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公开(公告)号：CN111595994A
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN202010594202.9
申请日：2020-06-24
Applicant: 中国科学院空天信息创新研究院 , 西安交通大学
Abstract: 一种气体检测仪，包括热导检测器、色谱柱和进样器；进样器，与一载气源相连；所述进样器包括超低温冷凝富集器，用于对待测物进行富集，并将富集后的待测物通过载气的推送注入到色谱柱中；色谱柱，与进样器的后端相连，用于将载气推送来的待测物进行分离；热导检测器，与所述色谱柱的后端相连，用于将分离后的待测物组分进行检测。本发明针对轻质气体检测的需求，提供一种集成化便携式高精度MicroGC-μTCD检测仪，实现对亚ppm级轻质气体高灵敏高精度现场快速检测。
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公开(公告)号：CN108844990B
公开(公告)日：2020-05-22
申请号：CN201810317787.2
申请日：2018-04-10
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N25/20
Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS工艺薄膜应变热导率测试装置及方法，包括在外屏蔽罩下方设有的加热台，在外屏蔽罩内设有载物台，在载物台上设有压电测试装置，在压电测试装置上放置有测试片；在外屏蔽罩内壁设有温度传感器和通气孔；通过压电测试装置的压电驱动部件施加位移，压电测试装置的带动连接片，将位移施加到测试片使得镀有薄膜的测试片上的薄膜产生应变，应变大小为施加位移与应变片的设计大小比值确定。通过控制进给位移来控制薄膜应变的大小，通过向测试电极通入交流电流，通过读取从测试电极采集的3ω谐波的成分的大小并进过推导公式计算得到待测薄膜的热导率。此方法简单，完全满足测量薄膜不同应变下不同温度下的热导率的要求。
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公开(公告)号：CN106841325B
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201710035117.7
申请日：2017-01-18
Applicant: 西安交通大学 , 上海礽芯生物科技有限公司
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明公开了一种基于半导体气敏传感器阵列检测呼出气体装置，包括：呼出气体收集模块、信号发生模块、信号处理模块和模式识别模块；呼出气体通过预热处理和温湿度检测后，进行定量收集；呼出气体与对气体具有选择性的半导体气敏传感器阵列的气体敏感薄膜发生反应，致使阻值变化对应电压信号变化；信号处理模块将电压信号进行放大、滤波等处理后进行模数转换；模式识别模块使用模式识别方法对所采集的数据进行训练和识别。该装置能实现呼出气体的多种敏感气体同步分析，具有体积小、功耗低、准确性高、实时检测等优点,适用于医疗辅助诊断和健康情况监测。
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公开(公告)号：CN110269620A
公开(公告)日：2019-09-24
申请号：CN201910563517.4
申请日：2019-06-26
Applicant: 西安交通大学 , 上海礽芯生物科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种人体肺功能参数与呼气VOCs相结合的检测方法及装置，包括：a.受试者将呼出气体经呼吸气罩和过滤器，将呼出气体中的水分与杂质过滤掉；b.实时监测呼气流速变化，生成呼气流速曲线；c.设备控制器判断呼气过程的前、中或者后期，进行阀门上下通道的启闭，将不相关呼气组分排出室外，将与肺泡交换的相关呼气组分通入气体传感器阵列的气室内部；设备控制器获得电压峰值变化曲线，通过电压峰值变化高度，计算出该呼气中的标志性VOCs气体实际浓度。该装置将肺功能参数与呼气VOCs成分、浓度参数两大参数结合进行预测、将数据用于评估疾病，其准确精度高，便于推广使用。
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公开(公告)号：CN104914153B
公开(公告)日：2018-02-27
申请号：CN201510308855.5
申请日：2015-06-03
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N27/407
