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公开(公告)号：CN113777048A
公开(公告)日：2021-12-10
申请号：CN202110920395.7
申请日：2021-08-11
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于光学测量相关技术领域，并公开了一种共轴超快光谱椭偏仪及测量方法。该椭偏仪包括照明光路单元和光谱采集单元，照明光路单元用将光源出射的源光束进行偏振和相位调制，产生包含偏振方向相互垂直并且存在固定相位差的两个分量的混合光束，然后将该混合光束投射到待测样品表面；光谱采集单元采集从待测样品表面反射的光束并进行偏振解调和光谱分散，从而获得干涉光谱；照明光路单元中设置有偏振干涉调制模块，该偏振干涉调制模块用于形成一束偏振方向相互垂直并且存在固定相位差的两个分量的混合光束。通过本发明，解决传统椭偏测量方法横向分辨率低、测量速度慢等问题，实现对超薄纳米薄膜的小光斑尺寸和宽入射角度超快椭偏测量。
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公开(公告)号：CN111208633B
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN202010023805.3
申请日：2020-01-09
Applicant: 华中科技大学
IPC: G02B21/00
Abstract: 本发明公开了一种色散共焦显微镜的特性参量的优化方法，其通过利用探测针孔平面上实际像的强度函数和圆形探测器的灵敏度函数两者之间的映射关系，得到探测器上轴向响应共焦信号强度函数；获取复色针孔光源的所有波长的光的焦点到折射面的距离函数，并得到所有波长的色散位移函数；利用探测器上轴向响应共焦信号强度函数和所有波长的色散位移函数之间的映射关系，得到色散共焦显微镜的色散共焦信号函数；利用色散共焦显微镜的色散共焦信号函数表征的特性参量之间的映射关系，对色散共焦显微镜的特性参量进行调整，以实现色散共焦显微镜的性能优化。
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公开(公告)号：CN108563856A
公开(公告)日：2018-09-21
申请号：CN201810295009.8
申请日：2018-03-30
Applicant: 华中科技大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 本发明公开了一种基于自由节点B样条建模的自适应采样方法，包括如下步骤：1、利用随机相移的均匀采样法对目标对象进行初始采样；2、利用四元树对采样点集进行划分得到测试位置；3、对采样点进行自由节点B样条建模；4、计算已确定的测试位置处的不确定度；5、根据步骤四求得的不确定度从采样空间中筛选新的最佳采样点并获取新的最佳采样点的采样值，然后将新的最佳采样点加入采样点集，得到新的采样点集；6、对新的采样点集重复步骤2到步骤5，直至采样点数量达到设定值，完成自适应采样。本发明通过在建模过程中自动令结点矢量与表面的动态变化相适应，达到比现有的采样方法更高的精度，尤其适用于不连续的高动态范围表面的测量。
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公开(公告)号：CN106199079B
公开(公告)日：2018-05-18
申请号：CN201610801968.3
申请日：2016-09-05
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01B9/00
Abstract: 本发明公开了一种白光干涉原子力显微镜探针自动标定系统及自动标定方法，其中实现自动标定控制方法中主要涉及的自动标定系统包括：标定样板，原子力探针组件，原子力探针，干涉显微物镜，面CCD及光路系统，水平二维电机运动平台，垂直电机运动和垂直纳米位移平台。按照本发明实现的自动标定系统以及根据该标定样板执行的标定方法，根据标定样板上的光强与探针表面的光强的对比关系来控制垂直电机运动平台和垂直纳米位移平台运动，从而控制探针接触到标定样板上的位置，由此完成标定，此方法能进一步提高标定速度，并且操作简单。
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公开(公告)号：CN107632383A
公开(公告)日：2018-01-26
申请号：CN201710917483.5
申请日：2017-09-30
Applicant: 华中科技大学
IPC: G02B21/00
Abstract: 本发明公开了一种用于共焦显微镜峰值提取的动态补偿重心算法，其中，上述算法主要包括如下步骤：获取采样序列，取样构建标准有效采样序列，进一步取样构建有偏移量存在的两类有效采样序列，根据重心法计算提取的峰值，分六个区块计算系统误差与偏移量之间的定量关系，根据重心法所获得的每块区域误差减去对应区块系统误差获得有偏移量下的动态补偿结果。按照本发明实现的用于共焦显微镜峰值提取的动态补偿重心算法，大幅度降低了期望误差和不确定度水平，显著地提高了计算效率和实时算法精确度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107179254A
公开(公告)日：2017-09-19
申请号：CN201710306633.9
申请日：2017-05-02
