一种角度可调的微角锥反射镜阵列结构及其制造方法

    公开(公告)号:CN104216111B

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201410532691.X

    申请日:2014-10-11

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及微角锥反射镜,具体是一种角度可调的微角锥反射镜阵列结构及其制造方法。本发明解决了现有微角锥反射镜的制造方法因组装工艺限制而无法确保微角锥反射镜的成品率和工作性能的问题。一种角度可调的微角锥反射镜阵列结构,包括正方形硅基片、正方形二氧化硅层、铂钛下电极层、正方形铂钛底镜、PZT压电驱动悬臂梁、PZT平衡梁、铂钛上电极层、十字形侧镜、金层;正方形硅基片的正面与背面之间贯通开设有正方形通孔;正方形二氧化硅层层叠于正方形硅基片的正面;正方形二氧化硅层的正面与背面之间贯通开设有四组通孔。本发明适用于无线激光通信。

    激光阵列编码和光诱导的细胞分离装置

    公开(公告)号:CN104232468B

    公开(公告)日:2016-03-30

    申请号:CN201410429897.X

    申请日:2014-08-28

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及生物医学领域的细胞分离技术,具体是一种激光阵列编码和光诱导的细胞分离装置。解决了目前在生物传感、人类功能基因组载体研究、稀有细胞筛选、性犯罪司法取证等领域快速分离和检测目标细胞所包含的丰富信息等问题,包括上位机、中继器、激光发生器、激光分束器、光开关、高速CCD成像系统、用于细胞操作的微流控芯片、冲洗液配送设备、废液处理设备和智能显微平台,所述的上位机、中继器、激光发生器,激光分束器、光开关依次相连,光开关上设有智能显微平台,智能显微平台上设置有微流控芯片;微流控芯片分别与冲洗液配送设备和废液处理设备连接,微流控芯片上侧设有高速CCD成像系统,高速CCD成像系统与上位机连接。

    摩擦-压电-磁电复合式三维空间多自由度微能源采集器

    公开(公告)号:CN105356790A

    公开(公告)日:2016-02-24

    申请号:CN201510781913.6

    申请日:2015-11-16

    Applicant: 中北大学

    CPC classification number: H02N2/186 H02K35/02 H02N1/04

    Abstract: 本发明涉及对机械能的能量采集技术,具体为一种摩擦-压电-磁电复合式三维空间多自由度微能源采集器,由外至内依次包含电磁感应线圈、外球壳、缓冲层、压电层、摩擦层、内球壳和磁铁球。各线圈之间采用串联方式连接;外球壳与压电层之间隔有缓冲层,目的在于增大压电的形变量,进而提高其发电能力;摩擦单元中的正性材料与负性材料相间排列,所有正性材料连接在一起,所有负性材料连接在一起,正性材料与负性材料之间的电荷转移通过运动单元在二者间的滚动实现。利用运动单元在空心球壳内的三维空间滚动,从而实现对具有多自由度的运动形式进行机械能采集;通过将具有互补工作模式的压电、磁电、摩擦三种发电单元集成,实现对机械能的高效采集。

    遥测核心单机测试设备的控制方法及系统

    公开(公告)号:CN103389651B

    公开(公告)日:2016-02-17

    申请号:CN201310269074.0

    申请日:2013-06-30

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及对航空航天领域中遥测核心单机实施测试的电子设备,具体是一种遥测核心单机测试设备的控制方法及系统。实现了遥测核心单机测试设备标准化、通用化。控制方法包括接口背板与计算机间的控制步骤、接口背板与功能板卡间的控制步骤;控制系统包括接口背板与计算机间的控制模块、接口背板与功能板卡间的控制模块;本发明方法合理,系统结构有序统一,功能模块构架一致,易于实现遥测核心单机测试台的标准化和通用化,利于升级和拓展,易于提高测试设备稳定性;解决了目前航空航天领域里遥测核心单机测试设备标准化程度低、设备通用性差、单机局限性的问题,能对系列产品进行通用化测试,完全满足实际需要。

    微型石英球壳结构及其制备方法

    公开(公告)号:CN105271660A

    公开(公告)日:2016-01-27

    申请号:CN201510724104.1

    申请日:2015-10-31

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明为一种微型石英球壳结构,包括中空的石英球形壳体,在石英球形壳体的尾部连接有中空的石英管,石英球形壳体与石英管连接相通,石英球形壳体的直径为微米级至纳米级;其制备方法为:将石英管首尾两端切平;石英管的首端连接带有微流阀门的高气压系统、末端固定在光纤熔接机上;调节光纤熔接机放电强度、时间、次数,将石英管的末端端面熔为密闭状态;调整高气压系统气压大小,调节光纤熔接机放电强度、时间、次数,即可获得尺寸不同的石英球形壳体。本发明成本低廉,制备工艺简单,无需大型仪器,可获得一种尺寸可以调节的微型石英球壳结构,球壳球形度良好。

    双谐振腔谐振式光学陀螺
    56.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103499344B

