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公开(公告)号：CN117594435A
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202311841591.0
申请日：2023-12-28
IPC: H01L21/3065 , H01L21/308 , H01L21/311 , H01L21/027 , H01L21/02
Abstract: 本发明提供一种微米双内凹结构表面的制造方法、超疏油材料，属于功能性材料技术领域，制造方法包括：在半导体材料的表面设置光刻胶层；使预设微图案转移至光刻胶层上，得到光刻胶掩模板；对二氧化硅层进行第二刻蚀，在二氧化硅层上与预设微图案对应位置形成第一圆柱孔阵列；对硅层进行第三刻蚀，在硅层中形成第二圆柱孔，去除光刻胶掩膜板；形成沉积二氧化硅层，去除位于第二圆柱孔底部的沉积二氧化硅层；采用Bosch工艺，对第二圆柱孔中的硅进行各向异性刻蚀；继续对第二圆柱孔中硅层进行各向同性刻蚀，形成了微米双内凹结构表面。本发明能够增大结构表面的突破压和三相界面稳固性，实现对低表面张力液体的稳固超排斥。
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公开(公告)号：CN114260351B
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202111587533.0
申请日：2021-12-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及一种大面积阵列微结构跨尺度模压成形装置和方法，其中，所述模压成形装置包括上模座和下模座，所述上模座与所述下模座之间设有阵列微结构模压成形组件，所述阵列微结构模压成形组件包括垂直排气通道，所述上模座内设有水平强制排气通道，所述水平强制排气通道的中部位置底部均布有若干上模座排气孔，所述垂直排气通道与若干所述上模座排气孔相连通。本发明通过设置带有垂直排气通道的阵列微结构模压成形组件和带有水平强制排气通道的上模座，可确保排出模压成形时卡在分块凸模内的气体，有效解决大面级多尺度阵列微结构在模压成形过程中难以填充坯料以及排气困难的技术问题，可实现大面积多尺度阵列微结构的低成本批量生产。
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公开(公告)号：CN116288311A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310291543.2
申请日：2023-03-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种蒸汽腔毛细芯及其制备方法，所述制备方法包括：取金属基板，在所述金属基板上制备金属氧化物纳米结构层；将覆盖有所述金属氧化物纳米结构层的所述金属基板、多巴胺和反应促进剂置于溶剂中形成聚合反应体系，反应预设时间，以在所述金属氧化物纳米结构层表面形成聚多巴胺层；将覆盖有所述金属氧化物纳米结构层和所述聚多巴胺层的所述金属基板进行最终加热处理，得到蒸汽腔毛细芯。与现有技术相比，本发明制备的蒸汽腔毛细芯具有更加优异的相变传热性能。
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公开(公告)号：CN115275223A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202210859038.9
申请日：2022-07-21
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供一种金属双极板电磁预成形‑模压复合成形方法及装置，所述方法包括：将金属料板放置于凹模上方，将所述凹模移动至放电线圈下方，将所述放电线圈贴近所述凹模，对所述放电线圈进行放电，使所述金属料板电磁预成形，得到电磁预成形料板，其中，所述凹模上设置有微沟槽；保持所述电磁预成形料板位于所述凹模上，将所述凹模转移至凸模下方，所述凸模上设置有与所述微沟槽相匹配的微凸起，将所述凸模和所述凹模合模，对所述电磁预成形料板进行模压成形，得到燃料电池金属双极板。本发明提供的金属双极板电磁预成形‑模压复合成形方法能够同时提高燃料电池金属双极板的成形极限深度、厚度减薄均匀性以及尺寸精度。
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公开(公告)号：CN115060099A
公开(公告)日：2022-09-16
申请号：CN202210581516.4
申请日：2022-05-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供一种微纳多尺度结构蒸汽腔及其制造方法，微纳多尺度结构蒸汽腔包括蒸发端、冷凝端和位于所述蒸发端与所述冷凝端之间的多个支承柱，且所述支承柱的两端分别与所述蒸发端和所述冷凝端连接，所述蒸发端和所述冷凝端组成蒸汽腔，所述蒸汽腔内填充有传热工质；其中，所述蒸发端与所述冷凝端靠近的一侧表面具有超亲水微纳多尺度结构，所述冷凝端与所述蒸发端靠近的一侧表面具有超亲水纳米结构。本发明提供的微纳多尺度结构蒸汽腔的冷凝端表面具有超亲水纳米结构，在微重力环境下能够依靠超亲水纳米结构强大的毛细芯吸作用实现冷凝后的传热工质高效回流，且多支承柱设计方案能够在高压环境下提供可靠的承载力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114456404A
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202210085520.1
