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公开(公告)号:CN110797419B
公开(公告)日:2021-04-06
申请号:CN201911035464.5
申请日:2019-10-29
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L31/0224 , H01L31/0352 , H01L31/09 , H01L31/18
Abstract: 本发明属于偏振相关窄带探测器领域,具体涉及一种叉指电极结构偏振相关窄带探测器、其制备和应用。本发明探测器自下而上包括衬底、金属背板、二氧化硅层、叉指电极结构阵列层以及胶体量子点层;所述叉指电极结构阵列层由若干个叉指电极单元结构纵横排列构成,所述叉指电极单元结构包括中空结构以及中空结构两侧的条形金属,所述中空结构包括两端的中空条形结构以及中间的中空增宽结构。本发明通过调节叉指结构阵列的几何结构参数实现可见光到红外光的特定波长吸收,具有偏振探测能力,提高传统胶体量子点探测器探测灵敏度,能够应用于红外探测领域,并与新型探测材料胶体量子点相结合,形成了集成化,功能一体化的新型红外探测器。
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公开(公告)号:CN110244388B
公开(公告)日:2021-03-26
申请号:CN201910436751.0
申请日:2019-05-24
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于超表面的电可调卡塞格林反射系统,包括主镜和辅镜;辅镜包括:柔性振膜、第一金属反射层和电极;第一金属反射层位于柔性振膜上方,用于将经主镜反射到所述辅镜上的入射光进行反射聚焦;电极连接在辅镜的柔性振膜与主镜之间;柔性振膜在电极间电压的调节下弯曲,通过改变辅镜与主镜间的的距离调整聚焦点位置;主镜包括第二金属反射层、介质层和主镜超表面功能单元图案;主镜超表面功能单元图案满足主镜相位分布,以将外来的入射光反射到反射系统辅镜上,并经反射系统辅镜进行反射聚焦;本发明通过第一金属反射层上下移动,改变反射光经发射式超表面主镜上的透光孔后的聚焦位置,使卡塞格林反射系统的装调更加灵活。
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公开(公告)号:CN111027337A
公开(公告)日:2020-04-17
申请号:CN201911259491.0
申请日:2019-12-10
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种热辐射信息加载装置、方法及所加载信息的读取方法,包括从上到下依次分布的光学涂层、光学天线阵列层、绝缘层、金属背板、衬底,其中,光学天线阵列层附着有若干呈阵列分布的天线簇;所述光学天线阵列层、绝缘层、金属背板共同构成超表面吸收体,用于通过将图像信息加载到光学天线阵列层中天线簇的横向特征尺寸上,对其主动发射的红外热辐射进行调制,实现热辐射信息加载;所述光学涂层用于保护光学天线阵列层,并将光学天线阵列层上所加载的信息在可见光下隐形;该装置所加载的图像信息仅在红外探测器下可以清晰可见,人眼不可见,保密性好。
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公开(公告)号:CN110568610A
公开(公告)日:2019-12-13
申请号:CN201910770470.9
申请日:2019-08-20
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种静电式动态可调反射式变焦超表面透镜及其制备方法,属于动态可调超表面领域,包括:玻璃衬底、ITO薄膜、天线、空气间隙、支撑结构、氮化硅薄膜、硅框架和金背板;天线用于入射光相位调控;空气间隙用于提供金背板变形的空间,金背板的最大变形程度为空气间隙厚度的三分之一;支撑结构用于形成空气间隙;金背板作为正电极且ITO薄膜作为负电极构成静电式MEMS系统,金背板为活动电极,用于在电压的调控下实现不同程度的凸起形变;天线的几何参数根据超表面透镜所需初始焦距、入射光波长和广义斯涅耳定律获取;本发明可通过改变ITO薄膜和金背板之间的电压,调节静态超表面透镜焦距,使成品率上升。
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公开(公告)号:CN108267482A
公开(公告)日:2018-07-10
申请号:CN201711418037.6
申请日:2017-12-22
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N27/00
Abstract: 本发明公开了一种钽酸锂窄带气体探测器及其制备方法,属于气体探测领域,钽酸锂窄带气体探测器,包括从下至上的下电极、钽酸锂晶片、金背板、介质层和天线阵列,所述天线阵列为多个呈阵列分布的天线,用于吸收光;所述介质层,用于使吸收的光产生共振得到电磁能量;所述金背板,用于将电磁能量转换成焦耳热;所述钽酸锂晶片,用于吸收焦耳热释放正负电荷;所述下电极,用于吸收负电荷;所述金背板,还用于吸收正电荷;探测器根据正负电荷得到电信号,根据电信号实现对气体浓度和种类的探测。本发明具有波长选择性、能够检测多种气体、同时探测多种气体时成本低且易封装。
