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公开(公告)号：CN103730245B
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201410006697.3
申请日：2014-01-07
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开一种用于无源无线多参数微型传感器中的叠层电感，包括n个层叠且同轴设置的平面电感；所述每个平面电感由金属导线绕制的偶数个方形线圈构成，所述偶数个线圈为由外往内按顺时针方向或逆时针方向绕制，每个平面电感的相邻两线圈绕制方向相反；每个方形线圈的四条边分别构成四个局部电感。本发明的电感结构实现了电感之间的零互感，与可变电容传感器串联后可实现无源无线多参数的测量。
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公开(公告)号：CN105655204A
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201610034581.X
申请日：2016-01-19
Applicant: 东南大学
CPC classification number: H01H59/0009 , G08C17/04
Abstract: 本发明提供了一种无源无线微机械开关，包括接收线圈、微机械开关、整流电路、信号输入端、信号输出端；其中，微机械开关包括可动电极、触点、偏置电极和输出电极；整流电路包括电阻、电容和整流二极管；接收线圈的两端分别连接整流电路的输入端，整流电路的输出端分别连接可动电极的输入端和偏置电极的输入端，可动电极的输出端连接信号输入端，输出电极的输出端连接信号输出端。通过采用无线的方式来控制开关，安装方便，省去布线的麻烦，更加智能化，同时不含电源或电池，增加了使用寿命。
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公开(公告)号：CN103148970B
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201310060979.7
申请日：2013-02-27
Applicant: 东南大学
IPC: G01L1/14
Abstract: 本发明公开了一种基于柔性基板的无源无线压力传感器，包括上金属层、上柔性基板、中柔性基板、下柔性基板和下金属层，上柔性基板、中柔性基板和下柔性基板上设有相通的电气通孔，中柔性基板上设有空腔；上金属层包括平面电感线圈和位于平面电感线圈中间的电容上极板，且平面电感线圈的内侧连接头和电容上极板连接；下金属层包括与电容上极板尺寸相同且位置相对的电容下极板，以及与电容下极板连接的互连线；上金属层的平面电感线圈的外侧连接头通过位于电气通孔中的导电介质柱与下金属层的互连线连接，中柔性基板的空腔位于电容上极板和电容下极板之间。该压力传感器具有非接触、高灵敏度、高品质因数和低功耗的优良性能。
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公开(公告)号：CN103925944A
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201410145133.8
申请日：2014-04-11
Applicant: 东南大学
IPC: G01D21/02
Abstract: 本发明公开了基于无源无线传感技术的密闭喷涂房环境监测系统，包括上位机、主电路和次级电路三个部分。将次级电路安装在喷涂房内墙壁上，主电路安装在墙壁外，安装时保证两部分电路上的印制PCB电感最大重叠。次级电路包含温湿压三个MEMS微传感器，用来测试喷涂房内环境变化。主电路发出的载波通过电感耦合到次级电路为次级电路供电。次级电路采用时分复用技术，在一个周期内分段采集几个传感器参数，再将测得的信号对次级电路进行负载调制，调制后的波形通过电感耦合至主电路。主电路通过解调后就得到传感器测量信号。输出至上位机，经处理后得到相应的环境参数并显示出来。在该系统中，喷涂房内的传感器及其电路不需要电池供电，寿命长。
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公开(公告)号：CN103487474A
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN201310461445.5
申请日：2013-09-30
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种具有高灵敏度快速响应的MEMS电容式湿度传感器，该传感器包括衬底（1），覆盖有感湿介质（2）的叉指正电极（1-2）；其中，衬底（1）位于检测电容的底部，起基座作用，感湿介质（2）覆盖在叉指正电极（1-2）、叉指负电极（1-3）的表面，叉指负电极（1-3）与衬底（1）之间设有空腔（1-5），感湿介质（2）与叉指电极（1-2）、（1-3）之间的空气层（3）构成检测电容的感湿结构；所述检测电容呈叉指悬臂梁结构。本发明提供的电容式湿度传感器具有灵敏度高，响应快，结构简单，加工方便，寄生电容小等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103424208A
