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公开(公告)号：CN222139244U
公开(公告)日：2024-12-10
申请号：CN202323586985.4
申请日：2023-12-27
Applicant: 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 , 广东欧莱高新材料股份有限公司
Inventor： 李兵
Abstract: 本实用新型公开了一种改进加热控制电路的靶材熔炼装置，控制电路设置有多个控制接口和信号采集接口，通过控制接口控制各发热包的启动/关闭等输出项，通过信号采集接口接收用于监控发热包的工总的断路感应器和用于监控发热包的温度等工况，控制电路设置有分控按键、主控按键以及模拟在自动加热状态下发热包的发热情况并进行断线测试的模拟测试按键。本实用新型控制各发热包自动加热，实时监控每段发热节的温度，并实时监测每个发热包的温度和工作情况，保证均匀加热，提高靶材质量。
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公开(公告)号：CN211624508U
公开(公告)日：2020-10-02
申请号：CN202020062914.1
申请日：2020-01-13
Applicant: 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
Inventor： 郭文明
Abstract: 本实用新型公开了一种用于靶材检漏的快装接头结构，包括有快装端头、检漏接头和环抱式的锁扣装置。快装端头的端部成型设置有限位环一；检漏接头的前端成型设置有用于连接工件接口的工件接合部，检漏接头的后端成型设置有限位环二，限位环二和限位环一相互合拢；锁扣装置包括呈半圆环形的锁板一和锁板二，锁板一和锁板二之间翻转连接，锁板一和锁板二的外端部之间设置有锁接结构，锁板一和锁板二的内侧分别开设有锁紧槽，限位环二和限位环一共同卡嵌于锁板一以及锁板二的锁紧槽内。与现有技术相比，本接头结构通过环抱式的锁扣装置通过卡扣方式对限位环一和限位环二进行快速固定，操作简单，结构稳定，省时省力，且保证了检漏工作顺利进行。
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公开(公告)号：CN211394612U
公开(公告)日：2020-09-01
申请号：CN201922330056.4
申请日：2019-12-23
Applicant: 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
Inventor： 郭文明
IPC: C23C14/34
Abstract: 本实用新型公开了一种平面溅射靶材快速冷却装置，冷却装置包括机架、设置在机架顶部的冷却平台以及至少一个吹风装置，吹风装置固定在冷却平台的下方，吹风装置的吹风方向朝向冷却平台的底部；冷却平台呈镂空设置，冷却平台包括多个托块，各托块分别沿冷却平台的长度方向间隔设置。与现有技术相比，本实用新型提供了一种开放式的冷却平台装置，工件转移方便，缩短了绑定靶材的冷却时间，提高靶材绑定的速率，降低靶材收缩变形的程度，减少靶材校直工序的工作量，进一步提高了企业的生产效率。
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公开(公告)号：CN211388351U
公开(公告)日：2020-09-01
申请号：CN201922268101.8
申请日：2019-12-17
Applicant: 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
Inventor： 郭文明
Abstract: 本实用新型公开了一种用于喷砂设备的TFT平面溅射靶材保护结构，保护结构包括有紧贴于TFT平面溅射靶材的基片的上表面的第一保护层、贴附于基片的侧面的第二保护层以及包裹设置于TFT平面溅射靶材的背板两端部的第三保护层。其中，第一保护层完全覆盖于基片的上表面；第二保护层沿基片的边缘方向闭合设置，第二保护层的底边平齐于背板的绑定面，第二保护层的上边包覆于第一保护层的边缘；在背板的绑定面，两个第三保护层的内侧边与第二保护层的底边包围形成喷砂区。与现有技术相比，该保护结构能够对靶材的溅射区进行柔性保护，使溅射区的表面保持光洁，保持溅射镀膜的成膜质量。
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公开(公告)号：CN211170868U
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN201922477452.X
申请日：2019-12-31
Applicant: 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
Inventor： 汪永熙
IPC: C23C14/35
Abstract: 本实用新型公开了一种磁控溅射设备的绝缘轴承座装置，包括轴承安装座、连接件和基座，轴承安装座设置有安装连接孔，连接件插入安装连接孔与基座连接，轴承安装座和基座之间设置有绝缘连接座，轴承安装座安装于绝缘连接座内，绝缘连接座内设置有螺栓绝缘套，螺栓绝缘套套设于安装连接孔内侧，螺栓绝缘套的中部开设有绝缘通孔，连接件插入绝缘通孔并穿过绝缘连接座与基座连接。本实用新型的绝缘轴承装置，使镀膜基体处于绝缘状态，杜绝电子转移，防止尖端放电情况发生，提高产品合格率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN210952670U
