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公开(公告)号：CN101493376A
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：CN200910079327.1
申请日：2009-03-06
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种五棱镜组合超长焦距测量方法与装置。本发明将五棱镜定焦法与组合透镜超长焦距测量技术相融合，实现大口径透镜的低成本、高精度超长焦距测量。本发明通过五棱镜将光路折转，把光轴方向的定焦过程转化为垂直光轴方向成像位置变化量的测量过程，进一步与组合透镜超长焦距测量技术相结合，压缩光路长度，增强测量分辨力。本发明的测量装置，包括光源、五棱镜、参考透镜、对准目标、CCD探测器、准直镜，具有光路结构简单、光学部件引入的像差小，系统误差小、测量灵敏度高、抗环境干扰能力强的优点，可用于超长焦距透镜的检测与光学系统装配过程中的高精度焦距测量。
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公开(公告)号：CN101458071A
公开(公告)日：2009-06-17
申请号：CN200910000781.3
申请日：2009-01-09
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种超分辨双轴差动共焦测量方法与装置。该方法与装置在双轴共焦测量结构中融合光瞳滤波技术，并利用差动处理方法接收测量光束并进行处理，实现了提高分辨力、扩展工作距离、提高抗干扰能力和改善线性范围的目的。可用于微电子、材料、工业精密检测、生物医学等领域中进行精密测量。
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公开(公告)号：CN101446314A
公开(公告)日：2009-06-03
申请号：CN200910000778.1
申请日：2009-01-09
Applicant: 北京理工大学
IPC: F16C32/06
Abstract: 本发明属于精密加工及测量技术领域，涉及一种空气轴承技术，包括主轴、轴承套，外部排气管，在轴承套内设置封闭零压槽环路收集所有废气，轴承套两端的零压槽环路还将位于二者之间的高压区与外部环境隔离，零压槽环路与外部排气管之间通过排气管道或者直接用排气孔连接起来，由外部排气管将所有废气引出、回收。本发明首次提出将在空气静压轴承内设置封闭的零压槽环路，对废气进行有目的的引导，使它与测量环境分离，消除了因废气的排放所产生的气体扰动对测量环境的影响，显著提高了测量系统的测量精度，优化了空气静压轴承的结构，有效的防止了灰尘从排气孔进入轴承，可广泛用于精密加工及测量装备中。
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公开(公告)号：CN101271284A
公开(公告)日：2008-09-24
申请号：CN200810100860.7
申请日：2008-02-25
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种光刻机物镜掩膜照明条件下杂光系数测试装置，属于光电测试技术领域。本发明包括内置在积分球内的光源、放置在积分球出口光路上的掩膜板、掩膜板透射光路上的光刻物镜、以及中继光学系统、带牛角消光管、光电探测器的积分球、信号处理系统。照明光源发出光线经积分球内表面多次反射后从积分球开口射出均匀投射到掩膜板上，经光刻物镜的艾里斑像，被中继光学系统会聚到积分球后端的牛角消光管内全部吸收，其余杂光均被积分球内表面多次反射后，被光电探测器接收，最后由信号处理系统输出光刻物镜的轴上点杂光系数。本发明具有探测信噪比高、精度高，功能强，可用于新研制和使用中的光刻机物镜成像质量的检测、监控与评估。
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公开(公告)号：CN1614378A
公开(公告)日：2005-05-11
申请号：CN200410090673.7
申请日：2004-11-12
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 一种无限兼有限共轭光电像分析器，可以实现多种测试功能，具有很高的集成度。由平移台和旋转台构成多维调整系统，可满足测试中的多维调整和折轴测试的需要；该仪器根据被测系统的需要，光电测头具有望远和显微两种功能，望远测头还要适应0视度和多个非0视度试样的测试功能，对望远系统参数的测试可以通过不同视度准直镜与CCD组成的接收系统实现，对照相系统可以通过在像分析器光学系统的物方接口处加接显微物镜来实现。该仪器通过相应的软件可以实现对光学系统所成的像进行采集和分析、图像数据处理，是集光、机、电、算、自动控制为一体的综合装置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102537856B
