扩束组件及具有该扩束组件的激光加工设备

    公开(公告)号:CN106199983A

    公开(公告)日:2016-12-07

    申请号:CN201610726567.6

    申请日:2016-08-25

    CPC classification number: G02B27/0955 B23K26/067 G02B7/021 G02B7/023

    Abstract: 本发明涉及一种扩束组件及具有该扩束组件的激光加工设备。上述的扩束组件包括沿入射光束的传输方向依次设置的第一透镜、第二透镜以及第三透镜,第一透镜与第二透镜能够相对移动,第一透镜与第三透镜能够相对移动,且第二透镜与第三透镜相对静止;第一透镜为双凹型负透镜,第二透镜为弯月型负透镜,第三透镜为双凸型正透镜。上述的扩束组件及具有该扩束组件的激光加工设备,使用时可以调节第一透镜与第二透镜之间的距离,及调节第一透镜与第三透镜之间的距离,以实现不同波长的入射光束的等倍率扩束;也可以应用到不同波长的入射光束的高功率的激光器中,所以上述的扩束组件的适应性强,应用范围较广。

    大视场消色差镜头
    52.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105474065A

    公开(公告)日:2016-04-06

    申请号:CN201380078972.6

    申请日:2013-08-22

    Abstract: 一种大视场消色差镜头,包括沿入射光线的传输方向依次排列的第一透镜(110)、第二透镜(120)、第三透镜(130)、第四透镜(140)、第五透镜(150)和第六透镜(160)。第一透镜为弯月透镜,包括第一曲面(111)和第二曲面(112);第二透镜为弯月透镜,包括第三曲面(121)和第四曲面(122);第三透镜为双凸透镜,包括第五曲面(131)和第六曲面(132);第四透镜为双凸透镜,包括第七曲面(141)和第八曲面(142);第五透镜为双凹透镜,包括第九曲面(151)和第十曲面(152);第六透镜为平面透镜,起保护其他透镜的作用。第一透镜至第五透镜沿入射光线的传输方向同轴设置。第一曲面至第十曲面沿入射光线的传输方向依次排布。该大视场消色差镜头可作为精细光刻镜头用于激光打标等各种精细加工镜头。

    一种紫外激光变倍扩束系统及激光加工设备

    公开(公告)号:CN103576317B

    公开(公告)日:2015-10-14

    申请号:CN201210248607.2

    申请日:2012-07-18

    CPC classification number: G02B27/0955 G02B15/14 G02B19/0014 G02B19/0095

    Abstract: 本发明适用于激光加工领域,提供了一种紫外激光变倍扩束系统,包括第一、二、三透镜;第一、三透镜为平凸正透镜,第二透镜为凸凹负透镜;第一、二、三透镜分别包括第一、二曲面,第三、四曲面及第五、六曲面;第一至六曲面的曲率半径为∞,-30,10,2.2,∞,-81;第一至三透镜的中心厚度为2,1,4;第一第三透镜的外径为10,3,34;第一至三透镜的折射率与阿贝数的比例为1.57:41,1.48:68,1.57:41;第二、三曲面的间距为6~37;第四、五曲面的间距为114~125,单位mm,公差为5%。该系统可将入射光扩束2~16倍,可适应不同出射直径及发散角的激光器,提高了激光加工的效率及精度。

    一种用于激光加工的远心镜头、激光加工装置及加工方法

    公开(公告)号:CN109507789B

    公开(公告)日:2021-04-02

    申请号:CN201811623627.7

    申请日:2018-12-28

    Abstract: 本发明适用于激光加工技术领域,公开了一种用于激光加工的远心镜头、激光加工装置及加工方法。远心镜头包括从物方到像方设置的第一透镜至第五透镜,第一透镜至第五透镜包括第一曲面至第十曲面,其中:第一曲面至第十曲面的曲率半径依次分别为‑57mm、131.75mm、‑18mm、‑22.5mm、‑187.5mm、‑49.5mm、133.5mm、‑181mm、101.5mm、∞,且第一曲面至第十曲面的曲率半径允许公差均为10%,上偏差为+5%,下偏差为‑5%。方法步骤包括:入射光线通过孔径光阑后一次经过第一透镜至第五透镜并到达像方,且并平行于光轴。本发明所提供的一种用于激光加工的远心镜头、激光加工装置及加工方法,其确保加工出来的孔可垂直于平面,并且有效地校正了像散和畸变,提高了加工精度。

    远心镜头和激光加工设备
    55.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112292627A