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N3/56
CPC classification number: G01N3/56
Abstract: 本发明公开了一种面‑面接触扭动微动摩擦磨损试验系统及其控制方法，其中试验系统包括加载装置、定位夹持装置、摩擦副、驱动装置、数据采集装置与计算机测控系统，加载装置通过加载钢球为摩擦副施加正压力，保持摩擦副运行过程中面接触的载荷平稳。数据采集装置的扭矩传感器、驱动电机信号以及角位移信号与计算机数据采集控制系统相连接，记录和控制微动摩擦副的角位移幅值大小，并实时输出微动摩擦扭矩的变化情况。按照本发明实现的试验系统及其控制方法，具有操作方便、载荷平稳、角位移幅值精度较高，能更好的反应实际工况扭动微动摩擦磨损特性等特点，能够进行不同载荷、频率以及角位移幅值下的扭动微动磨损研究。
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公开(公告)号：CN105699704A
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201610145779.5
申请日：2016-03-15
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01Q60/24
CPC classification number: G01Q60/24
Abstract: 本发明公开了一种基于白光干涉原子力探针扫描显微镜探针系统的成像自动调整装置自动及其控制方法，该装置主要包括计算机，夹持机构及铰链机构，原子力探针及其探针组件，白光干涉显微系统，面CCD光路连接筒。在白光干涉原子力探针显微镜连接完成的情况下，根据面CCD上探针的成像与面CCD坐标系的水平夹角，通过计算机来控制舵机偏转一定的角度，使得原子力探针在面CCD中的成像与面CCD坐标系中的夹角在误差范围内，从而得到测量的结果有较小的测量误差。本发明可以实现探针在面CCD中的成像的自动调整，具有便捷控制，控制精度高，操作简单的优势。
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公开(公告)号：CN102779340A
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN201210192953.3
申请日：2012-06-12
Applicant: 华中科技大学
IPC: G06T7/00
Abstract: 本发明属于机器视觉领域，具体为一种基于Delaunay三角剖分的特征点坐标自动对应方法。该方法包括以下步骤：（1）二值分割，筛选有效特征点图像区域；（2）最小二乘椭圆拟合计算特征点的像素坐标；（3）对特征点集进行Delaunay三角剖分；（4）筛选有效剖分三角形；（5）遍历有效剖分三角形的非最长边，建立特征点集合的四邻域信息表；（6）查询四邻域信息表，四邻域递归搜索遍历特征点集合，在遍历过程中计算每个特征点的世界坐标，完成其像素坐标与世界坐标的对应。当图像存在拍摄倾角、畸变以及特征点缺失时，本发明提出的方法仍可有效运行，特别适合IC封装视觉定位系统的在线标定。
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公开(公告)号：CN1971317B
公开(公告)日：2010-04-14
申请号：CN200610125380.7
申请日：2006-12-08
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 实现线性无衍射结构光的器件，属于一般的物理装置，目的在于既满足结构简单、容易加工的要求，又能使入射能量集中在中心线无衍射光上，得到较满意的线性无衍射结构光。本发明以等腰三角棱镜的两个对称棱面的底边线，分别重合连接一个形状相同的直角三角棱镜的两直角棱面的交线，所述三个三角棱镜的底面位于同一平面内，三个三角棱镜的其它棱面均位于该平面的同一侧，构成组合三角棱镜；直角三角棱镜的底角θ2大于等腰三角棱镜的底角θ1，θ2小于15度。本发明结合了圆锥透镜法和三角棱镜法的优点，结构简单，光的能量集中在中心线无衍射光上，实现的线性无衍射结构光能使光场的中心级次光强得到加强，从而使中心光线对入射光有更高的利用率。
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公开(公告)号：CN200983014Y
公开(公告)日：2007-11-28
申请号：CN200620163633.5
申请日：2006-12-08
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 实现线性无衍射结构光的器件，属于一般的物理或化学的方法或装置，目的在于既满足结构简单、容易加工的要求，又能使入射能量集中在中心线无衍射光上，得到较满意的线性无衍射结构光。本实用新型以等腰三角棱镜的中心平面为对称，在等腰三角棱镜的两个对称边线处，分别连接两个形状相同的直角三角棱镜，所述三个三角棱镜的底面位于同一平面内，构成组合三角棱镜；直角三角棱镜的底角θ2大于等腰三角棱镜的底角θ1，θ2小于15度。本实用新型结合了前面圆锥透镜法和三角棱镜法二者的优点，结构简单，光的能量集中在中心线无衍射光上，实现的线性无衍射结构光能使光场的中心级次光强得到加强，从而使中心光线对入射光有更高的利用率。
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