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公开(公告)号：CN113777049A
公开(公告)日：2021-12-10
申请号：CN202110920408.0
申请日：2021-08-11
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于光学测量相关技术领域，并公开了一种角分辨快照椭偏仪及其测量系统与方法。该椭偏仪包括照明光路单元和光谱采集单元，照明光路单元中设置有第一透镜和物镜，光线经过第一透镜汇聚在物镜的后焦面上，在物镜的作用下形成多束不同入射角的光束照射在待测样品表面；光谱采集模块包括多象限分析器、第二透镜和成像光谱仪，入射光线照射在待测样品表面后被待测样品反射，然后依次经过物镜、多象限分析器和第二透镜，最终在成像光谱仪中获得角分辨光谱，利用该角分辨光谱计算获得到达成像光谱仪反射光的偏振参数，进而获得待测样品的厚度和光学常数。通过本发明，解决现有技术难以解决的超薄膜高精度与高速在线测量的技术问题。
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公开(公告)号：CN113777049B
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN202110920408.0
申请日：2021-08-11
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于光学测量相关技术领域，并公开了一种角分辨快照椭偏仪及其测量系统与方法。该椭偏仪包括照明光路单元和光谱采集单元，照明光路单元中设置有第一透镜和物镜，光线经过第一透镜汇聚在物镜的后焦面上，在物镜的作用下形成多束不同入射角的光束照射在待测样品表面；光谱采集模块包括多象限分析器、第二透镜和成像光谱仪，入射光线照射在待测样品表面后被待测样品反射，然后依次经过物镜、多象限分析器和第二透镜，最终在成像光谱仪中获得角分辨光谱，利用该角分辨光谱计算获得到达成像光谱仪反射光的偏振参数，进而获得待测样品的厚度和光学常数。通过本发明，解决现有技术难以解决的超薄膜高精度与高速在线测量的技术问题。
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公开(公告)号：CN113777048A
公开(公告)日：2021-12-10
申请号：CN202110920395.7
申请日：2021-08-11
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于光学测量相关技术领域，并公开了一种共轴超快光谱椭偏仪及测量方法。该椭偏仪包括照明光路单元和光谱采集单元，照明光路单元用将光源出射的源光束进行偏振和相位调制，产生包含偏振方向相互垂直并且存在固定相位差的两个分量的混合光束，然后将该混合光束投射到待测样品表面；光谱采集单元采集从待测样品表面反射的光束并进行偏振解调和光谱分散，从而获得干涉光谱；照明光路单元中设置有偏振干涉调制模块，该偏振干涉调制模块用于形成一束偏振方向相互垂直并且存在固定相位差的两个分量的混合光束。通过本发明，解决传统椭偏测量方法横向分辨率低、测量速度慢等问题，实现对超薄纳米薄膜的小光斑尺寸和宽入射角度超快椭偏测量。
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公开(公告)号：CN113777048B
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202110920395.7
申请日：2021-08-11
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于光学测量相关技术领域，并公开了一种共轴超快光谱椭偏仪及测量方法。该椭偏仪包括照明光路单元和光谱采集单元，照明光路单元用将光源出射的源光束进行偏振和相位调制，产生包含偏振方向相互垂直并且存在固定相位差的两个分量的混合光束，然后将该混合光束投射到待测样品表面；光谱采集单元采集从待测样品表面反射的光束并进行偏振解调和光谱分散，从而获得干涉光谱；照明光路单元中设置有偏振干涉调制模块，该偏振干涉调制模块用于形成一束偏振方向相互垂直并且存在固定相位差的两个分量的混合光束。通过本发明，解决传统椭偏测量方法横向分辨率低、测量速度慢等问题，实现对超薄纳米薄膜的小光斑尺寸和宽入射角度超快椭偏测量。
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