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公开(公告)号：CN101830425B
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN200910237298.7
申请日：2009-11-12
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及一种可变刚度梁及其制备方法、致动方法，该可变刚度梁包括：框架结构；嵌套于所述框架结构中的填充部分；位于所述填充部分上的绝缘层；及位于所述绝缘层上的加热部件。本发明的可变刚度梁具有单片集成、自适应性等技术特点，应用面广，附加值高，可克服现有技术的不足。
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公开(公告)号：CN101704498B
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN200910237719.6
申请日：2009-11-16
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及一种静电致动器及其制备方法、抗瞬时扰动方法，该静电致动器包括：固定电极，为固定连接于衬底上的引线电极的平板电极；第一可动电极，为设置于距所述衬底设定高度的平板电极；第二可动电极，为矩形框平板电极，设置于所述第一可动电极同一平面上、所述固定电极与所述第一可动电极之间；所述第一可动电极及第二可动电极均与弹性部件相连。本发明的静电致动器具有单片集成、自适应性等技术特点，还具有高精确定位、高可靠性，能够有效克服由外部环境振动引入的冲击扰动，特别是瞬态振动引起的扰动。
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公开(公告)号：CN101718910B
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：CN200910237299.1
申请日：2009-11-12
Applicant: 北京大学
IPC: G02B26/10
Abstract: 本发明涉及一种静电振镜及其制作方法，该静电振镜由下至上包括衬底、驱动层、振镜层，衬底至少表面绝缘；驱动层包括：驱动电极、着陆电极、键合点、导线，驱动电极用于提供驱动电压以及外部管脚的连接，以振镜中心线为对称线设置于中心线两侧，用于控制振镜一个维度的振动；着陆电极两两以中心线为对称线设置于中心线两侧，并通过键合与振镜层相连，使得着陆电极与振镜层悬臂梁电位相同；振镜层包括：振镜、支架、悬臂梁，振镜两端与悬臂梁连接，支架固定于衬底，悬臂梁与支架连接，为鱼骨形结构，具有末端可接触到着陆电极的多根不同长度的齿状子梁，允许振镜产生扭动。本发明的静电振镜制造工艺简单、成本低，可靠性高。
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公开(公告)号：CN101515746A
公开(公告)日：2009-08-26
申请号：CN200910080541.9
申请日：2009-03-20
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及一种微机电系统(MEMS)电磁式能量采集器及制备方法，它采用体硅和表面微机械加工技术相结合的三维微机械加工方法，利用体硅微机械加工技术的方法刻蚀硅片V型槽，在V型槽内电镀能量采集器的永磁体(阵列)，利用表面微机械加工技术的方法制备能量采集器的振动膜(“蟹脚”状悬臂梁和振动平板)和平面螺旋线圈。本发明的电磁式能量采集器采用电镀法制备永磁体(阵列)，来代替传统能量采集器的永磁体的微装配或者粘连手段，使得能量采集器及制备可以与IC工艺相兼容。
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公开(公告)号：CN111879341B
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202010761347.3
申请日：2020-07-31
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明提供了一种全基于激光诱导石墨烯工艺的自供能传感微系统。包括：LIG储能元件层、PI衬底层和LIG功能及采能元件层，PI衬底层作为LIG储能元件层、LIG功能及采能元件层天然的结构连接层与电学绝缘层，将LIG传感功能元件和LIG采能元件制备在系统的正面，将LIG储能元件制备在系统的背面，利用LIG穿孔机制保证系统正反面元件的有效互连。PI衬底层作为激光诱导前驱体，对传感功能元件、采能元件和储能元件分别选取特异性的参数进行LIG电极诱导。本发明的系统利用单步激光诱导PI衬底获取LIG的方式，并结合LIG优异的物理化学性能，实现了包括传感元件、采能元件、储能元件、系统互连线等全套传感微系统组件，实现了便携式电子设备工艺层面与性能层面的集成化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111879341A
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN202010761347.3
申请日：2020-07-31
