-
公开(公告)号：CN105570576A
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201510702996.5
申请日：2015-10-26
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16L23/032
CPC classification number: F16L23/032
Abstract: 接头部件(2、3)由内周形成为通路的圆筒状套管(11)和作为与其分开的另外部件的法兰(12)构成。在设置在法兰(12)中央部的贯通孔(12a)中插入套管(11)的一端部。在法兰(12)上设置有从法兰(12)的侧面通向贯通孔(12a)外周的切口(17)。
-
公开(公告)号：CN110998802B
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN201880052011.0
申请日：2018-07-31
Applicant: 株式会社富士金 , 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/304 , H01L21/027
Abstract: 提供一种能够稳定地供给超临界流体的流体供给装置和流体供给方法。该流体供给装置是用于朝向处理室(500)供给向超临界流体变化之前的液态的流体的流体供给装置(1)，其具有：冷凝器(130)，其用于使气态的二氧化碳冷凝液化；贮存器(140)，其用于贮存利用冷凝器(130)冷凝液化而成的流体；泵(150)，其用于朝向处理室(500)加压输送被贮存于贮存器(140)的液化而成的二氧化碳；以及阻尼部(10)，其设于与泵(150)的喷出侧连通的流路(2)，用于抑制自泵(150)喷出的液体的周期性的压力变动，阻尼部(10)具有螺旋管(20)，该螺旋管(20)的两端部固定于预定的位置，并且该螺旋管(20)形成为供自泵(150)喷出的液体流通的螺旋状。
-
公开(公告)号：CN110998803B
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN201880052631.4
申请日：2018-07-31
Applicant: 株式会社富士金 , 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/304 , H01L21/027 , H01L21/67 , B01J4/00 , B05B12/00 , B05C11/10 , B05D3/00
Abstract: 提供一种能够防止因设置在主配管的各种设备发生冻结而产生故障的流体供给装置和适合该装置的液体排出方法。该流体供给装置具有：冷凝器(130)；贮存器(140)，其用于贮存流体；泵(160)，其用于朝向处理室(500)加压输送流体；主配管(2)，其连结贮存器(140)与泵(160)，用于利用在贮存器(140)贮存的液体的自重向泵(160)输送该液体；以及排出用配管(5)，其一端与主配管(2)在该主配管(2)的最低位置MB连接，另一端部向大气开放，该排出用配管(5)用于使贮存器(140)和主配管(2)内的液体气化并向外部排出，排出用配管(5)形成为：在贮存器(140)和主配管(2)内的液体全部排出后，在排出用配管(5)内暂时地产生将排出用配管(5)的大气侧的空间和主配管(2)侧的空间隔开的积液。
-
公开(公告)号：CN111278605B
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN201880070256.6
申请日：2018-10-23
Applicant: 株式会社富士金 , 笹田磁气计测研究所株式会社
IPC: B25B23/142 , G01L5/24
Abstract: 提供一种作业性、操作性优异并且能够进行精密的紧固扭矩管理的手动工具。该手动工具具有：手柄(10)，其具有装卸自如地保持刀头的刀头保持部(12)；以及磁致伸缩式的扭矩传感器(30)，其具有接收保持到刀头保持部(12)的刀头(20)并且将该刀头(20)的外周包围的检测部(33)，该磁致伸缩式的扭矩传感器能够以非接触的方式对作用于刀头(20)的扭矩进行检测并且装卸自如地设于手柄(10)。扭矩传感器(30)能够构成为，形成为在刀头(20)安装到手柄(10)的刀头保持部(12)的状态下能够安装于手柄(10)。
-
公开(公告)号：CN110352340B
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN201880015080.4
申请日：2018-03-13
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明能够收集并分析能预测流体控制设备的异常的原因或异常的数据，并且基于分析结果来预测异常。流体控制设备(8)和服务器(72)构成为能够经由网络(NW1、2)进行通信，流体控制设备(8)具有获取多个种类的流体控制设备(8)的动作信息的动作信息获取机构，服务器(72)具有：判别流体控制设备(8)的异常的判别处理部(721)；收集流体控制设备(1)的动作信息和异常判别结果的信息收集部(724)；存储收集到的动作信息和判别结果的信息存储单元(725)；参照信息存储部(725)，并针对每个流体控制设备(1)选择性地提取使给定的动作信息相同的其他动作信息和判别结果涉及的信息来作为分析对象的信息提取部(726)；以及通过对比提取到的信息，对流体控制设备(8)的给定的动作与异常发生的相关关系进行分析的相关关系分析部(727)。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113366251A
