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公开(公告)号：CN101290478A
公开(公告)日：2008-10-22
申请号：CN200810037800.5
申请日：2008-05-21
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 本发明提供了一种基于五杆机构的平衡质量运动装置及其控制方法，在工件台双层平衡质量系统中，通过控制四个力矩电机来实现工件台双层平衡质量系统的跟随运动补偿和独立运动回零功能，采用对偶结构设计方法来改进双曲柄五连杆运动执行装置，实现机构运动的完全解耦；根据结构对偶设计方法制定相应的执行器系统、测量系统和系统整体控制，并通过优化解耦算法来提高平衡质量水平方向的运动控制精度，保证Rz向精度达到微弧度精度。
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公开(公告)号：CN101290476A
公开(公告)日：2008-10-22
申请号：CN200810037649.5
申请日：2008-05-20
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 本发明提供了一种六自由度微动台，包括至少三个两自由度微驱动装置，呈等同的夹角，水平平均设置于圆形微动承载台的圆周上；所述两自由度微驱动装置包括两对电磁铁，一个设有电磁衔铁的微执行器动子；两对电磁铁，一对水平，一对垂直呈十字形对称设置；微执行器动子固定在圆形微动承载台上，设置于十字形电磁铁中心。通过电磁铁对微执行器动子的高精度控制，实现对微动承载台的六自由度微动。本发明只需设计一种微驱动装置，其微动台的结构以及装配安装工艺简单，开发周期较短。
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公开(公告)号：CN101219539A
公开(公告)日：2008-07-16
申请号：CN200810033058.0
申请日：2008-01-24
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 一种抓手角度可调的夹取装置，包括，基板、站立腿、抓手、偏心提升机构、夹紧机构和角度调整机构，其中所述的抓手、偏心提升机构和角度提升机构均固定在基板上，所述的抓手与偏心提升机构相连，所述的角度调整机构和夹紧机构均安装在抓手上，所述的站立腿也安装在基板上并支撑基板。本发明不但能准确地实现对光学器件的抓取，而且还能在抓取力过大时，保护光学器件不受损坏。
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公开(公告)号：CN101195465A
公开(公告)日：2008-06-11
申请号：CN200710173576.8
申请日：2007-12-28
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Inventor： 袁志扬
IPC: B66F3/25
Abstract: 一种滚动支撑千斤顶，包括，底座(4)、位于底座(4)上的可提升轴、位于底座(4)上外螺纹处的升降套筒(6)以及位于可提升轴顶端的顶端滚子。该滚动支撑千斤顶能在零件被支撑的情况下，实现定位。
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公开(公告)号：CN101169976A
公开(公告)日：2008-04-30
申请号：CN200710047235.6
申请日：2007-10-19
Applicant: 上海微电子装备有限公司 , 上海微高精密机械工程有限公司
IPC: G12B5/00
Abstract: 本发明公开了一种高精度调整工装及其调整方法，解决了传统工装定位自由度少和定位灵活度差的问题。所述高精度调整工装包括定位座，悬臂，支撑板，直角连接块，竖直定位移动机构和竖直定位调平机构，水平定位移动机构和水平定位调平机构；所述定位座安装在悬臂上端，所述支撑板安装在悬臂下端，所述竖直定位调平机构安装在支撑板上，所述竖直定位移动机构安装在竖直定位调平机构上，所述水平定位移动机构安装在水平定位调平机构上，所述水平定位调平机构和竖直定位移动机构上分别安装在直角连接块的两个平面上。调整竖直定位移动机构、竖直定位调平机构、水平定位移动机构和水平定位调平机构可实现工装五个自由度高精度的定位。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101082775A
公开(公告)日：2007-12-05
申请号：CN200710043324.3
申请日：2007-06-29
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及一种垂向微调及重力补偿装置，且使用该垂向微调及重力补偿装置的光刻机。本发明的垂向微调及重力补偿装置，包括用于支撑物体的静态重量的重力补偿器，位于重力补偿器上的驱动装置，该驱动装置对被支撑物体进行垂向微调及重力补偿。采用本发明的垂向微调及重力补偿装置能达到精确的位置控制，同时可以实现垂向三自由度方向的微调整和定位。
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公开(公告)号：CN101071275A
公开(公告)日：2007-11-14
申请号：CN200710041769.8
申请日：2007-06-08
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: G03F7/20 , H01L21/027 , B23Q1/25 , B23Q11/00
Abstract: 本发明提供了一种旋转交换的双台系统。现有技术中的双台系统存在结构复杂、成本过高以及双台交换时存有安全隐患的问题。本发明的旋转交换的双台系统，用于一具有主框架且具有两作业位的电子设备中，其包括设置在主框架上的基台、对应该两作业位且对称设置在该基台上的第一及第二作业台、用于驱动基台沿该基台中心转动的基台驱动装置以及用于控制基台驱动装置驱动基台转动以实现第一作业台与第二作业台换位的控制模块。采用本发明的旋转交换的双台系统可提高电子设备的效率并降低成本。
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公开(公告)号：CN103383271B
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201210138025.9
申请日：2012-05-04
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: G01D5/26
Abstract: 本发明提出一种双硅片台交换系统的交换位置测量装置及其测量方法。每个硅片台的交换位置测量装置包括：X向位置测量系统和Y向位置测量系统，其中，X向位置测量系统包括设置在硅片台上的两个X向干涉仪和X向反射镜；上述两个X向干涉仪与X向反射镜结合测量硅片台在X向的位置；Y向位置测量系统包括两个Y向干涉仪和两个Y向反射镜，上述两个Y向干涉仪设置在硅片台上，上述两个Y向反射镜分别与两个Y向干涉仪结合测量硅片台在Y向的位置。本发明的交换位置测量装置结构筒单，避免测量范围受硅片台尺寸的限制，同时受外界各种干扰影响小。
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公开(公告)号：CN103192110B
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201210005097.6
申请日：2012-01-09
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 一种二维钻孔的装置包括：加工单元，控制单元和二维机械手；所述控制单元包括信息输入器、运算器、第一信息输出器和第二信息输出器；所述第一信息输出器与所述加工单元连接；所述第二信息输出器与所述二维机械手连接。所述控制单元包括下述控制方法：在信息输入器中输入信息；在运算器内进行计算；在第一信息输出器输出信号至加工单元；第二信息输出器输出信号至二维机械手。本发明将CNC工件台和加工主轴所需的重复运动里程降低到了最低，同时通过二维机械手在刀具中心库和加工主轴间往返运动，以提供换刀的效率，使得CNC加工中心的加工效率达到最优，实现了针对不同规格的加工孔相互之间的转换和过渡，以及提高复杂零件的加工效率。
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公开(公告)号：CN103967989B
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201310030305.2
申请日：2013-01-25
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: F16F9/02
Abstract: 本发明公开了一种减震装置，包括框体、垂向活塞、水平向活塞以及多个膜片，其中，所述框体的顶部与内部框架连接，所述框体的底部与地基连接，所述垂向活塞设置在所述框体内并通过膜片与所述框体形成第一气腔和第二气腔，所述水平向活塞也设置在所述框体内，并通过所述膜片与框体形成第三气腔和第四气腔。本发明的减震装置，既能够在不增加减振装置高度的情况下，增加减振装置的水平向控制力、控制成本和发热量，又能提高所述减振装置垂向控制力的速度。
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