PDMS曲面凹透镜负模的凹透镜结构上揭下带有NOA73固态膜的NOA73薄膜，即得到NOA73曲面微凸透镜阵列。本发明所述的制备方法成本低、制作简单、易于批量生产；可广泛适用于集成成像、光束整形、光纤耦合等领域。
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公开(公告)号：CN102540705A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201210013959.X
申请日：2012-01-17
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及仿生曲面复眼，具体为一种仿生PDMS曲面复眼的制备方法。本发明解决了现有仿生曲面复眼体积大、视场小、实用性低的问题。一种仿生PDMS曲面复眼的制备方法包括如下步骤：制备PDMS微凸透镜模；制备PDMS栅格模；制备PDMS外围包裹模；将PDMS微凸透镜模和PDMS栅格模的底部粘合在一起；将光纤插入PDMS栅格模的圆柱状空腔中；将PDMS外围包裹模粘在PDMS栅格模的外圆周上形成位于PDMS栅格模与PDMS外围包裹模之间的空腔；对空腔加压使PDMS微凸透镜模弯曲，从而得到复眼。本发明制得的复眼具有成本低、制作简单、微米尺度、纳米精度的优势，可广泛适用于三维成像检测领域。
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公开(公告)号：CN102539815A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201210040496.6
申请日：2012-02-22
Applicant: 中北大学
IPC: G01P3/44
Abstract: 本发明涉及仿生角速度传感器，具体是一种基于蜜蜂平衡棒的仿生三维角速度传感器。本发明解决了现有仿生角速度传感器体积大、检测维数单一、不便集成的问题。基于蜜蜂平衡棒的仿生三维角速度传感器，包括由有机玻璃制成且上下底面为等腰三角形的三棱柱支架，三棱柱支架边长相等的两侧面上均粘结有平衡棒结构；平衡棒结构包括空心框体、位于水平方向上的两个检测梁、以及位于垂直方向上的两个前宽后窄的驱动梁；在两个驱动梁上靠近空心框体的部分均依次生长有压电膜层和Si3N4绝缘层；两个检测梁上均固定有阻值为2-3kΩ的P型压阻条。本发明所述的三维角速度传感器体积小、功耗低，实现了三维角速度的检测，可广泛适用于三维角速度的检测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102520203A
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201110433661.X
申请日：2011-12-22
Applicant: 中北大学
IPC: G01P3/44
Abstract: 本发明涉及仿生三维角速度传感器，具体是一种基于飞蛾触角导航的仿生三维角速度传感器及其制备方法。本发明解决了现有导航系统中微机械陀螺仪只能检测单一方向的角速度导致导航系统结构复杂、测量误差大的问题。基于飞蛾触角导航的仿生三维角速度传感器，包括N型【100】双抛硅片、以及有机玻璃；有机玻璃上开有中心方孔，有机玻璃的顶部对称开有四个凹槽，凹槽内粘结有绕有线圈的软磁体；有机玻璃的底部开有第一方形槽；N型【100】双抛硅片粘结在第一方形槽内，N型【100】双抛硅片包括空心框体、以及四个折叠梁。本发明采用单个结构完成三维角速度的检测使传感器结构简单，可广泛适用于仿生MEMS传感器领域的角速度检测。
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公开(公告)号：CN102540705B
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201210013959.X
申请日：2012-01-17
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及仿生曲面复眼，具体为一种仿生PDMS曲面复眼的制备方法。本发明解决了现有仿生曲面复眼体积大、视场小、实用性低的问题。一种仿生PDMS曲面复眼的制备方法包括如下步骤：制备PDMS微凸透镜模；制备PDMS栅格模；制备PDMS外围包裹模；将PDMS微凸透镜模和PDMS栅格模的底部粘合在一起；将光纤插入PDMS栅格模的圆柱状空腔中；将PDMS外围包裹模粘在PDMS栅格模的外圆周上形成位于PDMS栅格模与PDMS外围包裹模之间的空腔；对空腔加压使PDMS微凸透镜模弯曲，从而得到复眼。本发明制得的复眼具有成本低、制作简单、微米尺度、纳米精度的优势，可广泛适用于三维成像检测领域。
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公开(公告)号：CN102520203B
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201110433661.X
申请日：2011-12-22
Applicant: 中北大学
IPC: G01P3/44
Abstract: 本发明涉及仿生三维角速度传感器，具体是一种基于飞蛾触角导航的仿生三维角速度传感器及其制备方法。本发明解决了现有导航系统中微机械陀螺仪只能检测单一方向的角速度导致导航系统结构复杂、测量误差大的问题。基于飞蛾触角导航的仿生三维角速度传感器，包括N型【100】双抛硅片、以及有机玻璃；有机玻璃上开有中心方孔，有机玻璃的顶部对称开有四个凹槽，凹槽内粘结有绕有线圈的软磁体；有机玻璃的底部开有第一方形槽；N型【100】双抛硅片粘结在第一方形槽内，N型【100】双抛硅片包括空心框体、以及四个折叠梁。本发明采用单个结构完成三维角速度的检测使传感器结构简单，可广泛适用于仿生MEMS传感器领域的角速度检测。
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公开(公告)号：CN102539815B
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：CN201210040496.6
申请日：2012-02-22
Applicant: 中北大学
IPC: G01P3/44
Abstract: 本发明涉及仿生角速度传感器，具体是一种基于蜜蜂平衡棒的仿生三维角速度传感器。本发明解决了现有仿生角速度传感器体积大、检测维数单一、不便集成的问题。基于蜜蜂平衡棒的仿生三维角速度传感器，包括由有机玻璃制成且上下底面为等腰三角形的三棱柱支架，三棱柱支架边长相等的两侧面上均粘结有平衡棒结构；平衡棒结构包括空心框体、位于水平方向上的两个检测梁、以及位于垂直方向上的两个前宽后窄的驱动梁；在两个驱动梁上靠近空心框体的部分均依次生长有压电膜层和Si3N4绝缘层；两个检测梁上均固定有阻值为2-3kΩ的P型压阻条。本发明所述的三维角速度传感器体积小、功耗低，实现了三维角速度的检测，可广泛适用于三维角速度的检测。
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公开(公告)号：CN102681046A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210153132.9
申请日：2012-05-17
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及曲面微透镜阵列的制备方法，解决了现有微透镜阵列制作复杂、透光性差且不方便插入光纤导致实用性差的问题。一种大面积NOA73曲面微透镜阵列的制备方法包括如下步骤：制备带有凹透镜结构的PDMS负模；制备带有半圆柱状凹槽的PDMS模具：在PDMS负模的底面和PDMS模具的半圆柱状凹槽内均涂一层PDMS液体后加热固化粘合在一起，得到PDMS曲面凹透镜负模；制备NOA73薄膜；从PDMS曲面凹透镜负模的凹透镜结构上揭下带有NOA73固态膜的NOA73薄膜，即得到NOA73曲面微凸透镜阵列。本发明所述的制备方法成本低、制作简单、易于批量生产；可广泛适用于集成成像、光束整形、光纤耦合等领域。
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