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公开(公告)号:CN107340063A
公开(公告)日:2017-11-10
申请号:CN201710488564.8
申请日:2017-06-23
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种热探测器及其制备方法,该热探测器包括从上之下依次排列的微结构阵列、介质层、金属层、钝化层以及热敏电阻层,微结构阵列结构对入射光进行筛选并吸收具有窄带光谱的红外光,具有窄带光谱的红外光在谐振腔内谐振,经由金属层将携带有窄带光谱的红外光转化为携带有窄带光谱的红外光的强度的热信号,热敏电阻层将携带有窄带光谱的红外光的强度的热信号转化为携带有窄带光谱的红外光的强度的电阻信号,通过解调携带窄带光谱的红外光的强度信息的阻值信息获得窄带光谱的红外光强度信息。
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公开(公告)号:CN119789758A
公开(公告)日:2025-04-08
申请号:CN202411964335.5
申请日:2024-12-30
IPC: H10N10/80 , H10N10/855 , H10N10/01 , B81B7/02 , G02B5/00
Abstract: 本发明属于热释电传感领域,涉及一种多通道锆钛酸铅热释电探测器及其制备方法。具体结构为:自下而上依次为衬底与探测层;所述衬底上具有上下贯穿的空腔;所述探测层自下而上依次为下电极、锆钛酸铅层、上电极、介质层以及超表面层;所述锆钛酸铅层位于所述下电极的中间区域,且所述下电极的四周边缘未覆盖所述锆钛酸铅层;所述锆钛酸铅层上完全覆盖所述上电极;所述上电极的中间区域覆盖所述介质层,所述上电极的四周边缘未覆盖所述介质层;所述介质层上覆盖所述超表面层;所述超表面层在所述衬底上的正投影位于所述空腔内。通过在每一个空腔相对应不同的超表面层图形,响应不同频率的电磁波,从而形成对不同电磁波频域响应的多通道探测器。
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公开(公告)号:CN119781093A
公开(公告)日:2025-04-08
申请号:CN202510076140.5
申请日:2025-01-17
Applicant: 武汉高德智感科技有限公司 , 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种光学元件、红外光学系统及红外摄像模组,该光学元件包括基底,所述基底的一面具有凸面,所述基底的另一面具有亚波长结构超构表面。基底材质为单晶硅,基底一面的凸面采用光刻刻蚀半导体工艺制备而成,基底另一面的亚波长结构超构表面采用光刻刻蚀的半导体工艺制备而成。本发明采用了一面球面与一面超构表面构成一个独立的光学元件,这种结构方式可以结合两种面型的优势高效的利用光学元件,实现光线聚焦和像差控制,提高成像质量,降低了成本,减轻了系统重量,缩小了系统体积。
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公开(公告)号:CN119575686A
公开(公告)日:2025-03-07
申请号:CN202410977510.8
申请日:2024-07-22
Abstract: 本发明公开了一种中波红外的像素级光谱偏振光学系统,属于透镜领域,包括:沿入射光路依次设置的折射透镜组、冷光阑、超构微透镜阵列和中波红外量子点探测器;超构微透镜阵列包括物侧微结构和像侧微结构;像侧微结构用于实现聚焦;物侧微结构包含多个周期分布的物侧单元;对于各物侧单元,包括偏振金属线栅结构和多个超表面‑微腔结构;偏振金属线栅结构由金属线栅按照不同方向排列形成,以实现不同的正交偏振态探测;超表面‑微腔结构包括中间介质层、位于中间介质层两侧的分布式布拉格光栅、以及嵌入中间介质层的超表面柱状结构单元阵列,超表面柱状结构单元阵列用于实现不同波段光的滤波。系统具备良好成像质量、小体积、实时成像等优点。
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公开(公告)号:CN115657303B
公开(公告)日:2025-01-03
申请号:CN202211218465.5
申请日:2022-10-06
Applicant: 华中科技大学 , 杭州海康威视数字技术股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种双级联超构透镜的设计方法及长波红外超构透镜成像系统,属于透镜与微纳光子学领域,方法包括:利用严格耦合波分析法,计算不同半径的柱状结构单元在长波红外特征波长入射时引入的相位突变、以及在长波红外的色散分布,得到多组半径‑相位突变‑色散分布,以组成柱状结构单元库;以令双级联超构透镜可对入射光线进行波前调控以及校正入射光线的高级像差为目标,确定超表面六方晶格周期阵列的目标相位分布;根据目标相位分布,以同一超表面中各六方晶格的色散分布一致性最高为目标,从选取的结果中确定每一六方晶格处柱状结构单元的半径。采用特殊的色散设计方式,使超构光学元件用于红外大口径成像应用领域。
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