申请日：2022-01-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供一种液态金属柔性可穿戴器件及其制备方法，所述液态金属柔性可穿戴器件的制备方法包括以下步骤：将甲基丙烯酸酐与明胶反应，得到取代率为10‑30％的甲基丙烯酸化明胶；将所述取代率为10‑30％的甲基丙烯酸化明胶与光引发剂加入磷酸盐缓冲溶液中，制得水凝胶溶液；将所述水凝胶溶液制成柔性封装水凝胶，其中，所述柔性封装水凝胶中预留有微通道；将液态金属注入所述柔性封装水凝胶的微通道中，从而制得液态金属柔性可穿戴器件。本发明通过采用了取代率在10‑30％的甲基丙烯酸化明胶，具有较好的机械性能，抗拉强度和断裂应变能较高，不容易发生泄漏，并且容易成型，能够在柔性封装水凝胶内部创建形貌均一的微通道，使水凝胶和液态金属充分混合。
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公开(公告)号：CN114227131A
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202210030427.0
申请日：2022-01-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23K37/053
Abstract: 本发明涉及焊接技术领域，具体而言，涉及一种微型热管焊接辅助装置及焊接方法。其中，一种微型热管焊接辅助装置，包括基座、锁紧组件、支撑导向组件、挡板组件以及导轨，锁紧组件、支撑导向组件以及挡板组件均设置在基座上，锁紧组件、支撑导向组件以及挡板组件沿前后方向分布；挡板组件用于设置微型热管，锁紧组件用于设置工艺圆管，工艺圆管适于与微型热管同轴分布，导轨设置在基座上，锁紧组件滑动连接于导轨。由此，驱动锁紧组件沿导轨向后运动时，可以对工艺圆管施加向后的作用力，确保工艺圆管的后端面与微型热管的前端面紧密贴合，从而防止焊接过程中工艺圆管和微型热管之间相互分离，进而提升焊接的精度。
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公开(公告)号：CN113084005A
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN202110308387.7
申请日：2021-03-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B21D37/10 , B21D37/12 , B21D37/16 , B21D22/02 , G01N23/2251
Abstract: 本发明提出一种微小型腔模压过程微观组织与填充性能评价方法，利用制备的亚微米甚至纳米级的超细晶金属材料，通过热处理方式控制晶粒尺寸变化。设计微小型腔模压凹模为分瓣结构，利用分瓣凹模改变微小型腔填充尺寸，并在模具模架结构上设计两套导柱导套。利用不同晶粒尺寸的超细晶材料在不同温度下填充单槽微压印模具的微小型腔，得到填充完整、成形质量良好的微筋。对填充结束后形成的微筋进行EBSD分析以实现微观组织演变研究及性能分析，并通过定义晶粒尺寸、型腔尺寸和模压温度与填充高度的关系评价填充性能。通过制备超细晶材料，可以有效解决U型腔微模压成形填充过程中出现的填不满和表面质量差等缺陷，并能实现微模压型腔尺寸进一步减小。
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公开(公告)号：CN113059190A
公开(公告)日：2021-07-02
申请号：CN202110269074.5
申请日：2021-03-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B22F12/00 , B22F12/53 , B22F3/115 , B22F10/22 , B33Y30/00 , B29C64/20 , B29C64/209 , B29C64/232 , B29C64/236 , B29C64/241
Abstract: 本发明涉及智能制造技术领域，具体而言，涉及一种液态金属微尺度4D打印机。包括打印平台、移动结构、旋转结构以及喷射结构；喷射结构设置在移动结构上，移动结构设置在打印平台上且用于带动喷射结构沿前后方向、左右方向和/或竖直方向作直线运动；喷射结构用于设置打印材料且用于将打印材料喷射到旋转结构上。本发明在打印中使用打印材料在旋转结构上旋转叠加的方式形成产品，便于形成螺旋等结构，由此可以较为容易地打印出复杂结构的产品。打印弧形结构时，仅需要通过旋转结构带动产品转动以调整产品与喷射结构的位置，相对XYZ三轴直线运动以调整喷射结构相对产品的位置，可以节省打印时间和能源，并且提高打印分辨率至10μm。
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公开(公告)号：CN110014060B
公开(公告)日：2020-12-25
申请号：CN201910304412.7
申请日：2019-04-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种微热管电流辅助绕弯成形装置及方法，它属于弯管制造塑性微成形技术领域，它包括绕弯成形机、模具组件及辅助成形电源系统；所述模具组件安装在绕弯成形机上，所述绕弯成形机主要由固定底板、压管组件、弯管组件、旋转轴、旋转驱动机构及控制系统组成；弯管组件上安装有旋转轴，旋转轴与固定底板上的轴孔配合，压管组件固定在固定底板上，成形方法步骤：步骤一、选择模具组件，步骤二、构建通电回路，步骤三、设定参数，步骤四、微热管坯加热，弯曲成形，步骤五、弯曲成形得弯曲件，步骤六，取出弯曲件。本发明能控制微热管弯曲成形缺陷及成形精度，解决了微热管弯曲后传热能力下降的问题。
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