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公开(公告)号:CN102674335A
公开(公告)日:2012-09-19
申请号:CN201210164314.6
申请日:2012-05-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C01B31/04
Abstract: 一种基于自由基反应低温制备石墨烯的方法,涉及一种石墨烯薄膜的制备方法。为了解决现有化学气相沉积技术制备石墨烯存在反应温度高、成本高、产率低、耗时长、要求实验条件苛刻的问题,本发明的操作步骤如下:一、选择合适的碳源;二、处理催化基底表面;三、制备石墨烯薄膜;四、转移石墨烯至所需基底。本发明将固体碳源引入化学气相沉积法(CVD)技术制备石墨烯薄膜的过程中,以碳源为碳源,在铜基底上制备出单层均一的石墨烯薄膜。该方法改进了化学气相沉积法(CVD)制备石墨烯技术,提高了制备的石墨烯薄膜的产率与质量。
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公开(公告)号:CN115948798B
公开(公告)日:2025-04-04
申请号:CN202211424792.6
申请日:2022-11-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种晶圆级单晶石墨烯异质结及其直接生长方法,属于二维材料异质结制备技术领域。本发明解决了现有晶圆级单晶石墨烯/六方氮化硼/石墨烯异质结薄膜制备困难的问题。本发明采用化学气相沉积法,在单晶金属催化剂表面,先生长六方氮化硼,然后在其上表面和下表面分别生长石墨烯,形成单晶石墨烯/六方氮化硼/石墨烯异质结薄膜,且生长的六方氮化硼和石墨烯均为单晶结构,且层数从单层到多层均可以控制,石墨烯异质结尺寸由金属催化剂的尺寸决定,可达晶圆级。
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公开(公告)号:CN119533751A
公开(公告)日:2025-02-28
申请号:CN202411710150.1
申请日:2024-11-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01L9/08 , H10N30/30 , H10N30/85 , H10N30/082 , H10N30/081 , H10N30/06 , H10N30/80 , H10N30/87
Abstract: 本发明公开了一种基于In2Se3/InSe垂直异质结的压电型气压传感器及其制备方法与应用,属于传感仪器构建技术领域。本发明以In2Se3/InSe垂直异质结薄膜作为气压敏感层制备了压电型气压传感器,气压带来的应力变化将改变In2Se3/InSe垂直异质结的能带结构,从而产生压电电压。这一变化可以通过电荷放大器检测其电压变化来进行监测,从而实现对微小气压变化的高灵敏度响应。本发明的压电型气压传感器体积小、灵敏度高,为高精度气压检测提供了一种简单、灵敏且稳定的设备及检测方法。
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公开(公告)号:CN114720026B
公开(公告)日:2024-09-13
申请号:CN202210348121.X
申请日:2022-03-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种基于梯度复合一体化结构的宽线性响应范围的力触觉传感器及其制备方法。本发明传感器由两个柔性衬底/电极分别层压至梯度复合一体化结构复合导电薄膜的上、下方构成。该传感器通过接触电阻响应机制增强导电通路响应机制的方式有效解决了目前触觉传感器无法在大响应范围内保持高灵敏度和线性的问题,实现了宽响应范围、高灵敏度及线性触觉传感器的制备。该传感器的发明将有效解决现阶段智能机器人无法实现多场景精准感知及电路复杂的问题,为实现轻型化、便利化人工智能设备提供有利条件。
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公开(公告)号:CN117597010B
公开(公告)日:2024-08-27
申请号:CN202311373036.X
申请日:2023-10-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H10N30/87 , H10N30/853 , H10N30/097 , G01D5/48
Abstract: 本发明提出了一种超声驱动液态金属作为导电材料的柔性超声传感器制备方法,首先使用超声泵入的方式在预埋铜线的流入道内泵入液态金属;在真空氛围中,通过装夹装置使得经过氧气等离子体处理的封装薄膜缓慢降落于之前得到的材料;再将得到的材料和液态金属电极底板夹住压电有机聚合物,并通过定位板使得压电有机聚合物位于中心位置,再将柔性封装层于真空氛围下粘贴在整体器件下方;最后在缓慢升温后使用600‑720瓦的功率超声对上下两层液态金属电极完成烧结,以确保其电气连通性,完成柔性超声传感器的制备。
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公开(公告)号:CN118332873A
公开(公告)日:2024-07-12
申请号:CN202410592120.9