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201922322833.0
申请日：2019-12-23
Applicant: 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
Inventor： 郭文明
Abstract: 本实用新型公开了一种旋转靶检测装置，包括分别安装于旋转靶两端口的检测盖和检测杆，检测盖设置有安装腔，安装腔的形状与旋转靶端口形状相适应，安装腔的内侧设置有内螺纹，旋转靶的端口设置有安装螺纹，内螺纹的形状与安装螺纹形状相适应，检测盖的一端开设有安装通孔，检测杆设置有内杆部和手杆部，手杆部设置在内杆部的两端，内杆部的外侧面与旋转靶的内壁间隙配合，手杆部的外侧形状与安装通孔的内侧形状相适应，检测盖、安装通孔与检测杆同轴配合。本实用新型的旋转靶检测装置，能检测旋转靶的两端端口安装螺纹的同轴度，严格验证靶材形状尺寸的可靠性，降低售后返修率。
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公开(公告)号：CN210796610U
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN201921362149.9
申请日：2019-08-21
Applicant: 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
Inventor： 陈明恒
Abstract: 本实用新型一种用于旋转靶绑定的水冷环装置，包括水循环装置和水冷环，水冷环包括环体，环体内设置有中空的储水腔，储水腔贯穿于整个环体的内侧，环体的底面设置有多个喷水孔，喷水孔连接于储水腔，环体的侧面设置有进水部，进水部为一中空管体，进水部的一端连接于储水腔，进水部的另一端连接水循环装置。本实用新型的水冷环装置能对旋转靶的靶材管进行均匀降温，减短生产时间，提高生产效率。
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公开(公告)号：CN210796609U
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN201921362099.4
申请日：2020-04-13
Applicant: 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
Inventor： 陈明恒
IPC: C23C14/35
Abstract: 本实用新型公开了一种旋转靶绑定工装夹具，底座，用于安装旋转靶的背管的尾盖，底座覆盖背管的尾盖，底座的底面凸出设置有一尾盖安装部，尾盖安装部围护形成一尾盖安装腔，尾盖安装部的外缘设置有尾盖连接通孔，尾盖连接通孔从尾盖的底面贯穿至尾盖的顶面，延长端，用于安装旋转靶的背管的端头，延长端设置有一延长部，延长部的一端设置有一固定连接部，延长部连接于固定连接部，固定连接部与端头连接，固定护套设置有一围护部，围护部的内侧形成一围护空间，延长部安装于围护空间中，围护部与延长部间隙配合，围护部的一侧设置有固定部，固定部安装于支架。本实用新型的工装夹具，保障工作人员和设备的安全。
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公开(公告)号：CN210498373U
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201920801528.7
申请日：2019-05-30
Applicant: 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
Inventor： 李兵
IPC: B22F3/00
Abstract: 本实用新型公开了一种带有集成控制系统的靶材六罐反应釜，包括电控柜及集成控制系统，集成控制系统设置有三相电源输入端口，三相电源输入端口并联有主控电路、搅拌驱动电路、排水驱动电路和加热驱动电路，主控电路包括人机输入界面和PLC控制器，PLC控制器通过多个输出控制接口导通或者切断搅拌驱动电路、排水驱动电路和加热驱动电路，反应釜的搅拌轴电连接于搅拌驱动电路，反应釜的发热管电连接于加热驱动电路，各个反应釜的排液管驱动连接于排水驱动电路。本实用新型能够在一个控制面板上同时设定六个反应釜的运行参数，用户操作更便捷，也便于用户观察设备的整体运行情况、以及便于用户对电控柜内的电子线路定时检测和维修。
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公开(公告)号：CN210359246U
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201920658473.9
申请日：2019-05-08
Applicant: 韶关市欧莱高新材料有限公司 , 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
IPC: B22F3/04
Abstract: 本实用新型提供了一种冷等静压管坯成型的脱模模具，其结构简单可靠，且实用性强；脱模过程无需任何外力挤压，所制得空心管均匀完整，内壁光滑均匀，无任何裂纹及崩边缺陷，可制出均匀的长度为100-4000mm的大尺寸规格空心管坯，无需二次加工修整，模具重复实用效率较高，操作便捷高效，在有效降低生产成本的同时提高了生产效率。
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