    公开(公告)日:2016-01-20

    申请号:CN201310306600.6

    申请日:2013-07-22

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及高灵敏度谐振式光学陀螺,具体为一种双谐振腔谐振式光学陀螺,包括隔离准直芯片可调谐光源Laser、第一耦合器C1、多功能集成光学调制器、第三耦合器C3、第二耦合器C2、第四耦合器C4、主谐振腔、第一光电探测器PD1、第一锁相放大器LIA1、第二光电探测器PD2、第二锁相放大器LIA2,反馈控制电路FBC,还包括其内中心位置设有欧姆结的环状的辅谐振腔、温控模块和第五耦合器C5,主谐振腔上在和输入口相对的位置还设有输出口,第五耦合器C5的输入端和主谐振腔的输出口接触,第五耦合器C5的输出端和辅谐振腔的输入口接触,温控模块通过MEMS工艺制作的导线和欧姆结连接,解决了谐振式光学陀螺灵敏度不高的问题。

    基于高Q环形谐振腔的石墨烯电光调制器

    公开(公告)号:CN104297949A

    公开(公告)日:2015-01-21

    申请号:CN201410416956.X

    申请日:2014-08-22

    Applicant: 中北大学

    CPC classification number: G02F1/035

    Abstract: 本发明为一种基于高Q环形谐振腔的石墨烯电光调制器,包括高Q环形谐振系统,在其环形波导上取周长的一部分覆盖制作双层石墨烯薄膜调制系统,双层石墨烯薄膜调制系统包括底层电介质层、底层石墨烯、中间电介质层和顶层石墨烯,在顶层石墨烯和底层石墨烯之间加入电压V(t)。本发明调制器集成了石墨烯宽带吸收、载流子迁移率高等材料优势和高Q值环形光学谐振腔的光程放大的结构优势,在增加调制深度的同时,通过缩减石墨烯面积来减小RC延迟的方式增加最大调制频率,从而解决目前直波导石墨烯调制器中存在的调制深度和调制带宽此消彼长的两难问题。预期实现的3dB带宽可达100GHz以上。

    一种角度可调的微角锥反射镜阵列结构及其制造方法

    公开(公告)号:CN104216111A

    公开(公告)日:2014-12-17

    申请号:CN201410532691.X

    申请日:2014-10-11

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及微角锥反射镜,具体是一种角度可调的微角锥反射镜阵列结构及其制造方法。本发明解决了现有微角锥反射镜的制造方法因组装工艺限制而无法确保微角锥反射镜的成品率和工作性能的问题。一种角度可调的微角锥反射镜阵列结构,包括正方形硅基片、正方形二氧化硅层、铂钛下电极层、正方形铂钛底镜、PZT压电驱动悬臂梁、PZT平衡梁、铂钛上电极层、十字形侧镜、金层;正方形硅基片的正面与背面之间贯通开设有正方形通孔;正方形二氧化硅层层叠于正方形硅基片的正面;正方形二氧化硅层的正面与背面之间贯通开设有四组通孔。本发明适用于无线激光通信。

    基于硅基光波导微环谐振腔的双层石墨烯电光调制器的制备方法

    公开(公告)号:CN103869504A

    公开(公告)日:2014-06-18

    申请号:CN201410123884.X

    申请日:2014-03-31

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明为一种基于硅基光波导微环谐振腔的双层石墨烯电光调制器的制备方法。首先进行光波导微环谐振腔的仿真与设计,选出Q值较高的设计并进行工艺流片,然后取已有的SOI片进行光波导微环谐振腔的工艺制备,接着在制备好的光波导微环谐振腔上生长两层石墨烯和一层Al2O3-,最后引两个对称分布的电极即可。本发明方法能提供很强的石墨烯与光的相互作用,提供高强度的光电转换;由于石墨烯对光的吸收与光的波长无关,所以可以进行宽频操控;同时石墨烯在室温下的载流子迁移率极高,通过施加外电场可以使调制时间降至皮秒级别,再加上它能与CMOS工艺相兼容,这对以后集成光学芯片的微型化、高速化以及低功耗具有重大意义。

    架空式热电堆红外探测器
    60.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103700722A

    公开(公告)日:2014-04-02

    申请号:CN201310630796.4

    申请日:2013-12-02

    Applicant: 中北大学

    CPC classification number: Y02P70/521 H01L35/32 H01L35/34

    Abstract: 本发明涉及热电堆红外探测器,具体是一种架空式热电堆红外探测器。进一步改进了热电堆红外探测器。所述探测器的加工步骤包括:1、在SOI衬底正面加工两隔离槽,划分出了两个热电偶加工区;2、加工SiO2介质支撑膜;3、加工构成热电偶的P/N型多晶硅条;4、加工下层SiO2隔离层及后续加工用金属连接加工孔;5、完成金属连接;6、加工上层SiO2隔离层及后续加工用释放孔;7、加工聚酰亚胺牺牲层及露出热电堆热结区的倒梯形凹槽;8、加工用作热辐射吸收层的三层薄膜结构;9、去除聚酰亚胺牺牲层;10、将SiO2介质支撑膜下的热电偶加工区空腔化;11、实现架空式热辐射吸收层。本发明结构设计合理,制作工艺易于实现,成品性能提高明显,具有良好的发展前景。

Patent Agency Ranking