申请日:2024-05-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06F30/23 , G16C20/30 , G06F119/14
Abstract: 本发明涉及半导体集成电路制造领域,更具体的说是一种应力作用下的异质结隧穿电流模拟研究方法,步骤S1:基于COMSOL仿真软件建立异质结薄膜复杂应力状态下的模型,仿真获取异质结薄膜内应力、应变信息;步骤S2:在Materials Studio软件中建立隧穿异质结多层晶体模型,调用CASTEP模块基于第一性原理对晶体模型进行几何优化;步骤S3:将COMSOL仿真软件获取的异质结薄膜内应力分布信息带入CASTEP模块中进行能带结构计算;步骤S4:获得隧穿势垒高度的数值大小,从而获取隧穿电流的改变。本发明将多种模拟计算方法结合,依次进行宏观力学分析和微观电子状态分析,解决了在复杂宏观应力状态下,现有方法无法实现异质结隧穿电流跨尺度模拟研究的技术难题。
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公开(公告)号:CN118067804A
公开(公告)日:2024-05-24
申请号:CN202410157025.6
申请日:2024-02-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明公开了一种适用于低温无氧环境下的二氧化氮传感器,属于特殊环境下痕量气体检测技术领域。本发明解决了现有二氧化氮传感器无法针对低温无氧环境下痕量二氧化氮气体高精度检测的问题。本发明提供的二氧化氮传感器包括底栅极、介电层和电极,介电层位于底栅极上且表面修饰有敏感材料,电极印刷在介电层上,敏感材料为IV‑VI族二维半导体化合物。利用敏感材料与其吸附的二氧化氮分子具有的相对能带位置差异,形成电荷掺杂,从而发生电荷转移改变敏感材料的电导率,该过程不依赖氧气的存在,且环境对该过程影响较小,可以应用于特殊环境下,如月壤挥发组分探测,土壤微生物反硝化过程研究,海洋生态系统研究等场景中的二氧化氮检测。
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公开(公告)号:CN117322917A
公开(公告)日:2024-01-02
申请号:CN202311357253.X
申请日:2023-10-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种可探测浅表层器官结节的柔性传感装置及其分析方法与系统,属于柔性传感器与生物医疗技术领域,解决现有超声检查操作依赖于昂贵的设备并需医生辅助下诊断、硬质超声传感器无法应用于复杂表面、不便于长期佩戴、以及现有的柔性传感器易受外界因素影响的问题。所述柔可探测浅表层器官结节的分析方法包括:在被测部位表面选取基准点建立笛卡尔坐标系;扫描被测部位,得到平面二维结果图形;对所述平面二维结果图形进行去噪声,得到三维图像数据;采用细化差值法在被测部位的临近截面空间体进行极细化补充;对所述三维图像数据的灰度信息进行重排滤波和赋值,识别获得轮廓数据;进行机械学习,得到分析结果。本发明适用于浅表层器官结节探测场景。
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公开(公告)号:CN115683440B
公开(公告)日:2023-11-03
申请号:CN202211444804.1
申请日:2022-11-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01L9/00
Abstract: 本发明是一种高分辨力石墨烯异质结气压传感器。本发明涉及压力传感器设计技术领域,本发明利用石墨烯/六方氮化硼/石墨烯(G/h‑BN/G)垂直异质结薄膜作为承压隔膜,传感器衬底上具有微纳米级阵列化凹腔结构,在气压的作用下,可使G/h‑BN/G薄膜产生局域化内应力,G/h‑BN/G薄膜局域化内应力将改变垂直异质结薄膜的能带结构,使上下两层石墨烯之间的隧道电流产生变化,从而反映外部气压的变化。所述的石墨烯异质结气压传感器的原理是基于隧道效应的。所述的传石墨烯异质结气压感器隧道电流对异质结所受的内应力极度敏感,因此,可以实现传感器对气压高分辨力的检测。
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公开(公告)号:CN116219550B
公开(公告)日:2023-10-03
申请号:CN202310413511.5
申请日:2023-04-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及硒氧化铋薄膜制备领域,更具体的说是一种水热生长硒氧化铋薄膜的方法,使用水热法制备二维Bi2O2Se,步骤一:将铋盐溶于加入氢氧化钠的水溶液中,加入硝酸钾和硝酸锂形成溶液A,步骤二:在氢氧化钠溶液中加入水合肼,将硒粉溶于其中后形成溶液B,步骤三:将溶液A和溶液B进行混合,转移至聚四氟乙烯内衬中,步骤四:将准备好的衬底放入装有A和B混合溶液的内衬中,装入反应釜;步骤五:将反应釜放入烘箱,调节温度与时间,步骤六:反应完成后,取出衬底,使用乙醇、去离子水洗涤,氩气吹干,可以使用简单方法,绿色安全的批量生产Bi2O2Se。
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