Abstract: 本发明公开了一种双层电极式固体电解质CO2气体传感器及制备工艺，所述传感器自下而上包括RuO2加热测温元件，Al2O3基底，下层金薄膜电极，固体电解质薄膜层，上层金薄膜电极，反应电极，制备工艺包括：在Al2O3陶瓷基底上通过丝网印刷的方法制作RuO2加热测温元件，在Al2O3陶瓷基底的另一面通过微机电加工工艺沉积Au金属电极，Li3PO4固体电解质层，并在电解质层和电极的上方印刷反应电极Li2CO3，最终形成固体电解质CO2气敏元件。传感器的Au薄膜电极分为上下两层，在竖直方向上排列，减小了传感器的体积和传感器的散热面积，降低了传感器的功耗。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106841314A
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201710198653.9
申请日：2017-03-29
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种基于纳米TiO2的低功耗微纳气体传感器及制备方法，该传感器自下而上分别为SiO2‑Si3N4掩蔽层、硅基底、SiO2‑Si3N4‑SiO2‑Si3N4复合绝缘层、电极层、敏感材料层。通过布置测温电极，实时测量芯片中心温度。Si基底下通过湿法腐蚀去掉绝大部分Si，形成SiO2‑Si3N4‑SiO2‑Si3N4复合悬膜结构，悬膜之上为按中心对称、螺旋布置的加热电极和敏感电极。敏感材料位于敏感电极之上，在敏感材料区域内依次溅射TiO2薄膜、Ti薄膜，其中TiO2薄膜用于定义后续纳米棒的生长区，热盐酸蒸汽法将Ti源氧化为TiO2纳米棒制备敏感层，使TiO2纳米棒生长在TiO2薄膜上。本发明纳米棒桥接相连，具有极高的比表面积和更好的气体响应特性；优化了悬膜的机械性能，减少热传递，温度精确可控。简化了工序，避免了寄生电场的产生。
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57.发明授权公开(公告)号：CN104132944B
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201410330795.2
申请日：2014-07-11
Applicant: 西安交通大学
Abstract: dscrack。本发明公开了一种检测球面光学元件亚表面损伤程度表征参数的方法，其特征在于，采用磁流变抛光工艺在球形光学元件上加工出一环形截面，腐蚀处理加工后的环形截面，使用激光共聚焦显微镜观察暴露、放大的微裂纹形貌，对微裂纹二维图像进行测量处理和计算，得到重积层在抛光后环形截面上的宽度W、亚表面损伤层在抛光后环形截面上的宽度S、微裂纹的长度AB、密度及微裂纹与亚表面损伤层外径的夹角θ；通过已知的球面光学元件的曲率半径R，以及所得
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公开(公告)号：CN103675048B
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201310586102.1
申请日：2013-11-18
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS的金属氧化物气体传感器及制备工艺，其特征在于，气体传感器由Si基底、绝缘层、两个薄膜电阻加热元件、矩形微阵列、一对敏感电极及生长在矩形微阵列上的金属氧化物三维多级纳米结构组成。Si基底下部被各向异性湿法刻蚀去掉部分Si。在正面，加热元件与敏感电极按中心对称、螺旋形式布置，矩形微阵列居中心位置，三者处同一层。加热元件兼做测温元件。采用水热法合成的纳米结构通过相互交叉的枝状结构实现桥式电学连接，最终与敏感电极相连，通过改变矩形微阵列排列方式、更换不同种类的纳米材料，可加工出不同测量通路、基于不同种类敏感物质的金属氧化物纳米气体传感器。
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公开(公告)号：CN102798651B
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201210282918.0
申请日：2012-08-09
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N27/30
Abstract: 本发明公开了一种共参比电极温控式CO2-SOx集成气体传感器及其制备方法，所述传感器自下而上分别为氧化铝基底，加热元件与测温元件，绝缘层，固体电解质薄膜层，Au齿状薄膜电极，CO2、SOx反应电极和共参比电极。制备方法包括：在Al2O3基底上的采用印刷烧结工艺制备Pt或RuO2加热和测温元件；在厚膜微加热元件结构上，通过沉积工艺得到固体电解质薄膜、Au齿状电极、CO2反应电极和SOx反应电极、公共参比电极，以电化学反应方式形成薄厚膜工艺结合的CO2-SOx气敏元件。通过测温元件的反馈组成闭环温度控制系统，使传感器的温度达到各反应电极工作所需的温度，并保持恒定，保证了CO2-SOx气体传感器的最佳工作性能。
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