公开(公告)号：CN203305049U

公开(公告)日：2013-11-27

申请号：CN201320262515.X

申请日：2013-05-14

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 石井游 ,  伊藤贤也 ,  高桥正三 ,  铃木美加

IPC: B24B37/22 ,  B24B37/00 ,  B24B37/24

CPC classification number: B24B37/005 ,  B24B37/042 ,  B24B37/10 ,  B24B37/24 ,  B24B37/30

Abstract: 本实用新型涉及一种研磨工件用研磨垫及化学机械研磨装置。一种研磨垫，能对具有由平面和曲面组合而成的表面形状的工件实施镜面加工。研磨垫(3)安装在可旋转的研磨台(4)上。工件(W)保持在托架(1)上，并被按压在研磨垫(3)上。研磨垫(3)具有：具有用于研磨工件(W)的研磨面的弹性垫(31)；支承弹性垫(31)的变形自如的基层(32)；以及将弹性垫(31)与基层(32)接合的粘接层(33)。

公开(公告)号：CN303635152S

公开(公告)日：2016-04-06

申请号：CN201530452555.5

申请日：2015-11-13

Applicant: 株式会社荏原制作所

Designer： 石井游 ,  伊藤贤也 ,  上田浩彦

Abstract: 1.本外观设计产品的名称为研磨装置用垫保持器。2.本外观设计产品例如如使用状态参考图所示，用于在化学机械研磨（CMP）装置中，在周侧面槽中安装研磨垫，固定在研磨工作台上而旋转，使研磨垫与工件（被研磨物）的侧面接触而使用。3.本外观设计产品的设计要点在于产品的形状。4.指定立体图1为最能表明设计要点的视图。

公开(公告)号：CN303635151S

公开(公告)日：2016-04-06

申请号：CN201530452450.X

申请日：2015-11-13

Applicant: 株式会社荏原制作所

Designer： 石井游 ,  伊藤贤也 ,  上田浩彦

Abstract: 1.本外观设计产品的名称为研磨装置用工件保持器。2.本外观设计产品例如如使用状态参考图所示，用于在化学机械研磨（CMP）装置中，夹入工件（被研磨物）并安装在伺服马达上，使旋转的研磨工作台上的研磨垫的研磨面与工件的侧面接触而使用。3.本外观设计产品的设计要点在于产品的形状。4.指定立体图1为最能表明设计要点的视图。5.由于本外观设计产品的后视图与主视图对称，所以省略后视图。