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201310392664.2
申请日：2013-09-02
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开一种高灵敏度电容式微机械温度传感器，包括半导体衬底、梳齿状多层膜悬臂梁结构和绝缘介质层。梳齿状多层膜悬臂梁结构由半导体薄膜、绝缘介质膜和金属膜组成，梳齿状多层膜悬臂梁结构的可动端高于固定端呈上翘形状，其金属膜通过引线键合区引出，半导体薄膜通过引线键合区引出。本发明的温度传感器结构中的金属膜与半导体薄膜形成平行平板电容，金属膜与衬底形成了梳齿电容。平行平板电容加上金属膜与梳齿电容组成本发明温度传感器的温度敏感电容，因此较传统电容式微机械温度传感器的温度敏感电容大，故传感器的灵敏度高。同时由于电容不存在直流功耗，且电容测量时只需要使用交流小信号，因此传感器功耗极低、且没有自加热效应。
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公开(公告)号：CN102201298B
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：CN201110139909.1
申请日：2011-05-27
Applicant: 东南大学
IPC: H01H59/00
Abstract: 本发明公开了一种带有可纵向推拉的梳齿单元的射频微机械开关，包括衬底、共面波导传输线和驱动部件，共面波导传输线包括信号线、左地线和右地线，信号线包括上端口、下端口和两根细长梁；细长梁通过弹性结构固定连接在下端口顶面，细长梁的顶端与上端口的底面有间隙；驱动部件包括上锚区、下锚区、上梳齿结构和下梳齿结构；上梳齿结构和下梳齿结构均分别包括固定梳齿单元和移动梳齿单元；下梳齿结构中的固定梳齿和移动梳齿分布顺序与上梳齿结构中的固定梳齿和移动梳齿分布顺序相反；移动梳齿单元的移动可以使细长梁的顶端和上端口的底面贴合或者分离。该结构的射频微机械开关可以提高隔离度，降低执行电压。
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公开(公告)号：CN103148970A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201310060979.7
申请日：2013-02-27
Applicant: 东南大学
IPC: G01L1/14
Abstract: 本发明公开了一种基于柔性基板的无源无线压力传感器，包括上金属层、上柔性基板、中柔性基板、下柔性基板和下金属层，上柔性基板、中柔性基板和下柔性基板上设有相通的电气通孔，中柔性基板上设有空腔；上金属层包括平面电感线圈和位于平面电感线圈中间的电容上极板，且平面电感线圈的内侧连接头和电容上极板连接；下金属层包括与电容上极板尺寸相同且位置相对的电容下极板，以及与电容下极板连接的互连线；上金属层的平面电感线圈的外侧连接头通过位于电气通孔中的导电介质柱与下金属层的互连线连接，中柔性基板的空腔位于电容上极板和电容下极板之间。该压力传感器具有非接触、高灵敏度、高品质因数和低功耗的优良性能。
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公开(公告)号：CN103148969A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201310060754.1
申请日：2013-02-27
Applicant: 东南大学
IPC: G01L1/14
Abstract: 本发明公开了基于柔性基板的自封装无源无线压力传感器的制备方法，步骤10）制备上柔性基板：在该柔性基板的下表面电镀一层上金属层，并在上金属层上光刻形成电容上极板、平面电感线圈；步骤20）制备中柔性基板：在该柔性基板上钻孔，形成空腔和电气通孔；步骤30）制备下柔性基板：在该柔性基板的上表面电镀一层下金属层，在下金属层上光刻电容下极板、下连接线；步骤40）制成连接线：用导电胶涂覆电气通孔，形成连接线；步骤50）制成压力传感器：对上柔性基板、中柔性基板和下柔性基板层压，形成振荡回路，制成无源无线压力传感器。该制备方法可以实现基板的自对准，可以实现传感器自封装，工艺简单，且一致性、可靠性高。
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公开(公告)号：CN102201298A
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN201110139909.1
申请日：2011-05-27
Applicant: 东南大学
IPC: H01H59/00
Abstract: 本发明公开了一种带有可纵向推拉的梳齿单元的射频微机械开关，包括衬底、共面波导传输线和驱动部件，共面波导传输线包括信号线、左地线和右地线，信号线包括上端口、下端口和两根细长梁；细长梁通过弹性结构固定连接在下端口顶面，细长梁的顶端与上端口的底面有间隙；驱动部件包括上锚区、下锚区、上梳齿结构和下梳齿结构；上梳齿结构和下梳齿结构均分别包括固定梳齿单元和移动梳齿单元；下梳齿结构中的固定梳齿和移动梳齿分布顺序与上梳齿结构中的固定梳齿和移动梳齿分布顺序相反；移动梳齿单元的移动可以使细长梁的顶端和上端口的底面贴合或者分离。该结构的射频微机械开关可以提高隔离度，降低执行电压。
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