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明提供了一种全基于激光诱导石墨烯工艺的自供能传感微系统。包括：LIG储能元件层、PI衬底层和LIG功能及采能元件层，PI衬底层作为LIG储能元件层、LIG功能及采能元件层天然的结构连接层与电学绝缘层，将LIG传感功能元件和LIG采能元件制备在系统的正面，将LIG储能元件制备在系统的背面，利用LIG穿孔机制保证系统正反面元件的有效互连。PI衬底层作为激光诱导前驱体，对传感功能元件、采能元件和储能元件分别选取特异性的参数进行LIG电极诱导。本发明的系统利用单步激光诱导PI衬底获取LIG的方式，并结合LIG优异的物理化学性能，实现了包括传感元件、采能元件、储能元件、系统互连线等全套传感微系统组件，实现了便携式电子设备工艺层面与性能层面的集成化。
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公开(公告)号：CN108896213B
公开(公告)日：2020-02-11
申请号：CN201810377273.6
申请日：2018-04-25
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明提供了一种基于多孔导电弹性体的应力传感器及其制作方法。该应力传感器包括：平面电极(1)，具有多孔结构的导电弹性体(2)和平面电极(3)，平面电极(1)与多孔导电弹性体(2)的上表面粘贴连接，平面电极(3)与所述多孔导电弹性体(2)的下表面粘贴连接，平面电极(1)和平面电极(3)作为应力传感器的信号输出端。本发明提出的基于多孔导电弹性体的应力传感器对外界的应力应变可以通过电阻的变化做出准确响应，具有稳定性强可靠度高等优势。同时具有良好的力学与电学性能，并可以通过调节各组成比例间的质量分数、孔径大小与孔隙率，对应力传感器的灵敏度等关键参数进行调控与优化，实现了对外界微小应力准确识别的目标。
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公开(公告)号：CN107479690B
公开(公告)日：2019-12-10
申请号：CN201710475906.2
申请日：2017-06-21
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明提供了一种电子皮肤结构和电子皮肤结构的自驱动模拟定位方法。该电子皮肤结构包括：衬底层、点电极。该方法包括：当物体接触衬底表面时，在物体和衬底表面产生等量异种电荷；当物体离开衬底时，等量异种电荷在点电极上感应出电荷；根据过程中流过各个点电极的感应电流的大小或输出电压的相对大小，按照设定的拟合算法对所述物体和所述衬底表面之间的接触点在衬底表面的位置进行定位。本发明立足于电子皮肤结构的设计和改进，通过引入新材料和模拟定位测量的方法，降低电子皮肤结构的生产成本、并在定位精度上做了提高。
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公开(公告)号：CN108735521A
公开(公告)日：2018-11-02
申请号：CN201810377271.7
申请日：2018-04-25
Applicant: 北京大学
IPC: H01G11/26 , H01G11/24 , H01G11/30 , H01G11/48 , H01G11/36 , H01G11/56 , H01G11/84 , H01G11/86 , B82Y30/00
Abstract: 本发明提供了一种基于导电弹性体的微型超级电容器及其制造方法。该微型超级电容器包括具有多孔结构的导电弹性体和固态电解质，固态电解质为凝胶聚合物，导电弹性体和固态电解质融合连接。导电弹性体包括聚合物与导电材料的混合物，聚合物包括聚二甲基硅氧烷或者聚苯胺，导电材料包括碳纳米管或者乙烯二氧噻吩单体。凝胶聚合物包括聚乙烯醇与磷酸、硫酸、氯化锂的聚合物。多孔结构通过在填满固化后混合物的PMMA模具中添加溶于水的颗粒诱导形成。本发明的基于导电弹性体的微型超级电容器，采用平面式叉指结构电极，极大的降低了器件厚度，提升了器件柔性，可以更好地与柔性电子器件集成，同时具有多孔比表面积大与碳纳米管高电导性的优势。
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公开(公告)号：CN108429428A
公开(公告)日：2018-08-21
申请号：CN201810190109.4
申请日：2018-03-08
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明实施例提供了一种电磁摩擦复合式多方向振动能量采集器及其制造方法。该装置包括：外部支撑结构、永磁体、弹性材料、电磁线圈、聚合物材料和摩擦电极阵列，电磁线圈和摩擦电极阵列分别位于外部支撑结构的上、下内表面，聚合物材料覆盖于摩擦电极阵列之上，永磁体通过弹性材料悬浮在支撑结构中心与聚合物材料接触，并可以沿各个方向随意滑动；永磁体与弹性材料形成谐振系统，沿平面内任意方向滑动产生电能输出，对周围环境中的低频振动机械能进行有效采集。本发明结构简单、设计合理、布置灵活，能够有效采集平面内沿各个方向振动的机械能，快速将电容充电到较高的电压水平。
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