    公开(公告)日:2021-01-29

    申请号:CN201880094741.7

    申请日:2018-07-11

    Abstract: 一种用于紫外激光的远心镜头,包括沿光线的入射方向依次排列的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜和第五透镜,第一透镜为双凹负透镜,第二透镜为弯月负透镜,第三透镜为弯月正透镜,第四透镜为平凸正透镜,第五透镜为平凸正透镜,远心镜头的焦距为254mm,允许公差为10%,上偏差为+5%,下偏差为‑5%,视场角为42°。

    用于无人飞机的侦察物镜
    56.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106575028B

    公开(公告)日:2019-05-10

    申请号:CN201480078450.0

    申请日:2014-09-05

    Abstract: 一种用于无人飞机的侦察物镜,包括沿入射光线的传输方向依次共轴设置的第一透镜(L1)、第二透镜(L2)、第三透镜(L3)、第四透镜(L4)、第五透镜(L5);其中所述第一透镜(L1)为双凸透镜,所述第二透镜(L2)为双凹透镜,所述第三透镜(L3)为弯月透镜,所述第四透镜(L4)为弯月透镜,所述第五透镜(L5)为弯月透镜;其中所述第一透镜(L1)和所述第二透镜(L2)相互胶合,所述第四透镜(L4)和所述第五透镜(L5)相互胶合。上述用于无人飞机的侦察物镜通过利用正、负光焦度的第一至第五透镜(L1‑L5)的合理配置,有效解决了目前无人飞机的侦察物镜难以实现大视场、高分辨率和低畸变的技术难题。

    透镜组及激光加工设备
    57.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108873257A

    公开(公告)日:2018-11-23

    申请号:CN201810757556.3

    申请日:2018-07-11

    CPC classification number: G02B13/0015 G02B26/08 G02B26/10 G02B27/0025

    Abstract: 本发明涉及一种透镜组及激光加工设备,该透镜组包括沿入射光线的传输方向依次共轴排列的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜和第五透镜,第一透镜为双凹负透镜,第二透镜为平凸正透镜,第三透镜为弯月负透镜,第四透镜为弯月正透镜,第五透镜为双凸正透镜;第一透镜与第二透镜能够沿光轴相对运动,第一透镜包括第一曲面和第二曲面,第二透镜包括第三曲面和第四曲面,当第一透镜与第二透镜沿光轴相对运动时,第二曲面与第三曲面在光轴上的间距范围为60mm‑70mm。本发明的透镜组及激光加工设备,该透镜组通过第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜和第五透镜的形状及相对位置的设计,有效矫正了像散和畸变,且激光能量集中度高,以提高成像质量。

    F-θ型光刻镜头
    58.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106471413A

    公开(公告)日:2017-03-01

    申请号:CN201480080209.1

    申请日:2014-11-28

    CPC classification number: G02B13/0005 B23K26/0648 B23K26/359 G02B13/0035

    Abstract: 一种F-θ型光刻镜头,包括沿入射光线的传输方向共轴设置的第一透镜(L1)、第二透镜(L2)、第三透镜(L3)和第四透镜(L4);其中第一透镜(L1)为弯月透镜,第二透镜(L2)为弯月透镜,第三透镜(L3)为平凸透镜,第四透镜(L4)为平面透镜;第一透镜(L1)包括第一面(S1)和第二面(S2),第二透镜(L2)包括第三面(S3)和第四面(S4),第三透镜(L3)包括第五面(S5)和第六面(S6),第四透镜(L4)包括第七面(S7)和第八面(S8);第一面(S1)至第八面(S8)沿入射光线的传输方向依次排布;第一面(S1)至第八面(S8)的曲率半径依次为:-29mm,-88mm,-56mm,-36mm,∞,-116mm,∞,∞;第一透镜(L1)至第四透镜(L4)的中心厚度(d1、d2、d3、d4)依次为:3mm,6mm,6mm,3mm。

    光学镜头
    59.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106461917A

    公开(公告)日:2017-02-22

    申请号:CN201480078603.1

    申请日:2014-08-29

    CPC classification number: G02B13/14 G02B13/146

    Abstract: 一种光学镜头,包括沿入射光线的传输方向依次共光轴排列的第一透镜(L1)、第二透镜(L2)、第三透镜(L3)、第四透镜(L4)和第五透镜(L5),第一透镜(L1)和第五透镜(L5)均为弯月型负透镜,第二透镜(L2)和第三透镜(L3)均为弯月型正透镜,第四透镜(L4)为双凸型透镜。上述光学镜头应用至激光加工设备的光学系统中,当采用的加工波长与监控波长不同时,可消除在监控系统中的成像色差,特别是对于采用远红外区的波长作为激光加工的波长,而采用红光波长作为监控波长时,在监控系统中具有更好的成像效果,可保证激光加工质量。

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