公开(公告)号：CN103419123B

公开(公告)日：2018-02-09

申请号：CN201310179100.0

申请日：2013-05-14

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 石井游 ,  伊藤贤也 ,  高桥正三 ,  铃木美加

IPC: B24B37/22 ,  B24B37/24 ,  B24B37/34 ,  B24B37/04

CPC classification number: B24B37/005 ,  B24B37/042 ,  B24B37/10 ,  B24B37/24 ,  B24B37/30

Abstract: 一种研磨垫，能对具有由平面和曲面组合而成的表面形状的工件实施镜面加工。研磨垫(3)安装在可旋转的研磨台(4)上。工件(W)保持在托架(1)上，并被按压在研磨垫(3)上。研磨垫(3)具有：具有用于研磨工件(W)的研磨面的弹性垫(31)；支承弹性垫(31)的变形自如的基层(32)；以及将弹性垫(31)与基层(32)接合的粘接层(33)。

公开(公告)号：CN103419123A

公开(公告)日：2013-12-04

申请号：CN201310179100.0

申请日：2013-05-14

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 石井游 ,  伊藤贤也 ,  高桥正三 ,  铃木美加

IPC: B24B37/22 ,  B24B37/24 ,  B24B37/34 ,  B24B37/04

CPC classification number: B24B37/005 ,  B24B37/042 ,  B24B37/10 ,  B24B37/24 ,  B24B37/30

Abstract: 一种研磨垫，能对具有由平面和曲面组合而成的表面形状的工件实施镜面加工。研磨垫(3)安装在可旋转的研磨台(4)上。工件(W)保持在托架(1)上，并被按压在研磨垫(3)上。研磨垫(3)具有：具有用于研磨工件(W)的研磨面的弹性垫(31)；支承弹性垫(31)的变形自如的基层(32)；以及将弹性垫(31)与基层(32)接合的粘接层(33)。

公开(公告)号：CN203305049U

公开(公告)日：2013-11-27

申请号：CN201320262515.X

申请日：2013-05-14

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 石井游 ,  伊藤贤也 ,  高桥正三 ,  铃木美加

IPC: B24B37/22 ,  B24B37/00 ,  B24B37/24

CPC classification number: B24B37/005 ,  B24B37/042 ,  B24B37/10 ,  B24B37/24 ,  B24B37/30

Abstract: 本实用新型涉及一种研磨工件用研磨垫及化学机械研磨装置。一种研磨垫，能对具有由平面和曲面组合而成的表面形状的工件实施镜面加工。研磨垫(3)安装在可旋转的研磨台(4)上。工件(W)保持在托架(1)上，并被按压在研磨垫(3)上。研磨垫(3)具有：具有用于研磨工件(W)的研磨面的弹性垫(31)；支承弹性垫(31)的变形自如的基层(32)；以及将弹性垫(31)与基层(32)接合的粘接层(33)。