公开(公告)号：CN104218046A

公开(公告)日：2014-12-17

申请号：CN201410232324.8

申请日：2014-05-29

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 川锅润 ,  渡边实 ,  横山启吾 ,  大藤将人 ,  藤吉健太郎 ,  和山弘

IPC: H01L27/146 ,  G01T1/16

CPC classification number: H01L27/14692 ,  H01L27/14663

Abstract: 本发明涉及检测装置、其制造方法和放射线检测系统。提供了包含像素的检测装置的制造方法。该方法包括：在基板之上形成有机绝缘层，所述基板之上形成有开关元件；在有机绝缘层之上形成对于各个像素分割的像素电极；在有机绝缘层的未覆盖有像素电极的部分之上形成无机材料部分；形成覆盖所述多个像素电极和无机材料部分的无机绝缘膜；形成覆盖无机绝缘膜的半导体膜；以及通过使用无机材料部分与无机绝缘膜的叠层结构作为蚀刻阻止体进行蚀刻，对于各个像素分割半导体膜。

公开(公告)号：CN104167421A

公开(公告)日：2014-11-26

申请号：CN201410204548.8

申请日：2014-05-15

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 渡边实 ,  横山启吾 ,  大藤将人 ,  川锅润 ,  藤吉健太郎 ,  和山弘

IPC: H01L27/146 ,  G01T1/24

CPC classification number: H01L27/14663

Abstract: 本发明涉及检测装置和检测系统。检测装置包括：允许可见光穿过的基板；包含从与基板相邻的侧起依次布置的像素电极、杂质半导体层和半导体层并被配置为将放射线或光转换成电荷的转换元件；和被配置为经基板向转换元件发射可见光的光源。像素电极包含允许可见光穿过的金属层。

公开(公告)号：CN103716551A

公开(公告)日：2014-04-09

申请号：CN201310465678.2

申请日：2013-10-09

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 渡边实 ,  望月千织 ,  横山启吾 ,  大藤将人 ,  川锅润 ,  藤吉健太郎 ,  和山弘

IPC: H04N5/32 ,  H04N5/378 ,  H04N5/374 ,  H04N5/357 ,  H01L27/146

CPC classification number: H01L27/14612 ,  H01L27/14663

Abstract: 本发明公开了检测装置和检测系统。一种在基板上形成的检测装置，包括：以矩阵布置的多个像素，和与像素电连接的信号线。每个像素包括：把放射线或者光转换成电荷的感测元件，输出基于电荷的量的电信号的放大薄膜晶体管，保持由放大薄膜晶体管输出的电信号的电容器，和把保持在电容器中的电信号传送给信号线的传输薄膜晶体管。

公开(公告)号：CN103579271A

公开(公告)日：2014-02-12

申请号：CN201310335357.0

申请日：2013-08-05

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 藤吉健太郎 ,  望月千织 ,  渡边实 ,  横山启吾 ,  大藤将人 ,  川锅润 ,  和山弘

IPC: H01L27/146

CPC classification number: H01L27/14692 ,  H01L27/14663 ,  H01L27/14812

Abstract: 本发明涉及检测装置、检测系统和检测装置的制造方法。一种检测装置包括布置于基板上的多个像素和多个信号布线，其中，多个像素中的每一个包含布置于基板上的开关元件和布置于开关元件上的转换元件，转换元件包含布置于开关元件上并与开关元件电连接的第一电极和布置于多个第一电极之上的半导体层，多个开关元件与多个信号布线电连接，并且，检测装置还包括被供给恒定电势的恒定电势布线，其中，在多个像素之中的一部分像素中，第一电极与恒定电势布线电连接。

公开(公告)号：CN102810548A

公开(公告)日：2012-12-05

申请号：CN201210175540.4

申请日：2012-05-31

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 藤吉健太郎 ,  望月千织 ,  渡边实 ,  大藤将人 ,  横山启吾 ,  川锅润 ,  和山弘

IPC: H01L27/146

CPC classification number: H01L27/1461 ,  H01L27/1462 ,  H01L27/14676 ,  H01L27/14685 ,  H01L27/14692

Abstract: 本发明涉及一种检测器件制造方法、检测器件和检测系统。在制造检测器件的方法中，所述检测器件包括在基板上的像素，每个像素包括开关元件和转换元件，所述转换元件包括设置在电极上的杂质半导体层，所述电极设置在所述开关元件之上，并且针对每个像素被隔离，所述开关元件和所述电极在形成于保护层和层间绝缘层中的接触孔中连接，所述保护层和所述层间绝缘层设置在所述开关元件与所述电极之间，所述方法包括：在所述层间绝缘层之上、在与所述层间绝缘层接触的电极之间形成绝缘构件；形成覆盖所述绝缘构件和所述电极的杂质半导体膜；以及形成覆盖所述保护层中所述电极的一部分的正交投影图像位于其中的区域的涂覆层，所述部分在所述接触孔内包括水平差。