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202080011998.9
申请日：2020-01-21
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 提供一种流路组件，其组装有节流件、过滤件等功能部件，其中，功能部件与流路部件之间被长期可靠地密封。第1流路构件(51)具有对环状密封构件(54)的中心轴线(Ct)方向上的一端面进行支承的第1密封面(51f)，所述第2流路构件具有对板状构件的表面进行支承的由平坦面形成的第2密封面、以及对环状密封构件的外周面进行支承的第3密封面，对于环状密封构件，该环状密封构件的另一端面被按压于板状构件的背面，该环状密封构件的一端面被按压于第1流路构件的第1密封面，该环状密封构件的外周面被按压于第2流路构件的第3密封面，板状构件被环状密封构件的另一端面按压而该板状构件的表面被按压于第2流路构件的第2密封面。
-
公开(公告)号：CN112955685A
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN201980070752.6
申请日：2019-10-21
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K27/00
Abstract: 提供一种具有更适合于小型化、集成化的构造的用于半导体制造工艺等的阀装置。该阀装置具有：阀体(3)，其收纳于截面形状为圆形的收纳凹部(35)，并且在底面形成有第1端口(3p1)和第2端口(3p2)；以及阀盖螺母(20)，其外螺纹部(20a)与形成于收纳凹部(35)的内周的内螺纹部(35s)螺纹结合，由此，将阀体(3)朝向收纳凹部(35)的底部按压，并且将该阀体(3)固定于流路块(30)，阀体(3)具有外周面部(3f)，该外周面部(3f)嵌入流路块(30)的收纳凹部(35)的内周面部(35a)，在外周面部(3f)形成有定位用的凸部(3a)，该凸部(3a)规定阀体(3)相对于流路块(30)的绕轴线(Ct)的旋转位置。
-
公开(公告)号：CN109791099B
公开(公告)日：2021-06-08
申请号：CN201780032276.X
申请日：2017-09-27
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G01N9/26
Abstract: 本发明提供一种浓度检测方法，为检测混合气体中所包含的规定气体的浓度的方法，包含：在具备节流部、设置于节流部的上游侧的上游阀以及测量节流部与上游阀之间的压力的压力传感器的压力式流量控制装置中，在节流部的下游侧的压力比节流部的上游侧的压力低的状态下使混合气体从上游阀的上游侧流动的工序；通过压力传感器检测使上游阀从打开变化为关闭之后产生的压力下降特性的工序；以及基于压力下降特性检测混合气体中的规定气体的浓度的工序。
-
公开(公告)号：CN109952459B
公开(公告)日：2021-02-26
申请号：CN201780069196.1
申请日：2017-11-02
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K31/02 , F16K31/122
Abstract: 提供一种流量调整用工时被大幅度地削减了的阀装置。具有：阀体(10)，其划分出流路(12)；阀芯(20)，其被设为能够开闭阀体的流路(12)；操作构件(40)，其用于操作阀芯，被设为能够在使阀芯(20)开闭流路(12)的开闭方向(A1、A2)上在预先设定的使阀芯(20)关闭流路的关闭位置(CP)与使阀芯(20)打开流路(12)的打开位置(OP)之间移动；主致动器(60)，其用于使操作构件(40)向打开方向(A1)移动；以及压电致动器(100)，其用于调整被定位于打开位置(OP)的操作构件(40)的位置。
-
公开(公告)号：CN110023659B
公开(公告)日：2021-01-29
申请号：CN201780073803.1
申请日：2017-11-02
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K1/00 , F16K7/14 , F16K31/122 , H01L21/205 , F16K31/02
Abstract: 提供一种流量控制范围较大且通用性得到提高的阀装置。具有：阀体(10)，其划分出流路(12、13)；隔板(20)，其以能够开闭流路(12、13)的方式设于阀体(10)；操作构件(40)，其用于操作隔板(20)，被设为能够在使流路(12、13)开闭的开闭方向(A1、A2)上移动；主致动器(60)，其赋予操作构件(40)以与沿着开闭方向的打开方向(A1)或关闭方向赋予的操作压力相对应的驱动力；切换机构，其能够根据操作压力的大小选择将限定流路的开度的操作构件(40)的位置切换至彼此不同的第1打开位置(P1)或第2打开位置(P2)；以及调节机构(70、80)，其能够分别独立地调节第1打开位置(P1)和第2打开位置(P2)。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
74
records
(took 0.025 seconds)