公开(公告)日：2013-05-15
申请号：CN201110439634.3
申请日：2011-12-23
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种光、色复用连续调节装置，属于光学精密测量技术领域。具体包括前法兰盘、三个挡光板、六个滤色片、支撑机构A，支撑机构B、三角支架、后法兰盘。其中，前法兰盘、支撑机构A，支撑机构B、后法兰盘平行紧贴放置，均开有圆形的中心孔，且四个中心孔的圆心同轴、等口径；三角支架位于支撑机构A、支撑机构B的中心孔中；支撑机构A的两个端面均开有3个相同的径向凹槽，用于安装可移出的滤色片；支撑机构B上开有与支撑机构A相同的凹槽，用于安装可移出的档光板。本发明将入射光分成三束不同颜色的色光并可改变它们各自的光通量或只改变入射光的光通量，从而实现大色域范围的连续调色和大动态范围的连续调光。
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公开(公告)号：CN101793495B
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN201010121866.X
申请日：2010-03-11
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种分割焦斑探测的超分辨双轴差动共焦测量方法与装置。该方法与装置利用探测器横向偏移可使双轴共焦显微技术的轴向响应曲线产生相移这一特性，在双轴共焦显微结构中采用分割焦斑的横向差动探测方式接收测量光束并进行处理，并结合超分辨光瞳滤波技术，实现了提高系统分辨力、扩展工作距离、提高抗干扰能力和改善线性范围的目的。可用于微电子、材料、工业精密检测、生物医学等领域中进行精密测量。
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公开(公告)号：CN101672632B
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200910235650.3
申请日：2009-10-10
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明的一种光学球面面形的光纤点衍射移相干涉测量方法，属于光学测量技术领域。首先测量光纤衍射的球面波通过分光棱镜反射到辅助正透镜，被变换为汇聚球面波并在被测球面的表面反射，携带被测球面信息的反射波前通过辅助正透镜、透过分光棱镜汇聚到参考光纤端面，形成测量波前；移走被测球面，其他光学元件保持不动，在辅助正透镜焦点处放置平面反射镜，用同样方法可测量辅助正透镜、分光棱镜及参考光纤端面粗糙度所带入的像差。本发明的凸球面和凹球面测量都分为两步来实现，两步测量都利用了接近理想的点衍射球面波作为参考波前，能够保证两次干涉测量的高精度，也就能够保证最终球面面形测量结果的精度。
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公开(公告)号：CN101629814B
公开(公告)日：2011-01-12
申请号：CN200910081280.2
申请日：2009-04-01
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明属于光学精密测量领域，涉及差动共焦瞄准触发式空心球体内外轮廓及壁厚测量方法与装置。该方法利用差动共焦式“光探针”传感器对空心球体的内外表面进行瞄准，配合工作台的旋转，可以完成整个空心球体内外表面轮廓和壁厚的测量。同时可以利用光瞳滤波技术提高系统的分辨力和灵敏度。本发明首次提出利用差动共焦响应曲线的零点去触发测量空心球体内外表面的轮廓和壁厚，解决了空心球体内外表面轮廓和壁厚不能同时测量的难题。差动共焦式“光探针”传感器探测的是光强信号，具有精度高、抗环境干扰能力强、不损坏被测对象等优点。
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公开(公告)号：CN101586947B
公开(公告)日：2011-01-12
申请号：CN200910086926.6
申请日：2009-06-18
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明属于光学精密测量领域，涉及基于谐振梁扫描的差动共焦瞄准触发式显微测量方法与装置。该方法利用谐振梁的共振带动聚焦透镜在光轴方向快速振动，实现聚焦焦点在光轴方向的快速扫描。采用硬件过零触发电路探测差动共焦传感器的零点，配合精密位移传感器，可以实现光轴方向位移的快速测量并扩展了其量程。同时可以利用光瞳滤波技术提高系统的分辨力和灵敏度。本发明利用谐振梁的方式实现差动共焦传感器的轴向快速扫描，解决了传统差动共焦位移测量速度慢、量程小的难题。差动共焦式传感器探测的是光强信号，具有精度高、抗环境干扰能力强、不损坏被测对象等优点。该方法可以满足高空间分辨力、高精度和大测量范围的要求。
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