公开(公告)号：CN101682687B

公开(公告)日：2012-09-19

申请号：CN200880020617.2

申请日：2008-07-18

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 望月千织 ,  渡边实 ,  石井孝昌

IPC: H04N5/357 ,  H04N5/369 ,  H04N5/3745 ,  H04N5/378 ,  H04N5/32 ,  G01T1/29 ,  H01L27/146

CPC classification number: H04N5/361 ,  G01T1/2928 ,  H01L27/14603 ,  H01L27/14609 ,  H01L27/14636 ,  H01L27/14658 ,  H01L27/14663 ,  H01L27/14692 ,  H04N5/32 ,  H04N5/357 ,  H04N5/3655 ,  H04N5/3658 ,  H04N5/3696 ,  H04N5/37457 ,  H04N5/378

Abstract: 一种放射线检测设备，能够获得包括减少的噪声的良好图像，所述放射线检测设备包括：多个像素，每一像素具有用于将入射放射线转换为电信号的光电转换元件以及连接到所述光电转换元件的第一开关元件和未连接到所述转换元件的第二开关元件；第一信号线；第二信号线；以及驱动线，其中，所述第一开关元件具有电连接到所述第一信号线的第一主电极、电连接到所述光电转换元件的第二主电极、以及电连接到所述驱动线的栅极电极，所述第二开关元件具有连接到所述第二信号线的第一主电极以及电连接到与所述第一开关元件共用的驱动配线的栅极电极；以及用于输出与来自所述第一开关元件和第二开关元件的输出之间的差对应的信号的差分装置。

公开(公告)号：CN101842901A

公开(公告)日：2010-09-22

申请号：CN200880114009.8

申请日：2008-11-04

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 石井孝昌 ,  望月千织 ,  渡边实

IPC: H01L27/148

CPC classification number: H01L27/14663

Abstract: 本发明的目的是实现轻型的放射线检测装置，包括以下的步骤：制备矩阵阵列，所述矩阵阵列包含基板、布置于该基板上的绝缘层和布置于该绝缘层上的多个像素，其中，所述像素包含将入射的放射线转换成电信号的转换元件和布置于所述多个像素的外周的连接电极；将用于覆盖所述多个像素的柔性支撑部件固定到所述矩阵阵列的与基板相反的一侧；以及使所述基板从所述矩阵阵列脱离。

公开(公告)号：CN100565895C

公开(公告)日：2009-12-02

申请号：CN200710004773.7

申请日：2007-01-30

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 渡边实 ,  望月千织 ,  石井孝昌

IPC: H01L27/146 ,  H01L27/12 ,  H01L21/84 ,  G03B42/00

CPC classification number: H01L27/14603 ,  H01L27/1462 ,  H01L27/14632 ,  H01L27/14665 ,  H01L27/14685 ,  H01L27/14687 ,  H01L27/14692

Abstract: 提供了一种成像设备，包括以二维方式设置在绝缘基板上的多个像素，每个像素包括转换元件和薄膜晶体管；该光电转换元件设置在薄膜晶体管之上，其中用作层间绝缘膜的绝缘膜插入转换元件与薄膜晶体管之间；通过设置在绝缘膜中的接触孔使薄膜晶体管的源电极或漏电极与光电转换元件彼此连接。该成像设备具有其中通过激光束照射移除接触孔部分从而断开了转换元件与用作薄膜晶体管的源电极或漏电极的导电层之间的电连接的像素。

公开(公告)号：CN100511693C

公开(公告)日：2009-07-08

申请号：CN200610128023.6

申请日：2006-08-31

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 渡边实 ,  望月千织 ,  野村庆一 ,  石井孝昌

IPC: H01L27/144

Abstract: 根据本发明的辐射检测设备包括：包括设置在绝缘衬底上的开关元件和设置在开关元件上以将辐射或光转换为电载流子的转换元件的像素，其中开关元件和转换元件彼此连接，像素以矩阵的方式二维地设置在绝缘衬底上；与在绝缘衬底上在行方向上设置的多个开关元件公共地连接的栅极布线；与在列方向上设置的多个开关元件公共地连接的信号布线；以及设置在开关元件和转换元件之间的多个绝缘膜，其中栅极布线和信号布线中的至少一个被设置成置于多个绝缘膜之间。

公开(公告)号：CN101228459A

公开(公告)日：2008-07-23

申请号：CN200680027166.6

申请日：2006-07-21

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 望月千织 ,  渡边实 ,  石井孝晶

IPC: G01T1/20 ,  G01T1/24 ,  H01L27/14 ,  H01L27/146 ,  H04N5/32

CPC classification number: H01L27/14663 ,  H01L27/14623 ,  H01L27/14692 ,  H01L31/117 ,  H01L31/119 ,  H04N5/32

Abstract: 在本发明的放射线检测设备中，布置多个像素，所述像素具有将放射线转换为电信号的转换元件和连接至该转换元件的开关元件。转换元件包括置于绝缘基板的第一表面上的第一电极、置于第一电极上的第二电极以及置于第一电极和第二电极之间的半导体层。第一电极由透光传导材料构成，该透光传导材料透射从光源发射的光，第一电极由透光导电材料形成，该透光导电材料透射从置于绝缘基板的与第一表面相对的第二表面上的光源发射的光。开关元件具有遮光构件，该遮光构件防止来自光源的光入射到开关元件。